一種視覺系統的製作方法
2023-05-29 21:36:36 4
專利名稱：一種視覺系統的製作方法
技術領域：
一種視覺系統
技術領域：
本發明涉及一種視覺系統。
背景技術：
用於大規模集成電路和FPD/TFT/0LED/TP大屏顯示行業的雷射光刻設備。由雷射光源、空間光調製器即SLM、光學系統、視覺系統、移動平臺、控制電路、數據轉換軟體及伺服器數據處理和傳輸系統組成。其中，視覺系統在基板的對準、觀察調試及檢查測試等工作中發揮著重大作用。但是現有的視覺系統使用效果不好，對照明光的角度、光譜和色溫，對觀察物體的 光譜特性、形狀和背景的選取均達不到要求。
發明內容本發明目的是克服了現有技術中的不足而提供一種對照明光的角度、光譜和色溫，對觀察物體的光譜特性、形狀和背景的選取了達到了最佳的對比和檢測效果，能更好的觀察和識別物體，提聞的基板的對準精度的新型視覺系統。為了解決上述存在的技術問題，本發明採用下列技術方案一種視覺系統，其特徵在於包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡。如上所述的一種視覺系統，其特徵在於所述的分光鏡為一個或多個分光稜鏡或分光反射鏡，所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源發出的三色光經物體反射後再經過分光鏡折射後來到光傳感器上並形成可視圖像。如上所述的一種視覺系統,其特徵在於所述的分光鏡有兩個，其分別為第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I和第二分光稜鏡或第二分光反射鏡2 ;所述的R、G、B三色LED光源有兩組，其分別為將第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I圍住的第一 R、G、B三色LED光源3和將發射出的光垂直射向第二分光稜鏡或第二分光反射2的第二 R、G、B三色LED光源4 ;所述第二分光稜鏡或第二分光反射2折射出來的光由光傳感器5接收並形成可視圖像。如上所述的一種視覺系統，其特徵在於所述第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I與第一 R、G、B三色LED光源3同軸；第二分光稜鏡或第二分光反射鏡2與第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I同軸。如上所述的一種視覺系統，其特徵在於所述光傳感器5為CXD光傳感器。如上所述的一種視覺系統，其特徵在於所述第一 R、G、B三色LED光源3由多個R、G、B三色LED光源組成，多個R、G、B三色LED光源圍成封閉圖形狀。如上所述的一種視覺系統，其特徵在於所述多個R、G、B三色LED光源圍成環形的封閉圖形狀。如上所述的一種視覺系統，其特徵在於所述第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I的光引擎6發身的雷射通過率為97-98%，反射的雷射為2-3%。如上所述的一種視覺系統，其特徵在於所述第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I的由第一 R、G、B三色LED光源3發射的光的通過率為50%。如上所述的一種視覺系統，其特徵在於所述第二 R、G、B三色LED光源4為單個R、G、B三色LED光源組成。 本發明與現有技術相比有如下優點本發明能夠通過採用R、G、B三色LED光源，能夠改變照明光的角度、光譜和色溫，對觀察物體的光譜特性、形狀和背景的選取達到了最佳的對比和檢測效果，能更好的觀察和識別物體，提聞的基板的對準精度。
圖I是本發明其中一種實施方式的示意圖。圖2是本發明另外一種實施方式的示意圖。圖3是分光曲線圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本發明進行詳細描述如圖所示，一種視覺系統，包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡。具體來說，所述的分光鏡為一個或多個分光稜鏡或分光反射鏡。所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源。所述R、G、B三色LED光源發出的三色光經物體反射後再經過分光鏡折射後來到光傳感器上並形成可視圖像。當分光鏡為一個時，所述R、G、B三色LED光源為單組的三色LED光源。當分光鏡為多個時，所述R、G、B三色LED光源的組數與分光鏡的個數相同。單組R、G、B三色LED光源可以是單個三色LED光源組成，也可以是由多個三色LED光源組成。作為本實施例的優選方式，所述分光鏡為兩個，其分別為第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I和第二分光稜鏡或第二分光反射鏡2。所述的R、G、B三色LED光源為兩組，其分別為將第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I圍住的第一 R、G、B三色LED光源3和將發射出的光垂直射向第二分光稜鏡或第二分光反射2的第二 R、G、B三色LED光源4。所述第二分光稜鏡或第二分光反射2折射出來的光由光傳感器5接收並形成可視圖像。在本實施例中，所述光傳感器5為CCD光傳感器。米用二個分光鏡時,效果較佳。這樣，發射雷射的光引擎6可放置在第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I的正上方，光引擎6發射的雷射大部分穿過第一分光稜鏡或第一分光反射鏡1，還有小部分反射經過第二分光稜鏡或第二分光反射2,從而到達光傳感器5。而需要對準和光刻的物體7則放置在第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I正下方。作為本實施例的優選方式，所述第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I與第一 R、G、B三色LED光源3同軸。第二分光稜鏡或第二分光反射鏡2與第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I同軸。作為本實施例的優選方式，所述第一 R、G、B三色LED光源3由多個R、G、B三色LED光源組成，多個R、G、B三色LED光源圍成封閉圖形狀。更優的，多個R、G、B三色LED光源圍成環形的或其它任意形狀的封閉圖形狀。第二 R、G、B三色LED光源4為單組R、G、B三色LED光源。作為本實施例的優選方式，如圖3中所不，T為光的通過率，λ為光波長,雷射光刻的波長在35(Γ450納米間，光引擎發射的雷射經過第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I照射到物體上後反射2°/Γ3%的雷射，物體吸收了 97°/Γ98%的雷射。其中被反射的雷射經過第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I後折射到另一同軸分光反射鏡或分光稜鏡再到CCD鏡頭形成圖像。一組環形或任意封閉圖形R、G、B三色組合的LED光源發射的光為可見光，波長在450^650納米間，LED光源發出的光照射到物體上其圖形反射到分光反射鏡，經分光反射鏡或分光稜鏡折射到另一同軸分光反射鏡或分光稜鏡，再照射到CCD鏡頭上被接收成像，該可見光的在第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I的通過率為50%。綜上，第一 R、G、B三色LED光源3，由一排紅、綠、藍LED燈依次循環排列組成，作 為該視覺系統的主要燈源，圓環中心與第一分光稜鏡或第一分光反射鏡同軸，其可調照明顏色及可調色溫環形燈360度照明，從側面的不同角度照射物體，根據不同物體的光譜特性改善其對比度，以達到最佳照明效果。其工作原理為I、基板對準第一 R、G、B三色LED光源3照射到物體7基板上，物體7反射的光經過第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I和第二分光稜鏡或第二分光反射鏡2後照射到CCD光傳感器並接收成像。第二 R、G、B三色LED光源4分別經過第二分光稜鏡或第二分光反射鏡2和第一分光稜鏡或第一分光反射鏡後照射到物體7上，物體7反射的光再經過第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I和第二分光稜鏡或第二分光反射鏡2後照射到CCD光傳感器並接收成像，這樣側光束與同軸光束根據不同物體的光譜特性，改善對比度以達到最佳照射效果，C⑶光傳感器進行圖像識別。CXD光傳感器包括一個鏡頭及傳感器。LED三色光源照射的圖形通過鏡頭能被傳感器識別，繼而在電腦上形成圖像，可清楚地找到物體7上的基點。2、光刻光引擎6發射的藍紫雷射光源通過同軸的第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I進行光刻，其中被反射的觀察光通過第一分光稜鏡或第一分光反射鏡I按一定的比例折射曝光波長，被折射的曝光波長再通過同軸的第二分光稜鏡或第二分光反射鏡2後被CCD光傳感器接受成像。光刻的同時，雷射光源在鏡頭蝕刻的圖像也被傳感器識別並在電腦上顯示出來，觀察光刻圖形。
權利要求1.一種視覺系統，其特徵在於包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡。
2.根據權利要求I所述的一種視覺系統，其特徵在於所述的分光鏡為一個或多個分光稜鏡或分光反射鏡，所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源發出的三色光經物體反射後再經過分光鏡折射後來到光傳感器上並形成可視圖像。
3.根據權利要求2所述的一種視覺系統，其特徵在於所述的分光鏡有兩個，其分別為第一分光稜鏡或第一分光反射鏡(I)和第二分光稜鏡或第二分光反射鏡(2);所述的R、G、B三色LED光源有兩組，其分別為將第一分光稜鏡或第一分光反射鏡(I)圍住的第一 R、G、B三色LED光源(3)和將發射出的光垂直射向第二分光稜鏡或第二分光反射(2)的第二 R、G、B三色LED光源(4);所述第二分光稜鏡或第二分光反射(2)折射出來的光由光傳感器(5)接收並形成可視圖像。
4.根據權利要求3所述的一種視覺系統,其特徵在於所述第一分光稜鏡或第一分光反射鏡(I)與第一 R、G、B三色LED光源(3)同軸；第二分光稜鏡或第二分光反射鏡(2)與第一分光稜鏡或第一分光反射鏡(I)同軸。
5.根據權利要求I或2或3或4所述的一種視覺系統，其特徵在於所述光傳感器(5)為CCD光傳感器。
6.根據權利要求3或4所述的一種視覺系統，其特徵在於所述第一R、G、B三色LED光源(3)由多個R、G、B三色LED光源組成，多個R、G、B三色LED光源圍成封閉圖形狀。
7.根據權利要求6所述的一種視覺系統，其特徵在於所述多個R、G、B三色LED光源圍成環形的封閉圖形狀。
8.根據權利要求3或4所述的一種視覺系統,其特徵在於所述第一分光稜鏡或第一分光反射鏡(I)的光引擎(6)發身的雷射通過率為97-98%，反射的雷射為2-3%。
9.根據權利要求3或4所述的一種視覺系統,其特徵在於所述第一分光稜鏡或第一分光反射鏡(I)的由第一 R、G、B三色LED光源(3)發射的光的通過率為50%。
10.根據權利要求3或4所述的一種視覺系統，其特徵在於所述第二R、G、B三色LED光源(4)為單個R、G、B三色LED光源組成。
專利摘要本實用新型涉及一種視覺系統，包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡，所述的分光鏡為一個或多個分光稜鏡或分光反射鏡，所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源發出的三色光經物體反射後再經過分光鏡折射後來到光傳感器上並形成可視圖像。本實用新型提供了一種對照明光的角度、光譜和色溫，對觀察物體的光譜特性、形狀和背景的選取了達到了最佳的對比和檢測效果，能更好的觀察和識別物體，提高的基板的對準精度的新型視覺系統。
文檔編號G02B27/10GK202693995SQ201220258750
公開日2013年1月23日 申請日期2012年6月1日 優先權日2012年6月1日
發明者梅文輝, 杜衛衝, 曲魯傑 申請人:中山新諾科技有限公司