超淨高純級氟化銨溶液製備裝置的製作方法

2023-06-23 01:23:36 1

專利名稱：超淨高純級氟化銨溶液製備裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種超淨高純級氟化銨溶液製備裝置，屬於電子化學品生產設備 技術領域。
背景技術：
氟化銨溶液結構式為NH4F,為無色透明液體，能強烈腐蝕含矽的物質，在電子化學 品領域，主要用作矽片的腐蝕劑。氟化銨溶液主要由液氨、水和氟化氫反應配置而成，其中 液氨採用工業級液氨。由於工業級液氨含有微量的非金屬和金屬雜質，其直接反應製得的 氟化銨溶液其雜質含量高、純度差，不能達到MOS (金屬-氧化物-半導體)標準，即金屬雜 質含量小於lOOppb，控制1微米粒徑粒子達到SEMI C1C2標準要求，不能滿足微電子領域使 用要求。

發明內容本實用新型的目的在於克服上述不足，提供一種能去除氟化銨溶液中非金屬和金 屬雜質、能滿足微電子領域使用要求的超淨高純級氟化銨溶液製備裝置。本實用新型的目的是這樣實現的一種超淨高純級氟化銨溶液製備裝置，其特徵 在於它包括液氨儲罐、第一水洗桶、第二水洗桶、吸收桶、混合罐、過濾器、成品桶、氫氟酸 桶、純化水桶和水浴槽；所述液氨儲罐出口與第一水洗桶進口相連，所述第一水洗桶出口與第二水洗桶進 口相連，所述第二水洗桶出口與吸收桶進口相連，所述吸收桶出口與混合罐進口相連，所述 混合罐出口與過濾器進口相連，所述過濾器出口與成品桶相連；所述吸收桶置於水浴槽中，所述吸收桶上連接有氫氟酸桶和純化水桶。本實用新型的有益效果是本實用新型超淨高純級氟化銨溶液製備裝置，將液氨汽化為氨氣，再經二級水洗 以除去金屬與非金屬雜質，然後，將經過處理的氨氣通入吸收桶與氫氟酸溶液反應，並經過 混合罐混合後，過濾分裝製得超淨高純級氟化銨溶液，其能滿足微電子領域使用要求。

圖1為本實用新型超淨高純級氟化銨溶液製備裝置的結構示意圖。其中液氨儲罐1、第一水洗桶2、第二水洗桶3、吸收桶4、混合罐5、過濾器6、成品桶7、 氫氟酸桶8、純化水桶9、水浴槽10。
具體實施方式
參見圖1，本實用新型涉及的一種超淨高純級氟化銨溶液製備裝置，主要由液氨儲 罐1、第一水洗桶2、第二水洗桶3、吸收桶4、混合罐5、過濾器6、成品桶7、氫氟酸桶8、純化水桶9和水浴槽10組成；所述液氨儲罐1出口與第一水洗桶2進口相連，所述第一水洗桶2出口與第二水 洗桶3進口相連，所述第二水洗桶3出口與吸收桶4進口相連，所述吸收桶4出口與混合罐 5進口相連，所述混合罐5出口與過濾器6進口相連，所述過濾器6出口與成品桶7相連；所述吸收桶4置於水浴槽10中，所述吸收桶4上連接有氫氟酸桶8和純化水桶9。使用時，液氨汽化為氨氣，再經二級水洗以除去金屬與非金屬雜質，然後，將經過 處理的氨氣通入吸收桶與氫氟酸溶液反應，反應生成的熱量通過水浴槽10中的冷卻水帶 走，從而保持反應過程的平穩進行；再將反應後的氟化銨溶液經過混合罐混合後，過濾分裝 製得超淨高純級氟化銨溶液。
權利要求一種超淨高純級氟化銨溶液製備裝置，其特徵在於它包括液氨儲罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、過濾器(6)、成品桶(7)、氫氟酸桶(8)、純化水桶(9)和水浴槽(10)；所述液氨儲罐(1)出口與第一水洗桶(2)進口相連，所述第一水洗桶(2)出口與第二水洗桶(3)進口相連，所述第二水洗桶(3)出口與吸收桶(4)進口相連，所述吸收桶(4)出口與混合罐(5)進口相連，所述混合罐(5)出口與過濾器(6)進口相連，所述過濾器(6)出口與成品桶(7)相連；所述吸收桶(4)置於水浴槽(10)中，所述吸收桶(4)上連接有氫氟酸桶(8)和純化水桶(9)。
專利摘要本實用新型涉及一種超淨高純級氟化銨溶液製備裝置，其特徵在於它包括液氨儲罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、過濾器(6)、成品桶(7)、氫氟酸桶(8)、純化水桶(9)和水浴槽(10)。本實用新型超淨高純級氟化銨溶液製備裝置，將液氨汽化為氨氣，再經二級水洗以除去金屬與非金屬雜質，然後，將經過處理的氨氣通入吸收桶與氫氟酸溶液反應，並經過混合罐混合後，過濾分裝製得超淨高純級氟化銨溶液，其能滿足微電子領域使用要求。
文檔編號C01C1/16GK201770491SQ201020250960
公開日2011年3月23日 申請日期2010年7月1日 優先權日2010年7月1日
發明者戈士勇 申請人:江陰市潤瑪電子材料有限公司