一種led襯底晶片加工切削液製備方法
2023-06-07 11:07:41 1
一種led襯底晶片加工切削液製備方法
【專利摘要】本發明公開了一種LED襯底晶片加工切削液製備方法，本發明通過向容器中加入去離子水，然後將分散劑、懸浮劑、光滑劑、三乙醇胺、亞硝酸鈉、F溶液按一定的比例分別加入到容器內攪拌15分鐘即可得到切削液。本發明的切削液，在多線切割過程中能夠提高藍寶石襯底晶片的質量、效率從而節約生產成本，又達到提高勞動生產率的目的。本發明方法製備切削液，無汙染綠色環保，對設備無腐蝕作用，加工時間縮短了，提高了效率。
【專利說明】—種LED襯底晶片加工切削液製備方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及藍寶石加工多線切割【技術領域】，具體地說是一種LED襯底晶片加工切削液製備方法。
【背景技術】
[0002]藍寶石Sapphire，又稱白寶石，是人造單晶材料，分子式為A1203，為六方晶體結構。硬度極高(莫氐硬度:9.2~9.4)、耐高溫、耐磨損、抗腐蝕和透光波段寬(光譜範圍:
0.3~6μπι)的優質光功能材料。具有集優良光學性能、物理性能和化學性能的獨特結合體。作為最硬(單晶純度≥99.99%，硬度9mohs)的氧化物晶體，藍寶石由於其光學和物理特性而被運用於各種要求苛刻的領域。藍寶石可以在高溫下保持其高強度、優良的熱屬性和透過率。它有著很好的熱特性，極好的電氣特性和介電特性，並且防化學腐蝕。隨著科學技術的迅猛發展，藍寶石(A1203)晶體已經成為現代工業，尤其是微電子及光電子產業極為重要的基礎材料。
[0003]隨著節能減排及綠色能源的提出，作為製作發光器件襯底的藍寶石切削液加工成為人們研究的焦點，為了滿足藍寶石光學器件發展的需求，藍寶石多線切削技術成為急待解決的重要問題。
【發明內容】
[0004]本發明的目的是為克服現有技術的不足，提供了一種LED襯底晶片加工切削液製備方法，本發明方法製備切削液，無汙染綠色環保，對設備無腐蝕作用。
[0005]本發明採用的技術方案是:本發明的切削液由分散劑、懸浮劑、光滑劑、三乙醇胺、亞硝酸鈉、F溶液、去離子水所構成，各組分按質量百分比分別為分散劑10~20%，懸浮劑10~15%，光滑劑15~25%，三乙醇胺15~20%，亞硝酸鈉10~15%，F溶液10~20%，去離子水5~10%。
[0006]所述分散劑為三乙基己基磷酸、十二烷基硫酸鈉、甲基戊醇中的一種。
[0007]所述懸浮劑為羥丙基甲基纖維素鈉、氰乙基纖維素鈉、苄基氰乙基纖維素鈉中的一種。
[0008]所述光滑劑為十烷基二甲基一氯甲矽烷、九烷基三甲基二氯乙矽烷、八烷基五甲基四氯丙矽烷中的一種。
[0009]本發明的製備方法步驟如下:(I)將容器清洗二遍然後將去離子水倒入到洗淨的容器內；
(2)將分散劑、懸浮劑、光滑劑、三乙醇胺、亞硝酸鈉、F溶液按一定的比例分別加入到容器內攪拌15分鐘即可；
(3)當使用上述工藝專用切削液，在多線切割過程中能夠提高藍寶石襯底晶片的質量、效率從而節約生產成本,又達到提高勞動生產率的目的。
[0010]本發明的有益效果是:(I)本發明方法製備切削液，無汙染綠色環保，對設備無腐蝕作用；
(2)產品質量提升:減少晶片表面線痕，BOW、TTV、WARP、能夠控制在IOum以內；
(3)穩定性好:在切割時能夠減少金剛線損耗，使產品長時間保持穩定的切削速率；
(4)低成本:加工時間縮短了，提高了效率，成本更低。
【具體實施方式】
[0011]實例1:先將容器清洗2遍，然後將10%去離子水倒入到洗淨的容器內；將10%三乙基己基磷酸、15%羥丙基甲基纖維素鈉、15%十烷基二甲基一氯甲矽烷、20%三乙醇胺、10%亞硝酸鈉、20% F溶液分別加入到洗淨的容器內攪拌15分鐘即可得到切削液；當使用上述工藝專用切削液，在多線切割過程中能夠提高藍寶石襯底晶片的質量、效率從而節約生產成本，又達到提高勞動生產率的目的。
[0012]實例2:先將容器清洗2遍，然後將5%去離子水倒入到洗淨的容器內；將15%十二烷基硫酸鈉、12%氰乙基纖維素鈉、20%九烷基三甲基二氯乙矽烷、18%三乙醇胺、15%亞硝酸鈉、15% F溶液分別加入到洗淨的容器內攪拌15分鐘即可得到切削液；當使用上述工藝專用切削液，在多線切割過程中能夠提高藍寶石襯底晶片的質量、效率從而節約生產成本，又達到提高勞動生產率的目的。
[0013]實例3:先將容器清洗2遍，然後將8%去離子水倒入到洗淨的容器內；將20%甲基戊醇、10%苄基氰乙基纖維素鈉、25%八烷基五甲基四氯丙矽烷、15%三乙醇胺、12%亞硝酸鈉、10% F溶液分別加入到洗淨的容器內攪拌15分鐘即可得到切削液；當使用上述工藝專用切削液，在多線切割 過程中能夠提高藍寶石襯底晶片的質量、效率從而節約生產成本，又達到提高勞動生產率的目的。
【權利要求】
1.一種LED襯底晶片加工切削液製備方法，其特徵在於:所述切削液由分散劑、懸浮劑、光滑劑、三乙醇胺、亞硝酸鈉、F溶液、去離子水所構成，各組分按質量百分比分別為分散劑10-20%，懸浮劑10-15%，光滑劑15-25%，三乙醇胺15-20%，亞硝酸鈉10-15%，F溶液10-20%，去離子水5-10%。
2.根據權利要求1所述的一種LED襯底晶片加工切削液製備方法，其特徵在於:所述分散劑為三乙基己基磷酸、十二烷基硫酸鈉、甲基戊醇中的一種。
3.根據權利要求1所述的一種LED襯底晶片加工切削液製備方法，其特徵在於:所述懸浮劑為羥丙基甲基纖維素鈉、氰乙基纖維素鈉、苄基氰乙基纖維素鈉中的一種。
4.根據權利要求1所述的一種LED襯底晶片加工切削液製備方法，其特徵在於:所述光滑劑為十烷基二甲基一氯甲矽烷、九烷基三甲基二氯乙矽烷、八烷基五甲基四氯丙矽烷中的一種。
5.根據權利要求1所述的一種LED襯底晶片加工切削液製備方法，其特徵在於:製備方法步驟如下: (1)將容器清洗二遍然後將去離子水倒入到洗淨的容器內； (2)將分散劑、懸浮劑、 光滑劑、三乙醇胺、亞硝酸鈉、F溶液按一定的比例分別加入到容器內攪拌15分鐘即可； (3)當使用上述工藝專用切削液，在多線切割過程中能夠提高藍寶石襯底晶片的質量、效率從而節約生產成本,又達到提高勞動生產率的目的。
【文檔編號】C10M169/04GK103450981SQ201310365965
【公開日】2013年12月18日 申請日期:2013年8月20日 優先權日:2013年8月20日
【發明者】潘相成 申請人:常州市好利萊光電科技有限公司