一種cz直拉單晶法真空泵的製作方法

2023-06-05 01:28:01

專利名稱：一種cz直拉單晶法真空泵的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於光電轉換材料的技術領域，涉及其生產工藝設備，更具體
地說，本實用新型涉及一種cz直拉單晶法真空泵。
背景技術：
目前，公知的CZ直拉單晶法需要在20torr (lKPa相當於7.6torr)以下的
低壓環境下進行長晶，拉制過程中必須維持真空泵的高速運轉；真空泵運轉過 程，對地面造成衝擊，形成一定頻率的震源，傳到至CZ直拉單晶爐，致使單晶 無法生長。因此從真空泵引入至今，對如何隔絕震源的人們都採取了很多措施。 目前普遍使用的真空泵的避震方法，都是真空泵地下墊上橡膠墊避震的方法， 但橡膠墊避震的並不能很好的隔絕震動，傳到至CZ單晶爐內晶體生長失敗。
實用新型內容
本實用新型所要解決的問題是提供一種cz直拉單晶法真空泵，其目的是提
高對真空泵的隔震效果。
為了實現上述目的，本實用新型採取的技術方案為
本實用新型所提供的這種CZ直拉單晶法真空泵下部設有避震裝置，所述的 避震裝置包括槽鋼底架及避震結構，所述的避震結構為在所述的槽鋼底架上 方，設由柔性材料製成的上避震模塊；在所述的槽鋼底架下方，設由柔性材料 製成的下避震模塊。
為使本實用新型更加完善，還進一步提出了以下更為詳盡和具體的技術方 案，以獲得最佳的實用效果，更好地實現發明目的，並提高本實用新型的新穎 性和創造性所述的上避震模塊為四根圓形的墊塊，用螺杆固定在槽鋼底架與真空泵上。 所述的下避震模塊為四個圓柱形的墊塊，直接置於槽鋼底架與地基之間。 所述的上避震模塊的材料為聚乙烯樹脂。 所述的下避震模塊的材料為橡膠避震墊。
本實用新型採用上述技術方案，採用兩級避震方式，更大幅度的降低真空
泵的震動；採用新型的聚乙烯樹脂棒做為主要避震方式，相對橡膠避震材料效
果更佳。


下面對本說明書各幅附圖所表達的內容及圖中的標記作簡要說明 圖1為本實用新型的結構示意圖； 圖2為圖1所示結構的俯視示意圖。 圖中標記為
1、槽鋼底架，2、上避震模塊，3、下避震模塊。
具體實施方式

下面對照附圖，通過對實施例的描述，對本實用新型的具體實施方式
如所 涉及的各構件的形狀、構造、各部分之間的相互位置及連接關係、各部分的作 用及工作原理、製造工藝及操作使用方法等，作進一步詳細的說明，以幫助本 領域的技術人員對本實用新型的發明構思、技術方案有更完整、準確和深入的 理解。
如圖l、圖2所表達的本實用新型的結構，本實用新型為一種CZ直拉單晶 法真空泵，所述的真空泵下部設有避震裝置，所述的避震裝置包括槽鋼底架1 及避震結構。
為了解決在本說明書背景技術部分所述的目前公知技術存在的問題並克服其缺陷，實現提高對真空泵的隔震效果的發明目的，本實用新型採取的技術方 案為
如圖l、圖2所示，本實用新型所提供的這種CZ直拉單晶法真空泵，所述 的避震結構為在所述的槽鋼底架l上方，設由柔性材料製成的上避震模塊2; 在所述的槽鋼底架1下方，設由柔性材料製成的下避震模塊3。
本實用新型真空泵避震器採用兩級避震的方式，分上下兩個避震模塊組成; 其結構主要有以下3部分組成(對照圖1):槽鋼底架1、上避震模塊2和下避
震模塊3。
避震器的緩震效果主要與避震材料的彈性係數與避震材料的高度成正比。 傳統的避震器為一級避震模式，僅有一個避震模塊(橡膠避震墊)，橡膠避震墊
的高度一般都不是很高(約為20mm左右)，使得傳統避震器的避震效果不明顯， 達不到CZ直拉單晶法拉制要求。
下面是本實用新型提供的具體實施示例，供本領域的技術人員在實施時參 考應用-
實施例一
本實用新型所述的上避震模塊2為四根圓形的墊塊，用螺杆固定在槽鋼底 架1與真空泵上。
4根直徑80mm、高度為80 120mm的聚乙烯樹脂棒及固定螺絲。 實施例二
本實用新型所述的下避震模塊3為四個圓柱形的墊塊，直接置於槽鋼底架1 與地基之間。
4個直徑200mm、高度為30mm的橡膠避震墊。 實施例三本實用新型所述的上避震模塊2的材料為聚乙烯樹脂。 上避震模塊2由4根直徑80mm、高度為80 120mm的聚乙烯樹脂棒組成， 該4根聚乙烯樹脂棒中間有螺絲空，用螺杆固定在槽鋼底架1與真空泵之間。 實施例四
本實用新型所述的下避震模塊3的材料為橡膠避震墊。
下避震模塊3由4個直徑200mm、高度為30mm的橡膠避震墊組成，橡膠 避震墊直接置於槽鋼底架l與地基之間，無其他固定方式。
上述技術方案所提供的避震裝置，用兩級避震的方式；採用比橡膠彈性系 數更好的聚乙烯樹脂棒作為主要避震材料，同時把聚乙烯樹脂棒的長度增加到 80 120mm，更大地減緩震動；真空泵遠轉的震動經過聚乙烯樹脂棒的一級緩 衝後，再採用直徑200mm、高度為30mm橡膠避震墊做第二層緩衝，進一步緩 衝震動。經過兩級緩衝後，真空泵運轉形成的震動已經大幅度降低，符合CZ直 拉單晶法的晶體生長要求。
上面結合附圖對本實用新型進行了示例性描述，顯然本實用新型具體實現 並不受上述方式的限制，只要採用了本實用新型的方法構思和技術方案進行的 各種非實質性的改進，或未經改進將本實用新型的構思和技術方案直接應用於 其它場合的，均在本實用新型的保護範圍之內。
權利要求1、一種CZ直拉單晶法真空泵，所述的真空泵下部設有避震裝置，所述的避震裝置包括槽鋼底架(1)及避震結構，其特徵在於所述的避震結構為在所述的槽鋼底架(1)上方，設由柔性材料製成的上避震模塊(2)；在所述的槽鋼底架(1)下方，設由柔性材料製成的下避震模塊(3)。
2、 按照權利要求1所述的CZ直拉單晶法真空泵，其特徵在於所述的上 避震模塊(2)為四根圓形的墊塊，用螺杆固定在槽鋼底架(1)與真空泵上。
3、 按照權利要求1所述的CZ直拉單晶法真空泵，其特徵在於所述的下 避震模塊(3)為四個圓柱形的墊塊，直接置於槽鋼底架(1)與地基之間。
4、 按照權利要求1或2或3所述的CZ直拉單晶法真空泵，其特徵在於 所述的上避震模塊(2)的材料為聚乙烯樹脂。
5、 按照權利要求1或2或3所述的CZ直拉單晶法真空泵，其特徵在於 所述的下避震模塊(3)為橡膠避震墊。
專利摘要本實用新型公開了一種CZ直拉單晶法真空泵，所述的真空泵下部設有避震裝置，所述的避震裝置包括槽鋼底架(1)及避震結構，所述的避震結構為在所述的槽鋼底架(1)上方，設由柔性材料製成的上避震模塊(2)；在所述的槽鋼底架(1)下方，設由柔性材料製成的下避震模塊(3)。採用上述技術方案，採用兩級避震方式，更大幅度的降低真空泵的震動；採用新型的聚乙烯樹脂棒作為主要避震方式，相對橡膠避震材料效果更佳。
文檔編號F04B37/14GK201425010SQ200920172290
公開日2010年3月17日 申請日期2009年5月27日 優先權日2009年5月27日
發明者張笑天, 馬四海 申請人:蕪湖昇陽光電科技有限公司