一種石墨烯生長設備的製作方法

2023-06-05 02:52:56 1

本實用新型是一種石墨烯生長設備，屬於石墨烯設備領域。

背景技術：

石墨烯(Graphene)是一種由碳原子以sp2雜化軌道組成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜，是只有一層碳原子厚度的新型二維材料。由於石墨烯特殊的化學結構使其在力學、熱學、光學、電學等方面具有十分優異的性質，如具有超強的導電性、寬譜段高透明度、超高的機械強度與良好的導熱性等。石墨烯獨特的物理性質決定了其廣闊的應用前景，例如，石墨烯廣泛應用於光電設備，可以用於製作柔性透明電極等，利用石墨烯製作的柔性透明電極與目前市場主導的ITO透明電極相比，透光率更強、光電轉換效率更高、功耗更低、導熱性更好；石墨烯還可以用於製造下一代納米電子集成器件，製造得到的電子器件不僅運行速度快，並且耗能比現有器件顯著降低；此外，石墨烯在太空飛行器製造與醫療方面發揮著不可替代的作用。

現有技術公開了申請號為：201420440782.6的一種石墨烯生長設備，包括多個真空閥，依次設置在相鄰兩個真空閥之間的進料裝置、預熱裝置、沉積裝置和降溫裝置，以及生長基底和傳輸板；所述生長基底放置在傳輸板的表面；所述進料裝置、預熱裝置、沉積裝置和降溫裝置依次傳送傳輸板；所述進料裝置和降溫裝置內的傳送機構均採用傳送帶；所述預熱裝置和沉積裝置內的傳送機構均採用耐高溫輥道；所述進料裝置、預熱裝置、沉積裝置和降溫裝置上均設有進氣口和抽氣口。本實用新型能夠實現連續式生長大面積石墨烯，滿足生產大尺寸產品的需求，縮短石墨烯的生長周期，有效提高生產效率，但是其結構沒有氣壓表，當設備工作時，工作箱裡的氣壓不穩定，過大或者過小的話，無法立即得知，可能會發生意外，使用不便。

技術實現要素：

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種石墨烯生長設備，以解決。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種石墨烯生長設備，其結構包括角杯、機座、石英箱、固定鉛塊、氣壓表、石英管、工作箱、調整轉鈕、智能控制儀表、工作運行按鈕、工作停止按鈕、電源開關、狀態提示燈，所述角杯與機座固定連接，所述石英箱上設有固定鉛塊，所述氣壓表與石英管連接，所述工作箱上設有調整轉鈕，所述智能控制儀表與工作箱固定連接，所述工作運行按鈕與工作箱活動連接，所述工作停止按鈕與工作箱活動連接，所述電源開關與工作箱連接，所述狀態提示燈與工作箱連接，所述氣壓表包括旋緊螺紋、調緊螺母、錶盤、刻度碼、指針所述旋緊螺紋與調緊螺母活動連接，所述錶盤上設有刻度碼，所述指針與錶盤活動連接。

進一步地，所述石英箱與機座固定連接，所述工作箱與機座固定連接。

進一步地，所述機座上共設有六個角杯，所述固定鉛塊上設有連接扣。

進一步地，所述工作箱上共設有三個智能控制儀表。

進一步地，所述工作運行按鈕位於工作停止按鈕的右側，所述電源開關位於工作停止按鈕的左側。

本實用新型的一種石墨烯生長設備，其結構設有氣壓表，可以清洗直觀的查看工作箱裡的氣壓是否穩定，預防發生意外，使用方便。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特徵、目的和優點將會變得更明顯：

圖1為本實用新型一種石墨烯生長設備的結構示意圖；

圖2為本實用新型一種石墨烯生長設備氣壓表的結構示意圖；

圖中：角杯-1、機座-2、石英箱-3、固定鉛塊-4、氣壓表-5、石英管-6、工作箱-7、調整轉鈕-8、智能控制儀表-9、工作運行按鈕-10、工作停止按鈕-11、電源開關-12、狀態提示燈-13、旋緊螺紋-501、調緊螺母-502、錶盤-503、刻度碼-504、指針-505。

具體實施方式

為使本實用新型實現的技術手段、創作特徵、達成目的與功效易於明白了解，下面結合具體實施方式，進一步闡述本實用新型。

請參閱圖1與圖2，本實用新型提供一種石墨烯生長設備技術方案：其結構包括角杯1、機座2、石英箱3、固定鉛塊4、氣壓表5、石英管6、工作箱7、調整轉鈕8、智能控制儀表9、工作運行按鈕10、工作停止按鈕11、電源開關12、狀態提示燈13，所述角杯1與機座2固定連接，所述石英箱3上設有固定鉛塊4，所述氣壓表5與石英管6連接，所述工作箱7上設有調整轉鈕8，所述智能控制儀表9與工作箱7固定連接，所述工作運行按鈕10與工作箱7活動連接，所述工作停止按鈕11與工作箱7活動連接，所述電源開關12與工作箱7連接，所述狀態提示燈13與工作箱7連接，所述氣壓表5包括旋緊螺紋501、調緊螺母502、錶盤503、刻度碼504、指針505，所述旋緊螺紋501與調緊螺母502活動連接，所述錶盤503上設有刻度碼504，所述指針505與錶盤503活動連接，所述石英箱3與機座2固定連接，所述工作箱7與機座2固定連接，所述機座2上共設有六個角杯1，所述固定鉛塊4上設有連接扣，所述工作箱7上共設有三個智能控制儀表9，所述工作運行按鈕10位於工作停止按鈕11的右側，所述電源開關12位於工作停止按鈕11的左側。

在進行使用時，將物品放入工作箱7中，將調整轉鈕8調整好設定，打開電源開關12，按下工作運行按鈕10，查看智能控制儀表9是否穩定，即可進行使用，使用時，觀看氣壓表5，氣壓是否穩定，預防氣壓過大出現爆管，氣壓過小產量低，當指針505偏向左時，氣壓則偏大，而指針偏向右時，氣壓則偏小。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特徵和本實用新型的優點,對於本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限於上述示範性實施例的細節，而且在不背離本實用新型的精神或基本特徵的情況下，能夠以其他的具體形式實現本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示範性的，而且是非限制性的，本實用新型的範圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和範圍內的所有變化囊括在本實用新型內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。

此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但並非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術方案也可以經適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。