研磨矽片用夾具的製作方法

2023-06-05 02:32:11

專利名稱：研磨矽片用夾具的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種夾具，特別涉及一種研磨矽片用夾具，屬於矽片加工的技術領域。
背景技術：
在矽片加工過程中，將矽棒加工成矽片後，矽片上會產生不規則的形狀，為了不影響後續加工的質量，要將該不規則邊去除。傳統的去除不規則邊的工序是:將矽片用膠粘合在一起，再將不規則邊研磨掉。但是將娃片粘合在一起存在以下缺點:1、尺寸研磨工序結束後，進行表面研磨工序時，要先將粘合在一起的矽片通過溶解或清洗的方法分開，從而，增加了矽片的損壞率。2、由於矽片是通常膠粘合在一起的，雖然，通過清洗會將膠液去除，但仍會有殘餘的化合物留存，從而，影響矽片表面的平整度，給下道工序增加難度。為了解決上述技術問題，近來，出現了 一種夾具，該夾具包括定位夾，定位夾內設有夾緊板及鎖緊螺杆，鎖緊螺杆一端插入定位夾內，並頂在夾緊板上，使用時，將矽片排列整齊的放在空位夾內，調節鎖緊螺杆，使夾緊板將矽片夾緊，該夾具解決了上述技術問題，但該夾具是通過鎖緊螺杆推動夾緊板，實現矽片夾緊的，使用時，矽片與夾緊板之間沒有任何緩衝，研磨過程中，容易使矽片產生損壞。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單的研磨矽片用夾具，該夾具可避免研磨過程中，矽片的損壞。為了解決上述技術問題，本實用新型研磨矽片用夾具，包括定位夾、夾緊裝置，定位夾內設有夾緊板，其中，所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設有所述定位夾內壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設有至少一個彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接。上述的研磨矽片用夾具，其中，所述彈簧為碟簧。本實用新型可實現以下有益效果:由於所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設有所述定位夾內壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設有至少一個彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接，夾緊板夾緊矽片後，研磨過程中矽片因震動鬆動時，矽片在彈簧彈力的作用下，自動調節，避免矽片鬆開，且本實用新型結構簡單。

圖1是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型作進一步說明。為了解決上述技術問題，本實用新型研磨矽片用夾具，包括定位夾1，夾緊板2，夾緊裝置，定位夾I內設有夾緊板2，所述夾緊裝置包括連接板3，所述連接板4固定設有所述定位夾I內壁上，所述連接板3與所述夾緊板2相平行，所述連接板3與所述夾緊板2之間設有彈簧5，所述彈簧5兩端分別與所述連接板3及所述夾緊板2固定連接。彈簧5的數量不受限制，可以為一個，兩個或多個，根據具體要求進行設計。本實施例中優選彈簧5為碟簧，彈簧5數量為五個,彈簧5分布在連接板的四個角落及中心部位。工作時,將娃片卡在夾緊板與定位夾之間，將彈簧5壓緊，通過彈簧5的反作用力，將矽片夾緊。這裡本實用新型的描述和應用是說明性的，並非想將本實用新型的範圍限制在上述實施例中，因此，本實用新型不受本實施例的限制，任何採用等效替換取得的技術方案均在本實用新型保護的範圍內。
權利要求1.研磨矽片用夾具，包括定位夾、夾緊裝置，定位夾內設有夾緊板，其特徵在於，所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設有所述定位夾內壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設有至少一個彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接。
2.如權利要求1所述的研磨矽片用夾具，其特徵在於，所述彈簧為碟簧。
專利摘要本實用新型提供了研磨矽片用夾具，包括定位夾、夾緊裝置，定位夾內設有夾緊板，其特徵在於，所述夾緊裝置包括連接板，所述連接板固定設有所述定位夾內壁上，所述連接板與所述夾緊板相平行，所述連接板與所述夾緊板之間設有至少一個彈簧，所述彈簧兩端分別與所述連接板及所述夾緊板固定連接，夾緊板夾緊矽片後，研磨過程中矽片因震動鬆動時，矽片在彈簧彈力的作用下，自動調節，避免矽片鬆開，且本實用新型結構簡單。
文檔編號B24B37/27GK203062495SQ20122074253
公開日2013年7月17日 申請日期2012年12月29日 優先權日2012年12月29日
發明者聶金根 申請人:鎮江市港南電子有限公司