半導體專用設備用繞線輪裝置的製作方法

2023-06-02 21:55:41 1

專利名稱：半導體專用設備用繞線輪裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體專用設備用繞線輪裝置。
背景技術：
在國內外的半導體專用設備中，環繞金剛線的繞線輪裝置密封部分主要採用傳統 的機械密封，密封效果差，造成工作過程中，軸承由於雜質的進入，引起機構的性能不穩定， 使用壽命較短等缺點。

發明內容本實用新型的目的是提供一種結構簡單、密封性好、使用壽命長的半導體專用設 備用繞線輪裝置。 本實用新型採用如下技術方案 本實用新型包括主軸、導輪、隔套、兩個軸承和防塵蓋，所述兩個軸承設於主軸和 隔套之間，兩個軸承之間設有內隔圈和外隔圈，外側軸承設有與隔套固定的軸承外套壓蓋 和設有靠鎖母鎖定的軸承內套壓蓋，鎖母與主軸螺紋連接，導輪和防塵蓋均與隔套固定，主 軸上設有氣封氣道。 本實用新型所說主軸上安裝有與其氣封氣道連通的快換接頭。 本實用新型的有益效果本實用新型是一種結構簡單實用、使用方便和密封性好， 安全可靠的繞線輪裝置。由於主軸中設置有氣封氣道，主軸上沿圓周開設有與氣封氣道連 通的環形氣封槽，使其防塵效果好，整體結構緊湊；因本裝置採用了靜密封、迷宮密封、氣密 封以及動態密封等多種密封技術配合使用，極大的提高了結構的密封效果，可保證在非常 嚴酷的環境下運行。防塵蓋和軸承外套壓蓋的分體設計，提高了整個裝置的可靠性和安全 性能。本實用新型特別適用於對晶片進行加工的半導體專用設備。

附圖為本實用新型一種實施例的剖視結構示意圖。 在附圖中1快換接頭、2主軸、3氣封氣道、4隔套、5導輪、6軸承、7防塵蓋、8軸承 外套壓蓋、9軸承內套壓蓋、10鎖母、11、內隔圈、12外隔圈。
具體實施方式
下面將結合實施例附圖對本實用新型作進一步詳述 參見附圖，本半導體專用設備用繞線輪裝置的構成中，包括主軸2、隔套4、導輪5、 兩個軸承6和防塵蓋7。主軸2上開有氣封氣道3，快換接頭1採用螺紋連接安裝在主軸2 上，導輪5固定安裝在隔套4上，隔套4通過兩個軸承6與主軸2連接，兩個軸承6之間分 別被內隔圈11和外隔圈12隔開，軸承外套壓蓋8用螺釘固定在隔套4上，並鎖住軸承6的 外圈，軸承內套壓蓋9鎖住軸承6的內圈，兩個鎖母10通過與主軸的螺紋連接鎖住軸承內套壓蓋9，防塵蓋7通過螺釘固定安裝在隔套4上。 在工作過程中，導輪5在金剛線的帶動下繞主軸2旋轉。同時，壓縮空氣由快換接 頭1進入，沿著主軸2內部開有的氣封氣道3使壓縮空氣進入機構內部，在氣體壓力的作用 下，灰塵雜質很難從主軸2和隔套4之間進入機構內部，而且主軸2和隔套4之間採用了溝 槽式機械密封的方式，這兩種密封方式相結合極大的增強了機構的密封效果。
權利要求一種半導體專用設備用繞線輪裝置，它包括主軸(2)、導輪(5)、隔套(4)、兩個軸承(6)和防塵蓋(7)，所述兩個軸承(6)設於主軸(2)和隔套(4)之間，兩個軸承(6)之間設有內隔圈(11)和外隔圈(12)，外側軸承(6)設有與隔套(4)固定的軸承外套壓蓋(8)和設有靠鎖母(10)鎖定的軸承內套壓蓋(9)，鎖母(10)與主軸(2)螺紋連接，導輪(5)和防塵蓋(7)均與隔套(4)固定，主軸(2)上設有氣封氣道(3)。
2. 根據權利要求l所述的一種半導體專用設備用繞線輪裝置，其特徵是所說主軸(2)上安裝有與其氣封氣道(3)連通的快換接頭(1)。
專利摘要本實用新型涉及一種半導體專用設備用繞線輪裝置，它包括主軸、導輪、隔套、兩個軸承和防塵蓋，所述兩個軸承設於主軸和隔套之間，兩個軸承之間設有內隔圈和外隔圈，外側軸承設有與隔套固定的軸承外套壓蓋和設有靠鎖母鎖定的軸承內套壓蓋，鎖母與主軸螺紋連接，導輪和防塵蓋均與隔套固定，主軸上設有氣封氣道。本實用新型是一種結構簡單實用、使用方便和密封性好，安全可靠的繞線輪裝置。防塵蓋和軸承外套壓蓋的分體設計，提高了整個裝置的可靠性和安全性能。本實用新型特別適用於對晶片進行加工的半導體專用設備。
文檔編號B28D5/04GK201483658SQ20092010463
公開日2010年5月26日 申請日期2009年9月11日 優先權日2009年9月11日
發明者楊生榮, 王仲康, 衣忠波, 袁立偉 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所