一種電子束引出裝置的製作方法

2023-06-23 16:08:51

專利名稱：一種電子束引出裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於電子加速器技術領域，具體涉及一種電子束引出裝置。
技術背景現有工業電子加速器應用最廣泛的電子束引出裝置都類似斜三角形的扁平真空室(漏 鬥)。眾所周知，寬幅電子輻照裝置是以電子束掃描為基礎的，即藉助交變磁場使橫截面較小 的電子束髮生角偏移，從而使電子束沿被輻照表面移動。要使被照材料表面所有區域的品質 達到一致，就應保證輻照場是均勻的，也就是說，獲得的電子沿輻照場寬度方向的密度必須 均勻。由於必須保證輻照劑量沿窗的分布接近均勻，所以掃描角度一般不超過±25 30° ， 電子束引出裝置真空室縱向尺寸與掃描場寬度相當，因此電子束引出裝置沿輻射場寬度方向 尺寸較大，導致電子束引出裝置高度很高，難於在空間較小的場所使用。 發明內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種電子束引出裝置。本實用新型的一種電子束引 出裝置可以縮小電子束引出裝置的高度和體積，能夠在空間較小的場所使用。 本實用新型的目的是通過以下技術方案實現的本實用新型的電子束引出裝置，包括掃描盒體、磁鐵、引出窗、鈦箔。掃描盒體的電子 束進口端與加速器的掃描裝置連接，電子束出口端與引出窗連接，在引出窗上部的掃描盒體 的外壁上設置有用於產生恆定磁場的磁鐵，磁鐵為兩個平行與輻射場寬度方向的條形磁鐵， 兩個條形磁鐵間由導磁體連接。用於真空密封的鈦箔與引出窗下部固定連接。由加速器引出的電子束進入掃描裝置，偏轉了角度的電子束擴展束落入掃描盒體內真空 室的穩定磁場區。電子束在穩定磁場區內偏轉約90°後，通過引出窗和鈦箔到達被照物體。本實用新型由於採用產生恆定磁場的磁鐵，使電子束在穩定磁場區內發生偏轉，縮小了 電子束引出裝置的體積，降低引出裝置的高度，能夠在空間較小的場所使用。

圖1為本實用新型的電子束引出裝置的結構示意圖圖中，l.加速器 2.掃描裝置 3.掃描盒體 4.磁鐵 5.引出窗 6.被照物具體實施方式
以下結合附圖給出本實用新型的較佳實施例，以詳細說明本實用新型的技術方案。 圖1中，本實用新型的電子束引出裝置，包括掃描盒體3、磁鐵4、引出窗5、鈦箔。掃 描盒體3的電子束進口端與加速器1的掃描裝置2連接，電子束出口端與引出窗5連接，在引出窗5上部的掃描盒體3的外壁上設置有用於產生恆定磁場的磁鐵4。用於真空密封的鈦 箔與引出窗5下部固定連接。由加速器1引出的電子束進入掃描裝置2，偏轉了角度的電子束擴展束落入掃描盒體3 內的真空室，到達安裝在掃描盒體3外壁上的磁鐵4所形成的穩定磁場區。在磁場的作用下， 電子束在穩定磁場區內偏轉約90。後，通過引出窗5和鈦箔到達被照物體6。安裝在掃描盒體3外壁上產生穩定磁場區的磁鐵4為兩個平行於輻射場寬度方向的條形 磁鐵，兩個條形磁鐵間由導磁體連接。
權利要求1.一種電子束引出裝置，包括掃描盒體(3)、磁鐵(4)、引出窗(5)、鈦箔，其特徵在於掃描盒體(3)的電子束進口端與加速器(1)的掃描裝置(2)連接，電子束出口端與引出窗(5)連接，在引出窗(5)上部的掃描盒體(3)的外壁上設置有用於產生恆定磁場的磁鐵(4)；用於真空密封的鈦箔與引出窗(5)下部固定連接。
2. 根據權利要求1所述的電子束引出裝置，其特徵在於所述用於產生穩定磁場區的磁鐵(4) 為兩個平行於輻射場寬度方向的條形磁鐵，兩個條形磁鐵間由導磁體連接。
專利摘要本實用新型公開了一種電子束引出裝置。引出裝置包括掃描盒體、磁鐵、引出窗、鈦箔，掃描盒體的電子束進口端與加速器的掃描裝置連接，電子束出口端與引出窗連接，在引出窗上部的掃描盒體的外壁上設置有用於產生恆定磁場的磁鐵，用於真空密封的鈦箔與引出窗下部固定連接。本實用新型電子束引出裝置的高度較低，體積較小，能夠適用於空間較小的場所安裝的電子加速器。
文檔編號H05H7/00GK201114979SQ200720080910
公開日2008年9月10日 申請日期2007年8月29日 優先權日2007年8月29日
發明者何小海, 平 劉, 琦 李, 肖得鑫 申請人:中國工程物理研究院環保工程研究中心