一種簡易型ccd調整座結構的製作方法

2023-06-28 21:57:31

一種簡易型ccd調整座結構的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種簡易型CCD調整座結構，其Z軸調整座組活動設於縱向固定板的第一側面，其CCD安裝在Z軸調整座組上，其升降氣缸固定在縱向固定板的第一側面，用以驅動Z軸調整座組上下升降，其X軸調整座和Y軸調整座位於縱向固定板的第二側面，X軸調整座上開設有沿X軸方向設置的長孔，Y軸調整座的上表面設有沿Y軸方向設置的長槽，還包括連接杆，連接杆的上端伸入長孔內並可沿長孔移動，連接杆的下端伸入長槽內並可沿長槽移動，連接杆的上、下兩端還分別設有可將該連接杆的上、下兩端對應固定在X軸調整座和Y軸調整座上的固定件。本實用新型的簡易型CCD調整座結構的結構簡單，成本低，調整更加方便。
【專利說明】—種簡易型CCD調整座結構

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種簡易型CCD調整座結構，尤其涉及一種應用於具有對位系統的曝光機上的簡易型CCD調整座結構。

【背景技術】
[0002]目前的CXD調整座結構由縱向固定板、Z軸調整座組、(XD、升降氣缸、X軸調整座組和Y軸調整座組構成，升降氣缸固定在縱向固定板的一側面，Z軸調整座組通過升降氣缸的驅動實現Z軸方向升降，CXD固定在Z軸調整座組上，X軸調整座組和Y軸調整座組位於縱向固定板的另一相對側面，且X軸調整座組由X軸調整座、兩個X軸固定塊和兩個X軸調整螺母構成，Y軸調整座組由Y軸調整座、兩個Y軸固定塊和兩個Y軸調整螺母構成。不僅結構複雜，成本高，而且每次調整均需要分別調節兩個X軸調整螺母和兩個Y軸調整螺母，從而使得調整不方便。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的是提供一種簡易型CCD調整座結構，結構簡單，成本低，調整更加方便。
[0004]為實現上述目的，本實用新型提供一種簡易型CXD調整座結構，包括縱向固定板、Z軸調整座組、(XD、升降氣缸、X軸調整座和Y軸調整座，所述Z軸調整座組活動設於所述縱向固定板的第一側面，所述CCD安裝在所述Z軸調整座組上，所述升降氣缸固定在所述縱向固定板的第一側面，用以驅動所述Z軸調整座組上下升降，所述的X軸調整座和Y軸調整座位於所述縱向固定板的第二側面，所述第二側面與第一側面相對，所述X軸調整座呈平板狀，所述X軸調整座的一側固定在所述縱向固定板上，所述X軸調整座上開設有沿X軸方向設置的長孔，所述Y軸調整座呈方條狀，所述Y軸調整座位於所述X軸調整座的下方並且與X軸調整座垂直，所述Y軸調整座的上表面設有沿Y軸方向設置的長槽，還包括連接杆，所述連接杆的上端伸入所述長孔內並可沿長孔移動，所述連接杆的下端伸入所述長槽內並可沿長槽移動，所述連接杆的上、下兩端還分別設有可將該連接杆的上、下兩端對應固定在所述X軸調整座和Y軸調整座上的固定件。
[0005]通過採用平板狀的X軸調整座和方條狀的Y軸調整座，並在X軸調整座上開設長孔，在Y軸調整座所設置長槽，以及採用連接杆連接長孔和長槽，並在連接杆的上、下兩端設置固定件以將連接杆的上、下兩端分別固定在X軸調整座和Y軸調整座，這樣，通過下端的固定件固定連接杆的下端至Y軸調整座上，便可以使連接杆的上端沿長孔移動，便可以調節CXD在X軸上的位置，通過上端的固定件固定連接杆的上端至X軸調整座上，便可以使連接杆的下端沿長槽移動，便可以調節CCD在Y軸上的位置，代替了現有技術中的X軸固定塊、X軸調整螺母、Y軸固定塊和Y軸調整螺母調節的方式，從而使得CXD調整座結構的結構簡單，成本低廉，且調整更加方便；且呈方條狀的Y軸調整座和呈平板狀的X軸調整座也結構簡單，製造方便，成本低廉。
[0006]作為本實用新型的進一步改進，所述連接杆為雙頭螺栓，所述固定件為螺母。採用雙頭螺栓和螺母可進一步簡化結構，降低成本，且可進一步使得調整更加方便。
[0007]通過以下的描述並結合附圖，本實用新型將變得更加清晰，這些附圖用於解釋本實用新型的實施例。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型中的簡易型CXD調整座結構的示意圖。

【具體實施方式】
[0009]現在參考附圖描述本實用新型的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元件。
[0010]請參考圖1，所述的簡易型CXD調整座結構包括縱向固定板1、Z軸調整座組2、(XD3、升降氣缸4、X軸調整座5和Y軸調整座6以及連接杆(圖中未示出)。所述Z軸調整座組2活動設於所述縱向固定板I的第一側面，所述(XD3安裝在所述Z軸調整座組2上，所述升降氣缸4固定在所述縱向固定板I的第一側面，用以驅動所述Z軸調整座組2上下升降，所述的X軸調整座4和Y軸調整座5位於所述縱向固定板I的第二側面，所述第二側面與第一側面相對。
[0011]進一步說明的是，所述Z軸調整座組2包括安裝座21和Z軸升降座22，所述安裝座21固定在所述Z軸升降座22的下端，所述CCD3安裝在安裝座21上，所述Z軸升降座22的上端固定有頂塊23，所述頂塊23與所述縱向固定板I平行，所述頂塊23位於所述升降氣缸4的推桿的正上方。所述頂塊23上固定有觸動塊24，所述觸動塊24位於所述升降氣缸4的推桿的正上方。
[0012]所述X軸調整座4呈平板狀,所述X軸調整座4的一側固定在所述縱向固定板I上，所述X軸調整座4上開設有沿X軸方向設置的長孔41。所述Y軸調整座5呈方條狀，所述Y軸調整座5位於所述X軸調整座4的下方並且與X軸調整座4垂直，所述Y軸調整座5的上表面設有沿Y軸方向設置的長槽51。
[0013]所述連接杆的上端伸入所述長孔41內並可沿長孔41移動，所述連接杆的下端伸入所述長槽51內並可沿長槽51移動，所述連接杆的上、下兩端還分別設有對應固定在所述X軸調整座4和Y軸調整座5上的固定件。更進一步說明的是，所述連接杆7為雙頭螺栓，所述固定件為螺母。
[0014]使用時，通過所述升降氣缸4的推桿的上下運動，使得所述觸動塊24帶動所述的頂塊23、Z軸升降座22、安裝座21以及(XD3上下運動；通過擰緊下端的固定件使得連接杆的下端固定至Y軸調整座5上，擰松上端的固定件，便可以使連接杆的上端沿長孔41移動，從而可使得所述的縱向固定板1、Z軸調整座組2、X軸調整座5和(XD3 —起沿X軸方向移動，便可以調節(XD3在X軸上的位置；通過擰緊上端的固定件使得連接杆的上端固定至X軸調整座上，擰松下端的固定件，便可以使連接杆的下端沿長槽51移動，從而可使得所述的縱向固定板1、Z軸調整座組2、X軸調整座5和(XD3 —起沿Y軸方向移動，便可以調節(XD3在Y軸上的位置，代替了現有技術中的X軸固定塊、X軸調整螺母、Y軸固定塊和Y軸調整螺母調節的方式，從而使得CCD調整座結構的結構簡單，成本低廉，且調整更加方便。
[0015]以上結合最佳實施例對本實用新型進行了描述，但本實用新型並不局限於以上揭示的實施例，而應當涵蓋各種根據本實用新型的本質進行的修改、等效組合。
【權利要求】
1.一種簡易型CXD調整座結構，包括縱向固定板、Z軸調整座組、CXD、升降氣缸、X軸調整座和Y軸調整座，所述Z軸調整座組活動設於所述縱向固定板的第一側面，所述CXD安裝在所述Z軸調整座組上，所述升降氣缸固定在所述縱向固定板的第一側面，用以驅動所述Z軸調整座組上下升降，所述的X軸調整座和Y軸調整座位於所述縱向固定板的第二側面，所述第二側面與第一側面相對，其特徵在於:所述X軸調整座呈平板狀，所述X軸調整座的一側固定在所述縱向固定板上，所述X軸調整座上開設有沿X軸方向設置的長孔，所述Y軸調整座呈方條狀，所述Y軸調整座位於所述X軸調整座的下方並且與X軸調整座垂直，所述Y軸調整座的上表面設有沿Y軸方向設置的長槽，還包括連接杆，所述連接杆的上端伸入所述長孔內並可沿長孔移動，所述連接杆的下端伸入所述長槽內並可沿長槽移動，所述連接杆的上、下兩端還分別設有可將該連接杆的上、下兩端對應固定在所述X軸調整座和Y軸調整座上的固定件。
2.如權利要求1所述的簡易型CXD調整座結構，其特徵在於:所述Z軸調整座組包括安裝座和Z軸升降座，所述安裝座固定在所述Z軸升降座的下端，所述CCD安裝在安裝座上，所述Z軸升降座的上端固定有頂塊，所述頂塊與所述縱向固定板平行，所述頂塊位於所述升降氣缸的推桿的正上方。
3.如權利要求2所述的簡易型CCD調整座結構，其特徵在於:所述頂塊上固定有觸動塊，所述觸動塊位於所述升降氣缸的推桿的正上方。
4.如權利要求1或2或3所述的簡易型CXD調整座結構，其特徵在於:所述連接杆為雙頭螺栓，所述固定件為螺母。
【文檔編號】F16M11/04GK204005057SQ201420422387
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年7月29日 優先權日:2014年7月29日
【發明者】危銀長 申請人:志聖科技（廣州）有限公司