石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構的製作方法

2023-06-20 06:58:21 2

專利名稱：石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構的製作方法
技術領域：
本實用新型有關於一種石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構，尤指一種可使該帶鋸於切割時具有穩定、平整、偏擺小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延長帶鋸壽命的石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構。
背景技術：
一般現有的石英晶圓切割機，如圖5所示，其由一機臺5、二設置於機臺5內的致動元件51以及一環設於二致動元件51上的帶鋸52所構成，而該機臺5具有一工作區間53，且該工作區間53的一面具有一平臺54，而該帶鋸52由工作區間53穿過於平臺54上，且該帶鋸52具有一平面部521及一鋸齒部522；可將石英晶圓放置於平臺54上，通過該帶鋸52的鋸齒部522進行石英晶圓的切割。
雖然上述現有的石英晶圓切割機，可將石英晶圓放置於平臺54上，通過該帶鋸52進行石英晶圓的切割，但是由於該帶鋸52於進行切割時，其鋸齒部522與石英晶圓會產生一作用應力於帶鋸52的平面部521，故而，易導致該帶鋸52於切割時造成偏擺較大，使切割時較不穩定及平整，且易扭曲，進而縮短帶鋸的使用壽命而使帶鋸52的切割速度較慢。
實用新型內容本實用新型的主要目的是為解決上述缺點、避免缺點存在，而提供一種石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構，可通過至少一頂掣元件與帶鋸的平面部呈點狀接觸，使該帶鋸於切割時具有穩定、平整、偏擺小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延長帶鋸的壽命。
為達上述的目的，本實用新型提供一種石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構，該切割機由一機臺、至少一致動元件及一帶鋸所構成，該機臺具有一工作區間，且該工作區間的一面具有一平臺；該致動元件設置於機臺內；該帶鋸具有一平面部及一鋸齒部，該帶鋸設置於機臺內且與致動元件連接，並由工作區間穿過於平臺上；並於該機臺內且鄰近於工作區間二端的位置處分別設置至少一頂掣元件，而該頂掣元件的周緣與帶鋸的平面部呈點狀接觸。
根據上述方案，本實用新型石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構可有效改善現有結構的種種缺點，使帶鋸具有穩定、平整、偏擺小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延長帶鋸的壽命，進而使本實用新型的產生能更進步、更實用、更符合使用者的需求。


圖1為本實用新型的立體外觀示意圖。
圖2為本實用新型沿圖1的A-A向剖面示意圖。
圖3為本實用新型沿圖1的B-B向剖面示意圖。
圖4為本實用新型的切割狀態剖面示意圖。
圖5為現有結構的狀態剖面示意圖。
元件標號對照本實用新型部分1……機臺 11……工作區間 12……平臺2……致動元件 3……帶鋸 31……平面部32……鋸齒部4……頂掣元件 41……固定杆現有結構部分5……機臺 51……致動元件 52……帶鋸521…平面部 522…鋸齒部 53……工作區間54……平臺
具體實施方式
請參閱圖1、2、3所示，本實用新型為一種石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構，該切割機由一機臺1、至少一致動元件2及一帶鋸3所構成，該機臺1具有一工作區間11，且該工作區間11的一面具有一平臺12；該致動元件2設置於機臺1內，且於機臺1內的二端適當處各設置一個；該帶鋸3具有一平面部31及一鋸齒部32，且該帶鋸3環設於機臺1內的二致動元件2上，使該二致動元件2可連動該帶鋸3，並由工作區間11穿過於平臺12上；其中該機臺1內且鄰近於工作區間11二端的位置處分別設置至少一頂掣元件4，而該頂掣元件4於設置時於機臺1內且鄰近工作區間二端位置處分別設置二個為最佳數目，該頂掣元件4配合有固定杆41，藉以固設於機臺1內的預定位置處，使該頂掣元件4的周緣與帶鋸3的平面部31呈點狀接觸，而該頂掣元件4為軸承。如此，通過上述的結構構成一全新的石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構。
請參閱圖4所示，當本實用新型於進行切割運用時，啟動該致動元件2，使該環設於致動元件2上的帶鋸3作環繞轉動，而使帶鋸3於工作區間11產生鋸動的效果，讓使用者可於機臺1的平臺12上將作切割物(石英晶圓)應於鋸齒部32進行切割；當切割時，該帶鋸3的鋸齒部32會產生一作用應力於帶鋸3的平面部31，此時，即可通過該頂掣元件4的周緣與帶鋸3平面部31呈點狀接觸，而降低應力的產生，如此，可使該帶鋸於切割時具有穩定、平整、偏擺小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延長帶鋸的壽命。
但以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，當不能以此限定本實用新型實施的範圍；凡依本實用新型所作的簡單等效變化與修飾，皆應屬於本實用新型的範圍內。
權利要求1.一種石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構，該切割機包括有一機臺，該機臺具有一工作區間，且該工作區間的一面具有一平臺；至少一致動元件，設置於機臺內；一帶鋸，具有一平面部及一鋸齒部，該帶鋸設置於機臺內且與致動元件連接，並由工作區間穿過於平臺上；其特徵在於該機臺內且鄰近於工作區間二端的位置處分別設置至少一頂掣元件，而該頂掣元件的周緣與帶鋸的平面部呈點狀接觸。
2.如權利要求1所述的石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構，其特徵在於該頂掣元件為軸承。
3.如權利要求1所述的石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構，其特徵在於該頂掣元件於機臺內且鄰近工作區間二端位置處分別設置為二個。
4.如權利要求1所述的石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構，其特徵在於該頂掣元件配合有固定杆，以固設於機臺內的預定位置處。
專利摘要本實用新型公開了一種石英晶圓切割機的帶鋸頂掣結構，該切割機由一機臺、至少一致動元件及一帶鋸所構成，該機臺具有一工作區間，且該工作區間的一面具有一平臺；該致動元件設置於機臺內；該帶鋸具有一平面部及一鋸齒部，該帶鋸設置於機臺內且與致動元件連接，並由工作區間穿過於平臺上；於該機臺內且鄰近於工作區間二端的位置處分別設置至少一頂掣元件，而該頂掣元件的周緣與帶鋸的平面部呈點狀接觸。由此，可使該帶鋸於切割時具有穩定、平整、偏擺小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延長帶鋸的壽命。
文檔編號B28B1/08GK2776650SQ200520011159
公開日2006年5月3日 申請日期2005年3月29日 優先權日2005年3月29日
發明者楊嘉豐 申請人:熔晶有限公司