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具有單鏡頭雙視窗的對正系統的製作方法

2023-06-20 17:17:41

專利名稱:具有單鏡頭雙視窗的對正系統的製作方法
技術領域:
本發明涉及一種晶片對正系統,特別是涉及一種利用單鏡頭雙視窗以快速對正的具有單鏡頭雙視窗的對正系統。
背景技術:
亞洲地區現已是世界晶片代加工的重點區域,然而,隨著全球化競爭的日趨劇烈,如何在最短的時間內將產品完成並送至客戶手中已成為一相當重要的課題。
現有一種手動對正晶片的方法是搭配一晶片切割機100使用,如圖1、2、3所示,所述切割機100具有一切割工作檯1,以供置放一晶片101、一設有一刀片201的刀軸2、一具有一鏡頭301的攝影機3、一中央處理器4、一與所述中央處理器4連結的顯示器5、一與所述中央處理器4連結的動作控制裝置6,及一與所述動作控制裝置6連結的驅動裝置7,所述驅動裝置7包括有一與所述切割工作檯1連結的X軸方向驅動器701、一與所述切割工作檯1連結的θ軸方向驅動器702、一同時與所述刀軸2及所述攝影機3連結的Y軸方向驅動器703,及一與所述刀軸2連結的Z軸方向驅動器704(所述驅動器701、702、703、704均為一步進電動機),所述中央處理器4通過所述動作控制裝置6操控所述X軸方向驅動器701、所述θ軸方向驅動器702,可分別使所述切割工作檯1沿X軸方向左右移動,及繞θ軸方向自轉,所述中央處理器4通過所述動作控制裝置6操控所述Y軸方向驅動器703,可使所述刀軸2及所述攝影機3同步沿Y軸方向前後移動,所述中央處理器4通過所述動作控制裝置6操控所述Z軸方向驅動器704,可使所述刀軸2獨自地沿Z軸方向上下移動,請再參閱圖3、4,當所述晶片101置於所述切割工作檯1上時,所述晶片101的影像可由所述攝影機3的一鏡頭301,經一模擬/數字轉換器401、一影像存儲裝置402,及所述中央處理器4,而於所述顯示器5的一窗口501中顯示,由圖4中可知,所述晶片101上形成有數個可切割分離的矩形單位晶片1011,所述單位晶片1011均具有二切割方向x、y,並呈陣列式排列,且彼此間均間隔有一切割道1012,而所述窗口501具有一標記502,所述標記502是由一中央縱線503、一中央水平線504、一上標線505及一下標線506所組成,所述上、下標線505、506可以所述中央水平線504為對稱中心,而同步反向地上下移動,以調整彼此間的寬度,而由圖4中也可知,所述晶片101的單位晶片1011的切割方向x、y均沒有對正所述窗口501的標記502,所以,所述刀片201無法進行切割工作,此時,即需以目視所述顯示器5的窗口501,並配合手動調整所述切割工作檯1及所述攝影機3的方式,將所述晶片101對正,其步驟如下一、如圖5所示,借所述θ軸方向驅動器702驅動所述切割工作檯1,使所述切割工作檯1以其臺面中心點(x0,y0)為迴轉中心點,繞θ軸方向轉動,使所述晶片101的單位晶片1011的切割方向x,轉動至一與所述中央水平線504平行的水平線上,當然,此目測結果未必是真水平。
二、如圖6所示,藉助所述Y軸方向驅動器703驅動所述攝影機3沿Y軸方向移動,使所述標記502移入其中一切割道1012內,並調整所述上、下標線505、506之間的寬度至與所述切割道1012等寬切齊,以利於操作者觀看、對正,或再微調旋轉角度,當目視確認已對正,利用所述中央理處器4將所述晶片101的影像對應於所述標記502中心點的坐標(x1,y1)記錄下來。
三、如圖7所示,藉助所述X軸方向驅動器701驅動所述切割工作檯1沿X軸方向平移一適當距離,若平移後所述上、下標線505、506與所述切割道1012沒有切齊,則需再藉助所述θ軸方向驅動器702驅動所述切割工作檯1繞θ軸轉動,及藉助所述Y軸方向驅動器703驅動所述攝影機3沿Y軸方向移動,以使所述上、下標線505、506與所述切割道1012切齊,待調整完成後,再以所述中央理處器4將所述晶片101的影像對應於所述標記502中心點的坐標(x2,y2)記錄下來。
然後,所述中央處理器4可藉由比較坐標(x1,y1)、(x2,y2),以輔助判斷所述晶片101的單位晶片1011的切割方向x是否真正地與所述標記502對正,若沒有對正,所述中央處理器4會再藉助所述θ軸方向驅動器702驅動所述切割工作檯1繞θ軸轉動,以確使所述晶片101的單位晶片1011的切割方向x與所述標記502對正,而界業為了保險起見,均會在切割方向x對正完成後,借所述θ軸方向驅動器702驅動所述切割工作檯轉動九十度,再以相同步驟對切割方向y進行對正,並使所述標記502的中心點調整至任二切割道1012的交會中心點處,如圖8所示,然後,才會進行切割所述晶片101的工作。
誠然,此種手動調整方式配合所述中央理處器4的輔助,可達到對正所述晶片101的目的,但是,此種手動調整方式步驟煩雜,且每一步驟均需與所述標記502對正,或調整所述上、下標線505、506之間的寬度,所以,速度慢且耗時,因而使業者無法有效縮短交期,而大大地影響業者的競爭力。

發明內容本發明的目的在於提供一種步驟簡單,且利用單鏡頭雙視窗即可快速對正的具有單鏡頭雙視窗的對正系統。
本發明具有單鏡頭雙視窗的對正系統,包括一切割工作檯、一驅動裝置、一攝影機、一與所述攝影機連結的模擬/數字轉換器、一與所述模擬/數字轉換器連結的前置影像存儲裝置、一與所述前置影像存儲裝置連結的中央處理器、一與所述中央處理器連結的後置影像存儲單元、一與所述後置影像存儲單元連結的顯示器及一與所述中央處理器連結的動作控制裝置,其特點是所述切割工作檯可供置放一晶片,所述晶片上形成有數個呈陣列式排列的單位晶片,且所述單位晶片彼此間均間隔有一切割道;所述驅動裝置可驅動所述切割工作檯;所述攝影機是位於所述切割工作檯上方,且具有一鏡頭;所述模擬/數字轉換器可將所述攝影機的鏡頭所拍攝到的所述晶片的模擬影像轉換為一數字影像;所述前置影像存儲裝置可儲存所述模擬/數字轉換器所傳送的所述晶片的數字影像。所述中央處理器可接收、處理所述前置影像存儲裝置所傳送的所述晶片的數字影像。所述後置影像存儲單元包括二影像存儲裝置,所述二影像存儲裝置可同步接收所述中央處理器所傳送的所述晶片的數字影像;當所述二影像存儲裝置同步接收到所述中央處理器所傳送的所述晶片的數字影像時,所述二影像存儲裝置可將所述晶片的數字影像,同步顯示於所述顯示器中二互相鄰接且完全相同的窗口上;所述動作控制裝置可控制所述驅動裝置。
藉此,當操作者目視所述二窗口中的所述晶片的數字影像,並借所述動作控制裝置操控所述驅動裝置,使所述驅動裝置驅動所述切割工作檯產生轉動時,若所述二窗口鄰接處的同一切割道的影像邊界互相銜接對正時,即表示所述晶片已轉動至一對正位置。

下面結合附圖及實施例對本發明進行詳細說明。
圖1是現有一種晶片切割機的立體外觀示意圖;圖2是現有所述種切割機拆除一外部殼體後的立體示意圖;圖3是現有所述種切割機的系統連結示意圖;圖4是現有所述種切割機之一窗口顯示一置放於一切割工作檯上之一晶片影像的局部平面示意圖;圖5是現有所述種切割機的手動調整示意圖(一);圖6是現有所述種切割機的手動調整示意圖(二);圖7是現有所述種切割機的手動調整示意圖(三)。
圖8是現有所述種切割機的手動調整完成示意圖;圖9是本發明一較佳實施例的系統配置連結示意圖;圖10是所述較佳實施例對正前一晶片置於一切割工作檯上的平面示意圖;圖11是圖10中的所述晶片對正前的數字影像,於一顯示器的二窗口中同步顯示的平面示意圖;圖12是圖10中所述晶片對正中的數字影像,於所述顯示器的二窗口中同步顯示的平面示意圖;圖13是對應圖12中的所述晶片的實際狀態示意圖;圖14是圖10中的所述晶片對正完成後的數字影像,於所述顯示器的二窗口中同步顯示的平面示意圖;圖15是對應圖14中的所述晶片的實際狀態示意圖;圖16是一形成有數個六角形單位晶片的晶片對正前的平面示意圖;圖17是圖16中所述晶片對正完成後的平面示意圖。
具體實施方式本發明的具有單鏡頭雙視窗的對正系統200是運用於一切割機300,所述切割機300的機體架構是與現有的切割機100類似,但是,需要說明的是並不意味拘限本發明的應用範圍。請參閱圖9,所述對正系統200的一較佳實施例包括一切割工作檯10、一驅動裝置20、一攝影機30、一模擬/數字轉換器40、一前置影像存儲裝置50、一中央處理器60、一後置影像存儲單元70、一顯示器80,及一動作控制裝置90。
請配合參閱圖10,所述切割工作檯10可供置放一晶片11,所述晶片11上形成有數個呈陣列式排列的單位晶片111,所述單位晶片111均具有二切割方向x、y,且彼此間均間隔有一切割道112。
所述驅動裝置20包括一θ軸方向驅動器21、一X軸方向驅動器22、一Y軸方向驅動器23,及一Z軸方向驅動器24(所述驅動器21、22、23、24均為一步進電動機),所述θ軸方向驅動器21可驅動所述切割工作檯10繞θ軸方向動。
所述攝影機30是位於所述切割工作檯10上方,且具有一鏡頭31。所述模擬/數字轉換器40是與所述攝影機30連結,且可將所述攝影機30的鏡頭31所拍攝到的所述晶片11的模擬影像,轉換為一數字影像。
所述前置影像存儲裝置50是與所述模擬/數字轉換器40連結,且可儲存所述模擬/數字轉換器40所傳送的所述晶片11的數字影像。
所述中央處理器60是與所述前置影像存儲裝置50連結,且可接收、處理所述前置影像存儲裝置50所傳送的所述晶片11的數字影像。
所述後置影像存儲單元70是與所述中央處理器60連結,且所述後置影像存儲單元70包括有二影像存儲裝置71,所述二影像存儲裝置71可同步接收所述中央處理器60所傳送的所述晶片11的數字影像。
所述顯示器80是與所述後置影像存儲單元70連結,且具有二互相左右鄰接且完全相同的矩形窗口81。
所述動作控制裝置90是與所述中央處理器60連結,且所述動作控制裝置90可控制所述驅動裝置20。
請參閱圖9、10,當操作者將所述晶片11置放於所述切割工作檯10上時,經由所述攝影機30的鏡頭31、所述模擬/數字轉換器40、所述前置影像存儲裝置50,及所述中央處理器60的傳送後,所述二影像存儲裝置71可同步接收所述中央處理器60所傳送的所述晶片11的數字影像,並將所述晶片11的數字影像,如圖11所示,同步顯示於所述顯示器80的二窗口81上。
請參閱圖12、13,當操作者目視所述顯示器80的二窗口81,並利用所述中央處理器60通過所述動作控制裝置90操控所述θ軸方向驅動器21,使所述切割工作檯10繞θ軸方向自轉時,所述二窗口81中相同的所述晶片11的數字影像也呈同步轉動。
請參閱圖14,當操作者繼續目視所述二窗口81中相同的所述晶片11的數字影像,並持續藉助所述動作控制裝置60操控所述θ軸方向驅動器21,使所述θ軸方向驅動器21持續驅動所述切割工作檯10繞θ軸方向轉動時,則當所述二窗口81鄰接處的同一切割道112的影像邊界互相銜接對正並與所述二窗口81鄰接處正交時,則由圖15所示可知,所述晶片11的單位晶片111的其中一切割方向x已轉動至一水平線上,這樣即表示所述晶片11已轉動至一對正位置。
通過以上的說明,可再將本發明的優點歸納如下本發明只需操作者目視所述二窗口81中的所述晶片11的數字影像,並僅藉助轉動所述切割工作檯10的單一操作步驟,即可使所述晶片11轉動至一對正位置,所以,本發明的對正速度快、有效率,使業者可在最短時間內將成品交至客戶手中,進而提高業者的競爭力。
值得一提的是,如圖16、17所示,本發明也可應用於一形成有數個六角形單位晶片120的晶片110上,當所述單位晶片120彼此間的其中一切割道130的影像邊界互相銜接對正時,即表示所述晶片110已轉動至一對正位置,這樣,則也可達到與上述相同的目的與功效。歸納上述,本發明的具有單鏡頭雙視窗的對正系統,不但操作步驟簡單,且可快速對正,所以確實能達到發明的目的。
權利要求
1.一種具有單鏡頭雙視窗的對正系統,它包括一切割工作檯、一驅動裝置、一攝影機、一與所述攝影機連結的模擬/數字轉換器、一與所述模擬/數字轉換器連結的前置影像存儲裝置、一與所述前置影像存儲裝置連結的中央處理器、一與所述中央處理器連結的後置影像存儲單元、一與所述後置影像存儲單元連結的顯示器及一與所述中央處理器連結的動作控制裝置,其特徵在於所述切割工作檯可供置放一晶片,所述晶片上形成有數個呈陣列式排列的單位晶片,且所述單位晶片彼此間均間隔有一切割道;所述驅動裝置可驅動所述切割工作檯;所述攝影機位於所述切割工作檯上方,且具有一鏡頭;所述模擬/數字轉換器可將所述攝影機的鏡頭所拍攝到的所述晶片的模擬影像轉換為一數字影像;所述前置影像存儲裝置可儲存所述模擬/數字轉換器所傳送的所述晶片的數字影像;所述中央處理器可接收、處理所述前置影像存儲裝置所傳送的所述晶片的數字影像;所述後置影像存儲單元包括二影像存儲裝置,所述二影像存儲裝置可同步接收所述中央處理器所傳送的所述晶片的數字影像;當所述二影像存儲裝置同步接收到所述中央處理器所傳送的所述晶片的數字影像時,所述二影像存儲裝置可將所述晶片的數字影像,同步顯示於所述顯示器中二互相鄰接且完全相同的窗口上;所述動作控制裝置可控制所述驅動裝置。
2.如權利要求1所述的具有單鏡頭雙視窗的對正系統,其特徵在於所述驅動裝置可為一步進電動機。
全文摘要
一種具有單鏡頭雙視窗的對正系統,包括一切割工作檯、一驅動裝置、一攝影機、一模擬/數字轉換器、一前置影像存儲裝置、一中央處理器、一後置影像存儲單元、一顯示器及一動作控制裝置。藉此,當操作者目視所述顯示器的二窗口中之一晶片的影像,並藉助所述動作控制裝置操控所述驅動裝置,使所述切割工作檯產生轉動時,若所述二窗口鄰接處的晶片的同一切割道的影像邊界互相銜接對正時,即表示所述晶片已轉動至一對正位置。
文檔編號H01L21/304GK1405854SQ0112571
公開日2003年3月26日 申請日期2001年8月16日 優先權日2001年8月16日
發明者徐秋田 申請人:優力特科技股份有限公司

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