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一種利用射頻標尺法測量高反射率的方法

2023-06-11 00:07:36

專利名稱:一種利用射頻標尺法測量高反射率的方法
技術領域:
本發明涉及一種光學反射率的測量方法,具體涉及的是一種利用射頻標尺法測量高反射率的方法。
背景技術:
目前來說,腔衰蕩技術是一種高精度、高靈敏度的腔損耗測量方法,它通過測量外部入射光在高Q(品質因數)值無源諧振腔中的衰減時間來獲得腔的損耗係數,常被用與高反射鏡反射率測量及微量氣體濃度的光譜法檢測中,具有測量結果不受入射光強漲落的影響以及腔損耗越小,測量精度越高等優點。腔衰蕩技術的理論依據是根據圍繞腔內能量轉換關係對連續波腔衰蕩法測量原理,並根據多束光幹涉理論分析方法來測定的。其分析方法如下首先根據品質因數Q標誌腔的特徵的普遍特徵,使得Q與儲存在腔內的能量、單位 時間內損耗的總能量和腔內光場的震蕩角頻率的關係,然後建立Q與腔衰蕩時間、腔損耗的函數關係,建立等式關係,依照能量守恆定律,最後根據多束光幹涉理論分析方法進行分析測定。腔衰蕩法通過測量雷射脈衝在衰蕩腔中的衰蕩時間計算反射率。此法更適合測定超高反射率(R = 99. 99% ),對於中低反射率的反射鏡,應用該方法,雷射脈衝在諧振腔內的衰蕩時間極短,檢測系統的響應時間對雷射脈衝衰蕩時間的測量精度影響大,從而引起誤差比較大。

發明內容
本發明根據上述不足,提供一種運用雷射相位調製的射頻標尺法測量光學反射鏡鏡片反射率。為實現上述目的,本發明的技術方案是一種利用射頻標尺法測量高反射率的方法,其實施步驟如下I)將待測反射率的反射鏡製作成光電諧振腔;2)搭建光路;3)對入射雷射進行光電相位調製,產生正負一級邊帶;4)通過鋸齒波掃描光學諧振腔,得到光譜;5)將載波和一級邊帶之間的頻率間距作為射頻標尺,按比例測出載波的半峰全線寬;6)利用腔精細度與腔透射光譜的譜線寬度及反射率的關係公式,計算出反射鏡的反射率。所述的光路是由信號發生器、聲光調製器、電光相位調製器、鋸齒波掃描諧振腔、光電探測器、示波器組成。上述技術方案的有益效果是採用了雷射相位調製產生的正反一級邊帶與載波的頻率間隔作為射頻標尺,精確測量衰蕩腔振透射譜線的半峰全線寬,從而實現對光學鏡片反射率的高精度測量,簡便易得。
具體實施例方式下面結合具體實施方式
對本發明作具體的說明。本發明一種利用射頻標尺法測量高反射率的方法的光路,所述的光路是由信號發生器、聲光調製器、電光相位調製器、視頻信號發生器、鋸齒波掃描諧振腔、光電探測器、示波器以此順序組成,其中視頻信號發生器通過電光相位調製器進行相位調製,信號發生器採用氦氖雷射器(He-Ne laser),氦氖雷射器發出信號,通過聲光調製器進行聲光調製,然後通過電光相位調製器調製,經過調製後信號進入用待測反射率的反射鏡,同時得到射頻信號,經過鋸齒波掃描後,通過光電探測器後在示波器上顯示。一種利用射頻標尺法測量高反射率的方法,其實施步驟如下I)將待測反射率的反射鏡製作成光電諧振腔;2)搭建光路; 3)對入射雷射進行光電相位調製,產生正負一級邊帶;4)通過鋸齒波掃描光學諧振腔,得到光譜;5)將載波和一級邊帶之間的頻率間距作為射頻標尺,按比例測出載波的半峰全線寬;6)利用腔精細度與腔透射光譜的譜線寬度及反射率的關係公式,計算出反射鏡的反射率。
權利要求
1.一種利用射頻標尺法測量高反射率的方法,其特徵在於其實施步驟如下 1)將待測反射率的反射鏡製作成光電諧振腔; 2)搭建光路; 3)對入射雷射進行光電相位調製,產生正負一級邊帶; 4)通過鋸齒波掃描光學諧振腔,得到光譜; 5)將載波和一級邊帶之間的頻率間距作為射頻標尺,按比例測出載波的半峰全線寬; 6)利用腔精細度與腔透射光譜的譜線寬度及反射率的關係公式,計算出反射鏡的反射率。
2.根據權利要求I所述的一種利用射頻標尺法測量高反射率的方法的光路,其特徵在於所述的光路是由信號發生器、聲光調製器、電光相位調製器、鋸齒波掃描諧振腔、光電探測器、示波器組成。
全文摘要
本發明公開了一種利用射頻標尺法測量高反射率的方法,其實施步驟為將待測反射率的反射鏡製作成光電諧振腔;搭建光路;對入射雷射進行光電相位調製,產生正負一級邊帶;通過鋸齒波掃描光學諧振腔,得到光譜;將載波和一級邊帶之間的頻率間距作為射頻標尺,按比例測出載波的半峰全線寬;利用腔精細度與腔透射光譜的譜線寬度及反射率的關係公式,計算出反射鏡的反射率;上述技術方案的測量方法,可以測定高反射率(R=99.6%),方法簡單。
文檔編號G01M11/02GK102788680SQ20111013129
公開日2012年11月21日 申請日期2011年5月20日 優先權日2011年5月20日
發明者陳玉華 申請人:上海市寶山區青少年科學技術指導站

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