新四季網

晶片單面拋光機防撞減壓裝置的製作方法

2023-06-14 07:03:26 1

專利名稱:晶片單面拋光機防撞減壓裝置的製作方法
技術領域:
本實用新型為拋光機的緩衝裝置,特別是晶片單面拋光機的防撞緩衝裝置,屬於拋光機械技術領域。氣缸運動終止時的緩衝裝置,讓快速運動的氣缸以逐步減速停下,以求得運動的平穩無衝擊。
背景技術:
傳統的拋光機都是以氣缸運動來實現上拋光頭的提升及下降,並保持壓力前行拋光,這類傳統拋光機對於常見的金屬零件或光學零件的加工是正常的。但是,在半導體晶片的拋光過程中,沒有緩衝的情況下,當氣缸運動到行程的上下二個端頭時,就會產生衝擊, 這樣就會造成摔壞拋光碟和破壞拋光晶片的後果,長時間運行還會損壞機器設備,使拋光機不能正常的工作,因此傳統拋光機不能適用於半導體晶片的拋光。
發明內容本實用新型緩衝裝置所要解決的問題是提供一種晶片單面拋光機防撞減壓裝置, 其結構簡單但卻可以緩衝氣缸在上下行程止點產生的衝擊,有利於保證半導體晶片的拋光質量,並延長拋光機的使用壽命。本實用新型技術解決此問題的方法是在與氣缸活塞杆成一體的上磨盤轉軸上連接有減振傳動杆,在傳動杆的行程上、下止點分別安裝有阻尼油缸,阻尼油缸內裝有復位的壓力彈簧,阻尼油缸的液壓油接口接於儲油器上。所述的傳動杆通過一連接板與轉軸的上端連接,並且採用二根傳動杆對稱安裝在連接板上。所述的阻尼油缸的下缸體與氣缸的支座成一體,缸內安裝的壓力彈簧採用圓柱螺
旋彈簧。本實用新型的工作原理是當氣缸中的轉軸運動到終點時,撞上阻尼油缸的活塞, 由於阻尼油缸的液壓油接口只能讓設定量的液壓油通過,迫使氣缸中轉軸下移速度降低, 直至終點。當氣缸中轉軸向上運動時,阻尼油缸中的活塞在彈簧的作用下回位,液壓油重新被吸回到油缸中。本實用新型的有益效果是採用了活塞式液壓壓力油循環方式的阻尼油缸,可以承受很大的氣缸壓力和較長的行程,緩衝拋光頭的衝擊力量,保證半導體晶片的拋光質量, 並延長拋光機的使用壽命。

圖1為本實用新型的結構示意圖。圖2為本實用新型的阻尼油缸結構示意圖圖中各標號為氣缸上蓋01、氣管接口 02、氣缸套03、上氣室04、支座05、下蓋06、
3轉軸07、上磨盤連接法蘭08、軸承09、液壓油接口 10、壓力彈簧11、活塞12、密封圈13、密封圈14、傳動杆15、軸承16、連接板17。
具體實施方式
參見圖1、2,上磨盤的轉軸07與氣缸活塞杆成一體,裝入氣缸套03中,轉軸07的上端連接一連接板17,連接板17兩側對稱安裝二根傳動杆15,在傳動,15的行程上、下止點分別安裝阻尼油缸,阻尼油缸的下缸體直接設置在氣缸的支座05上,阻尼油缸內裝有復位的壓力彈簧11,阻尼油缸的液壓油接口 10接於儲油器(圖中未畫)上。阻尼油缸的缸內安裝的壓力彈簧11採用圓柱螺旋彈簧,一端觸壓在缸底,另一端觸壓在活塞12的內孔中。氣缸中轉軸07向下運動時,帶動連接板17 —起運動,通過穿過氣缸體外面的導孔,減振作用的傳動杆15向下運動。當碰上阻尼油缸的活塞12時,活塞12繼續向下運動, 將油缸裡的油通過液壓油接口的限流孔推回儲油器,調節流量,控制油缸活塞的運動速度。 當轉軸07提起後,油缸活塞12在壓力彈簧11作用下彈起,將儲油器裡的油重新吸入阻尼油缸,完成復位。
權利要求1.一種晶片單面拋光機防撞減壓裝置,其特徵是在與氣缸活塞杆成一體的上磨盤轉軸上連接有減振傳動杆,在傳動杆的行程上、下止點分別安裝有阻尼油缸,阻尼油缸內裝有復位的壓力彈簧,阻尼油缸的液壓油接口接於儲油器上。
2.按權利要求1所述的晶片單面拋光機防撞減壓裝置,其特徵是傳動杆通過一連接板與轉軸的上端連接,並且採用二根傳動杆對稱安裝在連接板上。
3.按權利要求2所述的晶片單面拋光機防撞減壓裝置,其特徵是阻尼油缸的下缸體與氣缸的支座成一體,缸內安裝的壓力彈簧採用圓柱螺旋彈簧。
專利摘要本實用新型拋光機的緩衝裝置,特別是晶片單面拋光機的防撞緩衝裝置,屬於拋光機械技術領域。本緩衝裝置的特徵是,在與氣缸活塞杆成一體的上磨盤轉軸上連接有減振傳動杆,在傳動杆的行程上、下止點分別安裝有阻尼油缸,阻尼油缸內裝有復位的壓力彈簧,阻尼油缸的液壓油接口接於儲油器上。本實用新型結構簡單,可以承受很大的氣缸壓力和較長的行程,緩衝氣缸在上下行程止點產生的衝擊,減輕拋光頭的衝擊力量,保證半導體晶片的拋光質量,並延長拋光機的使用壽命。
文檔編號B24B55/00GK201940890SQ201020653218
公開日2011年8月24日 申請日期2010年12月11日 優先權日2010年12月11日
發明者李明, 楊理, 陳明壽 申請人:昆明臺興精密機械有限責任公司

同类文章

一種新型多功能組合攝影箱的製作方法

一種新型多功能組合攝影箱的製作方法【專利摘要】本實用新型公開了一種新型多功能組合攝影箱,包括敞開式箱體和前攝影蓋,在箱體頂部設有移動式光源盒,在箱體底部設有LED脫影板,LED脫影板放置在底板上;移動式光源盒包括上蓋,上蓋內設有光源,上蓋部設有磨沙透光片,磨沙透光片將光源封閉在上蓋內;所述LED脫影

壓縮模式圖樣重疊檢測方法與裝置與流程

本發明涉及通信領域,特別涉及一種壓縮模式圖樣重疊檢測方法與裝置。背景技術:在寬帶碼分多址(WCDMA,WidebandCodeDivisionMultipleAccess)系統頻分復用(FDD,FrequencyDivisionDuplex)模式下,為了進行異頻硬切換、FDD到時分復用(TDD,Ti

個性化檯曆的製作方法

專利名稱::個性化檯曆的製作方法技術領域::本實用新型涉及一種檯曆,尤其涉及一種既顯示月曆、又能插入照片的個性化檯曆,屬於生活文化藝術用品領域。背景技術::公知的立式檯曆每頁皆由月曆和畫面兩部分構成,這兩部分都是事先印刷好,固定而不能更換的。畫面或為風景,或為模特、明星。功能單一局限性較大。特別是畫

一種實現縮放的視頻解碼方法

專利名稱:一種實現縮放的視頻解碼方法技術領域:本發明涉及視頻信號處理領域,特別是一種實現縮放的視頻解碼方法。背景技術: Mpeg標準是由運動圖像專家組(Moving Picture Expert Group,MPEG)開發的用於視頻和音頻壓縮的一系列演進的標準。按照Mpeg標準,視頻圖像壓縮編碼後包

基於加熱模壓的纖維增強PBT複合材料成型工藝的製作方法

本發明涉及一種基於加熱模壓的纖維增強pbt複合材料成型工藝。背景技術:熱塑性複合材料與傳統熱固性複合材料相比其具有較好的韌性和抗衝擊性能,此外其還具有可回收利用等優點。熱塑性塑料在液態時流動能力差,使得其與纖維結合浸潤困難。環狀對苯二甲酸丁二醇酯(cbt)是一種環狀預聚物,該材料力學性能差不適合做纖

一種pe滾塑儲槽的製作方法

專利名稱:一種pe滾塑儲槽的製作方法技術領域:一種PE滾塑儲槽一、 技術領域 本實用新型涉及一種PE滾塑儲槽,主要用於化工、染料、醫藥、農藥、冶金、稀土、機械、電子、電力、環保、紡織、釀造、釀造、食品、給水、排水等行業儲存液體使用。二、 背景技術 目前,化工液體耐腐蝕貯運設備,普遍使用傳統的玻璃鋼容

釘的製作方法

專利名稱:釘的製作方法技術領域:本實用新型涉及一種釘,尤其涉及一種可提供方便拔除的鐵(鋼)釘。背景技術:考慮到廢木材回收後再加工利用作業的方便性與安全性,根據環保規定,廢木材的回收是必須將釘於廢木材上的鐵(鋼)釘拔除。如圖1、圖2所示,目前用以釘入木材的鐵(鋼)釘10主要是在一釘體11的一端形成一尖

直流氧噴裝置的製作方法

專利名稱:直流氧噴裝置的製作方法技術領域:本實用新型涉及ー種醫療器械,具體地說是ー種直流氧噴裝置。背景技術:臨床上的放療過程極易造成患者的局部皮膚損傷和炎症,被稱為「放射性皮炎」。目前對於放射性皮炎的主要治療措施是塗抹藥膏,而放射性皮炎患者多伴有局部疼痛,對於止痛,多是通過ロ服或靜脈注射進行止痛治療

新型熱網閥門操作手輪的製作方法

專利名稱:新型熱網閥門操作手輪的製作方法技術領域:新型熱網閥門操作手輪技術領域:本實用新型涉及一種新型熱網閥門操作手輪,屬於機械領域。背景技術::閥門作為流體控制裝置應用廣泛,手輪傳動的閥門使用比例佔90%以上。國家標準中提及手輪所起作用為傳動功能,不作為閥門的運輸、起吊裝置,不承受軸向力。現有閥門

用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置的製作方法

專利名稱:用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置的製作方法背景技術:1-本發明所屬領域本發明涉及一種用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置,其中的管狀容器被放在循環於配送鏈上的文檔匣或託架裝置中。本發明特別適用於,然而並非僅僅專用於,對引入自動分析系統的血液樣本試管之類的自動識別。本發明還涉及專為實現讀