一種氣相沉積設備反應氣體集中控制系統的運輸裝置的製作方法

2023-06-05 16:08:12 3

本發明涉及一種新型的氣相沉積設備反應氣體集中控制系統的運輸裝置，該裝置亦可用於氦氣檢漏、保壓的操作平臺使用。屬於半導體設備應用技術領域。

背景技術：

半導體設備中需要反應氣體集中控制系統來輸送氣體，在反應氣體集中控制系統到貨後，運至潔淨間的過渡間，需要將反應氣體集中控制系統運送到指定工位進行氦氣檢漏及保壓測試。到貨檢驗合格後再運送反應氣體集中控制系統將其安裝在機臺的工位上。

反應氣體集中控制系統的平均重量一般在40kg左右，且裡面所安裝的都是精密的器件，要求具有穩定的搬運環境並必須保證系統的安全。長期以來，此種反應氣體集中控制系統並沒有專用的運輸裝置，無專門用於搬運的把手等方便搬運的設計，以人力搬運或用叉車搬運極易造成反應氣體集中控制系統不同程度的損傷，包括掉漆，內部元件的鬆動等意外情況的發生。

技術實現要素：

本發明以解決上述問題為目的，主要解決現有的氣相沉積設備反應氣體集中控制系統無專用運輸裝置，而對系統容易造成損傷的問題。

為實現上述目的，本發明採用下述技術方案：一種氣相沉積設備反應氣體集中控制系統的運輸裝置，該運輸裝置的主體包括設有推手的機架。

進一步地，機架的上板設有膠墊，膠墊上制有一孔與氣控箱相通；

進一步地，機架的前底部設有腳輪；

進一步地，機架的後底部設有萬向輪，與萬向輪相對應的部位設有剎車。

所述腳輪和萬向輪各設兩個。

反應氣體集中控制系統到貨後需對其進行一系列的檢驗，檢驗合格後搬運安裝於設備上。在對氣相沉積設備反應氣體集中控制系統做氦氣檢漏及保壓的過程中，氣控箱可起到氣體集中控制系統內隔膜閥的作用，使氣體通暢。

本發明的有益效果及特點：結構合理，由於採用了萬向輪，可使在運輸的過程中隨時轉向。到達工位後，可使用剎車裝置，對整個系統實現控制，使其無法移動，保證系統安全。在做氦氣檢漏、氮氣保壓的過程中，使用氣控箱對系統內的隔膜閥進行開關控制。由於裝置的放置面較大，可滿足不同規格的氣相沉積設備反應氣體集中控制系統在到貨時檢驗及運輸的要求。可廣泛應用於半導體設備技術領域。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖。

圖中零件標號分別代表:

1、氣控箱；2、膠墊；3、推手；4、機架；5、剎車；6、萬向輪；7、腳輪。

下面結合附圖和實施例對本發明作進一步的說明。

具體實施方式

實施例

參照圖1，一種氣相沉積設備反應氣體集中控制系統的運輸裝置，該運輸裝置的主體包括設有推手3的機架4。所述機架4的上板設有膠墊2，膠墊2上制有一孔與氣控箱1相通；所述機架4的前底部設有腳輪7；所述機架4的後底部設有萬向輪6，與萬向輪6相對應的部位設有剎車5。

所述腳輪7和萬向輪6各設兩個。

使用時，將剎車踩下，將反應氣體集中控制系統8搬運至運輸裝置上並固定。打開剎車5，操作人員手推推手3，運輸到指定工位。打開反應氣體集中控制系統8的箱門，連接氣控箱及反應氣體集中控制系統8中的隔膜閥，連接氦氣檢漏儀，進行氦氣檢漏。當檢漏合格後，接通氮氣，同時控制氣控箱，做氮氣保壓工裝。當保壓合格後，可推放在指定工位，踩下剎車，使系統固定。或推送至機臺，踩下剎車，將反應氣體集中控制系統安裝在設備上。