大容量矽晶片承載裝置的製作方法

2023-06-02 22:50:36 2

專利名稱：大容量矽晶片承載裝置的製作方法
技術領域：
大容量矽晶片承載裝置
技術領域：
本實用新型涉及對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，並且 專門適用於把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用於通過這樣的輻射進行電能控制 的半導體器件；專門適用於製造或處理這些半導體器件或其部件的方法或設備；涉及與液 體接觸的清潔。具體涉及矽晶片生產過程中的矽晶片清洗工序。
背景技術：
太陽能電池的生產和應用是目前世界上增長最快的產業之一。太陽能電池中矽晶 電池約佔70%左右，是增長最快的一個品種。矽晶電池的生產過程，需要在150°C溫度下用 NaOH、HCI、HF溶液對矽晶片進行清洗。清洗過程中，需要使用承載裝置盛裝矽晶片。目前大 多數矽晶片承載裝置構造過於複雜，本身重量過重，承載裝置的結構形狀不利於清洗液的 順暢流動，並且承載裝置的限位杆強度不夠，長期在高溫(150°C )下使用，會出現變形、彎 曲等不良現象，容易造成清洗液滯留在矽晶片上。本公司的專利《一種矽晶承載裝置》(專 利號200920133787. 3)公開了一種矽晶片承載裝置。該矽晶片承載裝置包括相互平行的兩 塊端板(第一端板、第二端板)、相互平行的固定於該兩塊端板上位於該兩塊端板之間並與 該兩塊端板垂直的至少兩根限位杆(第一限位杆、第二限位杆)和固定於兩塊端板上位於 限位杆下方並與所述限位杆平行的至少一根用於支承矽晶片的支撐杆所述限位杆內側面 (相對之一側)均開設有用以裝卡矽晶片的牙口 所述兩塊端板上部之兩側均開設有用於 放置夾持工具以操作和緊固該矽晶片承載裝置的卡勾。該專利的矽晶片承載裝置，由於其結構主要為端板和杆結構組成，具有結構簡潔、 本身重量和尺寸較小和長期使用不會變形的特點；但由於太陽能電池矽晶片的需求日益增 長，該矽晶片承栽裝置因容量太小，已不能滿足大批量矽晶片生產的要求。

發明內容本實用新型的目的在於提供一種承載能力大、盛裝矽晶片數量多、能充分利用矽 晶片生產線和清洗設備能力，從而可以提高太陽能電池矽晶片生產效率的大容量矽晶片承 載裝置。本實用新型解決其技術問題所採用的技術方案是提供一種大容量矽晶片承載裝 置，包括相互平行的兩塊端板(第一端板、第二端板)、相互平行的固定於兩塊端板上位於 兩塊端板之間並與該兩塊端板垂直的至少兩根限位杆(第一限位杆、第二限位杆)以及固 定於兩塊端板上位於所述限位杆下方與所述限位杆平行的至少一根用於支承矽晶片的支 撐杆，所述限位杆內側面(相對之一側)均開設有用以裝卡矽晶片的牙口 所述兩塊端板上 部之兩側均開設有用於放置夾持工具以操作和緊固該矽晶承載裝置的卡勾，其特徵在於 所述限位杆和支撐杆均有兩層，外層為保護層、內層為承重層。所述承重層使用承重能力強的材料製成，所述保護層包裹著承重層，使承重層免 受清洗液的腐蝕。所述承重層可以使用不鏽鋼或碳鋼製成，所述保護層可以使用氟塑料製成。本實用新型的有益效果是承載數量是現有技術承載裝置的2—倍，可達100片的 大容量，而且結構簡潔，利於清洗液流動，能充分利用矽晶片生產線和清洗設備能力，是一 種承載能力大、盛裝矽晶片數量多的大容量矽晶片承載裝置，可以提高太陽能電池矽晶片 的生產效率。
以下結合附圖對本實用新型作進一步的描述。

圖1是本實用新型的結構示意圖。圖2是圖1的A部局部放大圖。圖中1為第一端板、2為第二端板、3為第一限位杆、4為第二限位杆、5為支撐杆、 6為牙口、7為卡勾、8為同心孔、9為第三限位杆、10為第四限位杆、101為承重層、102為保護層。
具體實施方式參見附圖，本實用新型包括相互平行的兩塊端板(第一端板1、第二端板2)、相互 平行的固定於兩塊端板上位於兩塊端板之間並與該兩塊端板垂直的至少兩根限位杆(第 一限位杆3、第二限位杆4)以及固定於兩塊端板上位於所述限位杆下方與所述限位杆平行 的至少一根用於支承矽晶片的支撐杆5，所述限位杆內側面(相對之一側)均開設有用以裝 卡矽晶片的牙口 6 ；所述兩塊端板上部之兩側均開設有夾卡本裝置的卡勾7，其特徵在於 所述限位杆和支撐杆均有兩層，外層為保護層102、內層為承重層101。在本實用新型的實施例中所述承重層101使用不鏽鋼製成，所述保護層102使用 氟塑料製成。所述裝卡矽晶片的牙口 6採用橢圓設計，平滑過渡，相應兩個牙口的距離等於所 承載的矽晶片的標稱寬度+0. 5mm。使得方形矽晶片在矽晶片承載裝置內可以隨意插入、取 出，矽晶片在進出承載器方向並不完全垂直時，可以自動調整至正確位置，順利進出，沒有 阻礙，也不至於損壞矽晶片。在第一端板1、第二端板2的下端均開設有同心孔8。第一端板1同心孔周邊有3 個小孔均布，有利於辨別矽晶片的正反面；由於方形矽晶片底部平直，而且適用於自動設備 生產，此同心孔8是用於設備上下對同心，以確保矽晶片能平直放入，而且同心孔8也利於 生產人員提取時用手指固定。為了在清洗時，更好的固定矽晶片，在第一限位杆3、第二限位杆4與支撐杆5之間 有與所述第一限位杆3和第二限位杆4平行的且分別位於第一限位杆3、第二限位杆4的正 下方的第三限位杆9和第四限位杆10。
權利要求1.一種大容量矽晶片承載裝置，包括相互平行的兩塊端板、相互平行的固定於兩塊端 板上位於兩塊端板之間並與該兩塊端板垂直的至少兩根限位杆以及固定於兩塊端板上位 於所述限位杆下方與所述限位杆平行的至少一根用於支承矽晶片的支撐杆，所述限位杆 內側面均開設有用以裝卡矽晶片的牙口；所述兩塊端板上部之兩側均開設有夾卡本裝置 的卡勾，其特徵在於所述限位杆和支撐杆均有兩層，外層為保護層(102)、內層為承重層 (101)。
2.根據權利要求1的大容量矽晶片承載裝置，其特徵在於在所述兩塊端板的下端均 開設有同心孔(8)。
3.根據權利要求2的大容量矽晶片承載裝置，其特徵在於所述兩塊端板是第一端板 ⑴和第二端板(2)，在第一端板⑴同心孔⑶周邊有3個小孔均布。
4.根據權利要求1的大容量矽晶片承載裝置，其特徵在於所述裝卡矽晶片的牙口(6) 採用橢圓設計，平滑過渡，相應兩個牙口的距離等於所承載的矽晶片的標稱寬度+0. 5mm。
5.根據權利要求1的大容量矽晶片承載裝置，其特徵在於所述至少兩根限位杆是第 一限位杆(3)、第二限位杆(4)，在第一限位杆(3)、第二限位杆(4)與支撐杆(5)之間有與 所述第一限位杆(3)和第二限位杆(4)平行的且分別位於第一限位杆(3)、第二限位杆(4) 的正下方的第三限位杆(9)和第四限位杆(10)。
專利摘要一種大容量矽晶片承載裝置，包括相互平行的兩塊端板、相互平行的固定於兩塊端板上位於兩塊端板之間並與該兩塊端板垂直的至少兩根限位杆以及固定於兩塊端板上位於所述限位杆下方與所述限位杆平行的至少一根用於支承矽晶片的支撐杆，所述限位杆內側面均開設有用以裝卡矽晶片的牙口所述兩塊端板上部之兩側均開設有用於放置夾持工具以操作和緊固該矽晶片承載裝置的卡勾，其特徵在於所述限位杆和支撐杆均有兩層，外層為保護層、內層為承重層。承載數量是現有技術承載裝置的2--4倍，可達100片的大容量，而且結構簡潔，利於清洗液流動，是一種承載能力大、盛裝矽晶片數量多的大容量矽晶片承載裝置，可以提高太陽能電池矽晶片的生產效率。
文檔編號H01L31/18GK201780983SQ20102028546
公開日2011年3月30日 申請日期2010年8月9日 優先權日2010年8月9日
發明者劉嘉, 成鵬 申請人:深圳市明鑫高分子技術有限公司