無膠封裝高溫渦街應力式傳導傳感器的製作方法

2023-06-08 02:48:11 1

渦街流量計可用於所有氣體及低粘度液體、量程比可以超過400:1、線性度好、重複性誤差極低、儀表係數與流體無關等特點，特別是隨著技術的不斷革新，使用領域不斷擴大，使其成為公認的、最具發展前途的「未來」流量傳感器。

由於工業生產現場使用的介質各種各樣，介質使用的溫度和壓力範圍也各不相同，使得渦街流量計傳感器的工作溫度範圍為－200℃～400℃之間，由於傳統的應力式渦街流量傳感器採用鋼製外殼、膠、壓電陶瓷等材料進行膠浸泡式封裝，使得外殼、膠、壓電陶瓷等材料形成了一個整體，在使用中無法避免地存在各種材料之間由於膨脹率方面的差異造成相互之間產生應力，導致壓電陶瓷的損傷，靈敏度快速衰落，甚至降低傳感器使用壽命。

技術實現要素：

本發明針對現在技術的不足，提供了一種無膠封裝，有效克服膨脹應力，既實現了良好的機電耦合，又保證了壓電陶瓷免受損傷，結構簡單、緊湊的無膠封裝高溫渦街應力式傳導傳感器。

為實現本發明目的，提供了以下技術方案：無膠封裝高溫渦街應力式傳導傳感器，包括傳感器殼體、殼體底端的懸臂梁，其特徵在於殼體內懸臂梁上方設置有絕緣陶瓷底座，絕緣陶瓷底座上從下往上依次設置有壓電陶瓷、絕緣陶瓷片、壓緊蝶簧，壓電陶瓷與絕緣陶瓷底座間設置有一鎳金合金片，一鎳金合金片上引出一根信號地線，壓電陶瓷與絕緣陶瓷片之間設置有左右兩片鎳金合金片，左右兩片鎳金合金片分別引出一根信號線，壓緊蝶簧上設置碟簧帽進行固定和壓緊蝶簧。

作為優選，壓緊蝶簧為高溫碟簧。

本發明有益效果：本發明採用鍍金鎳基應力傳導技術，並且採用高溫疊簧封裝技術，使得各連接點留有間隙，又緊密配合，既實現了良好的機電耦合，又保證了壓電陶瓷免受損傷，結構簡單、緊湊。改善了渦街流量計的高溫適應性，增強了渦街流量計的穩定性。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。

具體實施方式

無膠封裝高溫渦街應力式傳導傳感器，包括傳感器殼體1、殼體1底端的懸臂梁2，殼體1內懸臂梁2上方設置有絕緣陶瓷底座3，絕緣陶瓷底座3上從下往上依次設置有壓電陶瓷4、絕緣陶瓷片5、高溫碟簧6，壓電陶瓷4與絕緣陶瓷底座3間設置有一鎳金合金片7，一鎳金合金片7上引出一根信號地線8，壓電陶瓷4與絕緣陶瓷片5之間設置有左右兩片鎳金合金片7，左右兩片鎳金合金片7分別引出一根信號線9，高溫碟簧6上設置碟簧帽10進行固定和壓接高溫碟簧6。這樣既實現了良好的機電耦合，又保證了壓電陶瓷在各種環境免受損傷，保證了壓電陶瓷能準確把渦街力信號轉換成電信號，供渦街傳感器主板進行轉換和處理，滿足各用戶的需要。