一種三分量光電混合集成加速度地震檢波器的製作方法

2023-05-29 12:51:31

專利名稱：一種三分量光電混合集成加速度地震檢波器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種三分量光電混合集成加速度地震檢波器，適用於地球物理勘探及加速度傳感器技術領域。
背景技術：
目前，地震勘探技術多採用一維、二維勘探，這種技術的地震測線覆蓋面不夠以及隱蔽斷層顯示不出或錯誤成象，使得不能準確和精細地解釋正確的斷層組合併且採用此方法僅可提供簡單的斷層組合，而實際地殼的複雜性只能用三維地震數據來理解。因此，一、二維勘探已經無法適應精細描述複雜地質構造。
三維地震勘探技術通過分析獲取的三維地層信息，實現對裂縫，薄層等複雜油藏詳細描述和精確圈定，是各國進行精細勘探、提高油氣產量而大力發展的關鍵技術。三分量地震加速度檢波作為三維地震勘探中地震信息的拾取技術，其先進程度決定了地震數據採集的精度和質量，直接影響後續解釋處理過程，是三維地震勘探技術的核心，對於提高三分量地震勘探精度，提高油氣產量；實現高解析度、高精度的精細勘探具有重要的科學意義和社會價值。因此迫切需要一種檢測靈敏度高、性能穩定、適合大批量生產的新型檢波器。發明內容
本實用新型的目的在於克服現有技術的不足，提供一種三分量光電混合集成加速度地震檢波器。該檢波器具有測試頻帶寬、檢測靈敏度高、保真度好、抗電磁幹擾、集成晶片採用半導體平面工藝製作。
本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是 一種三分量光電混合集成加速度地震檢波器包括三分量簡諧振子、外圍雷射器、光電轉換系統和信號處理系統，採用三分量簡諧振子與外圍雷射器、光電轉換系統和信號處理系統相連接構成三分量光電混合集成加速度地震檢波器。
所述三分量簡諧振子由三個M-Z幹涉晶片組成。
本實用新型的優點
1、由於採用了光波導馬赫曾德幹涉檢測系統和光學集成技術，從而提高了三分量加速度地震檢波器的檢測靈敏度，測量頻帶寬、減小了體積、提高了使用穩定性，並能在強電磁幹擾的環境下穩定工作。
2、集成晶片採用半導體平面工藝製作，適合大批量生產、成本低、體積小 的特點。

圖1是本實用新型一種三分量光電混合集成加速度地震檢波器的結構示意圖。
具體實施方式
下面將對照附圖進一步說明本實用新型 在圖1中，本實用新型一種三分量光電混合集成加速度地震檢波器包括三
分量簡諧振子6、外圍雷射器l、光電轉換系統7和信號處理系統8，採用三分
量簡諧振子與外圍雷射器、光電轉換系統和信號處理系統相連接構成。
在圖1中，M-Z幹涉晶片(2、 3、 5)組成的三維簡諧振子6固定在基座4 上。外圍雷射器1發出的光分三路分別輸入M-Z幹涉晶片(2、 3、 5)，當基座 4受任意方向加速度作用時，M-Z幹涉晶片(2、 3、 5)分別感應加速度的x、 y、 z三方向的分量a、 、"z。根據LiNb03晶體的光彈效應，三向加速度變化 被轉化為光相位變化。由M-Z幹涉晶片(2、 3、 5)將光相位變化轉化為光強 變化，採用光電轉換系統7將光強信號轉換為電信號，然後採用信號處理系統8 對所測出的加速度電信號進行DSP技術處理，得到所測加速度與輸出電壓的關 系，完成加速度的檢測。輸出Vx、輸出Vy和輸出Vz分別為x、 y、 z三方向的電 .壓輸出。
權利要求1、一種三分量光電混合集成加速度地震檢波器包括三分量簡諧振子(6)、外圍雷射器(1)、光電轉換系統(7)和信號處理系統(8)，其特徵在於，採用三分量簡諧振子(6)與外圍雷射器(1)、光電轉換系統(7)和信號處理系統(8)相連接構成；所述三分量簡諧振子(6)由M-Z幹涉晶片(2、3、5)組成。
專利摘要本實用新型一種三分量光電混合集成加速度地震檢波器適用於地球物理勘探及加速度傳感器技術領域。它包括三分量簡諧振子、外圍雷射器、光電轉換系統和信號處理系統，採用三分量簡諧振子與外圍雷射器、光電轉換系統和信號處理系統相連接構成。所述三分量簡諧振子由三個M-Z幹涉晶片組成。本實用新型的優點，檢測靈敏度高、測量頻帶寬、體積小、並能在強電磁幹擾的環境下穩定工作。適合大批量生產、成本低。
文檔編號G01P15/18GK201417314SQ20092008178
公開日2010年3月3日 申請日期2009年6月13日 優先權日2009年6月13日
發明者唐東林, 峰 郭 申請人:西南石油大學