一種碳化矽寶石顆粒溼法工藝爐的製作方法

2023-06-05 14:31:01 1

本實用新型涉及一種工藝爐，尤其涉及一種運用於溼法製作碳化矽寶石顆粒的工藝爐，屬於晶體矽製作類領域。

背景技術：

目前，在碳化矽寶石顆粒製作中，市場上的溼法工藝爐在強鹼的條件下使用壽命有限，並且控制溫度的精度隨時間推移在下降，維護和維修都是問題。

在強鹼的環境下400多度處理碳化矽寶石顆粒，低溫時的鹼塊在高溫時變成液體，有較強的揮發性，同時溫度波動儘量小以保證寶石顆粒處理的一致性。溼法工藝爐在強鹼的條件下使用壽命很有問題（腐蝕性），並且控制溫度的精度也在下降（保溫性）。

為此，如何提供一種高壽命的碳化矽寶石顆粒溼法工藝爐，是本實用新型研究的目的。

技術實現要素：

為克服現有技術不足，本實用新型提供一種碳化矽寶石顆粒溼法工藝爐，採用坩堝和電爐的分層結構處理，保證了控制溫度的精度和操作的方便性，提高了工藝爐的使用壽命。

為解決現有技術問題，本實用新型所採用的技術方案是：

一種碳化矽寶石顆粒溼法工藝爐，包括上蓋板、上保溫箱、下保溫箱和控制箱；所述的上保溫箱設置在下保溫箱之上，所述的下保溫箱內部底端設置有電爐，所述的電爐上設置隔離託盤；所述的上保溫箱為中空結構，所述的中空結構設置有石墨坩堝；所述的上保溫箱上設置有測溫支架；所述的上保溫箱上端的中空口設置有上蓋板；所述的電爐通過導管連接控制箱。

所述的導線外圍材質為陶瓷管。

所述的電爐功率採用1KW。

所述的隔離託盤設置有6mm圓邊，採用不鏽鋼材質。

所述的上保溫箱和下保溫箱採用碳化矽晶體生長爐的軟氈材料。

本實用新型的有益效果是：溫度控制穩定、腐蝕氣體處理、操作方便並且運行成本低。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構拆解示意圖。

其中：上蓋板1、上保溫箱2、下保溫箱3、控制箱4、電爐5、隔離託盤6、石墨坩堝7、測溫支架8、導管9。

具體實施方式

為了使本領域技術人員能夠更加理解本實用新型技術方案，下面結合附圖1對本實用新型做進一步分析。

一種碳化矽寶石顆粒溼法工藝爐，包括上蓋板1、上保溫箱2、下保溫箱3和控制箱4；上保溫箱2設置在下保溫箱3之上，下保溫箱3內部底端設置有電爐5，電爐5功率採用1KW，其特性為均勻爐絲、不易打火併且壽命長；因長時間加熱會有強鹼滲出，故此電爐5上要設置隔離託盤6，隔離託盤6設置有6mm圓邊，採用不鏽鋼材質；上保溫箱2為中空結構，中空結構設置有石墨坩堝7；上保溫箱2上設置有測溫支架8；上保溫箱2上端的中空口設置有上蓋板1；電爐5通過導管9連接控制箱4，導線9外圍材質為陶瓷管；上保溫箱2和下保溫箱3採用碳化矽晶體生長爐的軟氈材料。

控制箱4儀表的PI調節控制SSR固態繼電器，直接輸出控制電爐5。

上蓋板1有風機吸走絕大部分的強鹼揮發物，窗外有弱酸桶來中和此處的強鹼揮發物來保護工作環境。

本實用新型所述的工藝爐自製腐蝕爐控制電路；保溫層和電爐的匹配以達到好的控溫效果；坩堝和電爐的分層結構；溫度控制穩定；腐蝕氣體處理；操作方便並且運行成本低，器件通配性好。

以上對本申請所提供的技術方案進行了詳細介紹，本文中應用了實施例對本申請的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用於幫助理解本申請的方法及其核心思想；同時，對於本領域的一般技術人員，依據本申請的思想，在具體實施方式及應用範圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本申請的限制。