高純度三氯氧磷鼓泡桶的製作方法

2023-06-09 02:34:31 2

專利名稱：高純度三氯氧磷鼓泡桶的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種三氯氧磷存儲裝置，具體地，涉及一種高純度三氯氧磷鼓泡桶。
背景技術：
高純度三氯氧磷(99.9999-99.99999% )是集成電路、太陽能電池、電子原件生產過程中的擴散、摻雜工藝中的主要原料，被廣泛應用於光伏、IC產業。在太陽能製造過程中，目前主要採用液態源進行擴散，高純氮氣通入源液中，攜帶三氯氧磷蒸汽至擴散爐中，在矽片表面形成PN結。如圖1所示，其為現有常用的高純度三氯氧磷源瓶的結構示意圖，高純氮氣由進氣管2通入源液4中，攜帶三氯氧磷蒸汽由出氣管3排出至擴散爐中。然而，由於瓶體I為平底結構，在擴散工藝中會造成一部分源浪費，當源瓶中液面較低，通常低於2cm時，高純氮氣攜帶源蒸汽較少，將不再滿足生產需要，此部分源被浪費掉，不僅浪費了原料，還對環境產生汙染。

實用新型內容針對現有技術中的缺陷，本實用新型的目的是提供一種高純度三氯氧磷鼓泡桶，本實用新型能夠充分利用三氯氧磷原料，有效避免環境汙染。根據本實用新型的一個方面，提供一種高純度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密閉瓶體和設置於瓶體上的進氣管和出氣管，瓶體底部中心位置向下凹陷形成一積源槽，進氣管設置在瓶體中心處且向瓶體內部延伸至積源槽的底面。優選地，積源槽上部略成漏鬥狀。優選地，積源槽直徑略大於進氣管直徑。優選地，積源槽的直徑大於等於4.0cm優選地，積源槽槽深為2.0 2.5cm。優選地，積源槽周圍的瓶體部分為實體耐高溫玻璃。本實用新型使用時，當瓶體內剩餘源較少時，剩餘的源被集中到積源槽中，源液面的高度使得氮氣充分與源液體接觸產生源蒸汽，滿足生產需要，從而提高源的利用率，同時降低生產成本，減輕對於環境的汙染。與現有技術相比，本實用新型具有如下的有益效果:1、本實用新型通過設計積源槽對剩餘源進行收集，最大程度的利用源瓶中三氯氧磷原料，大大提高了三氯氧磷源的利用率，減少了源的浪費率，降低生產成本，且有效減輕了環境汙染，利於環保。2、本實用新型的瓶體結構為圓柱形，與目前最常用的源瓶形狀一致，不需要對現有恆溫槽體做改變即可直接用於生產，可有效節約設備升級成本，適用範圍廣泛。3、瓶體底 部積源槽周圍部分為實體玻璃，整體穩定性好。
通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特徵、目的和優點將會變得更明顯:圖1為現有高純度三氯氧磷源瓶的結構示意圖；圖2為本實用新型高純度三氯氧磷鼓泡桶的結構示意圖；圖中:1為瓶體,2為進氣管,3為出氣管,4為源液,5為積源槽。
具體實施方式
下面結合具體實施例對本實用新型進行詳細說明。以下實施例將有助於本領域的技術人員進一步理解本實用新型，但不以任何形式限制本實用新型。應當指出的是，對本領域的普通技術人員來說，在不脫離本 實用新型構思的前提下，還可以做出若干變形和改進。這些都屬於本實用新型的保護範圍。三氯氧磷是一種用於太陽能電池片生產過程的擴散、摻雜工藝中的重要原料，高純氮氣通入裝有三氯氧磷的瓶子，將攜帶三氯氧磷至擴散石英爐中，經過高溫下一系列反應後，磷原子擴散到矽片中，完成擴散。鼓泡桶是用來裝三氯氧磷的瓶子，高純氮氣通入裝有三氯氧磷的瓶子後，形成氣泡，所以被稱為鼓泡桶；請參閱圖2，一種高純度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密閉瓶體I和設置於瓶體I上的進氣管2和出氣管3,瓶體I底部中心位置向下凹陷形成一積源槽5,進氣管2向瓶體I內部延伸至積源槽5的底面。具體地,積源槽槽深為2.0 2.5cm,本實施例中槽深為2cm，槽直徑約為4.0cm,積源槽5上部略成漏鬥狀，可以最大限度的收集源。積源槽5的直徑略大於進氣管2的直徑,具體地,槽直徑大於等於4.0cm,本實施例中槽直徑為4.0cm0進氣管2位於瓶體I的中心位置，其延伸至積源槽5底部附近，從進氣管2通入的高純氮氣可以充分與源接觸。瓶體I底部積源槽5的周圍部分與瓶體I瓶壁為一體，均為耐高溫玻璃，保證源瓶在搬運過程中的穩定性。本實用新型使用時，當瓶體I中剩餘三氯氧磷源量較少時，源就會匯集於積源槽5中，增大了源液面高度，從進氣管2通入的氣體可以充分的與源液體接觸，從而增大高純氮氣攜帶源量，最大限度的利用了三氯氧磷。對於一瓶500ml的源，現有技術源瓶源液面高度約為8cm，當不能滿足擴散生產時的液面高度為2cm，即使用現有技術的源瓶用於擴散工藝，源的浪費率約為25% (100ml)。而使用本實用新型源瓶用於擴散工藝中，源液面低於2cm時僅為圖2凹形槽的容積。本實用新型源瓶的凹形槽的深度為2.0cm,槽直徑為4.0cm,即使用本實用新型源瓶後，源的浪費量僅約為5% (25ml)，浪費率僅為現有技術的平底源瓶的1/5，大大提高了三氯氧磷的有效利用率，降低了成本。以上對本實用新型的具體實施例進行了描述。需要理解的是，本實用新型並不局限於上述特定實施方式，本領域技術人員可以在權利要求的範圍內做出各種變形或修改，這並不影響本實用新型的實質內容。
權利要求1.一種高純度三氯氧磷鼓泡桶，包括:密閉瓶體和設置於瓶體上的進氣管和出氣管，其特徵在於，所述瓶體底部中心位置向下凹陷形成一積源槽，所述進氣管設置在所述瓶體中心處且向瓶體內部延伸至所述積源槽的底面。
2.根據權利要求1所述的高純度三氯氧磷鼓泡桶，其特徵在於，所述積源槽上部略成漏鬥狀。
3.根據權利要求1所述的高純度三氯氧磷鼓泡桶，其特徵在於，所述積源槽直徑略大於所述進氣管直徑。
4.根據權利要求3所述的高純度三氯氧磷鼓泡桶，其特徵在於，所述積源槽的直徑大於等於4.0cm。
5.根據權利要求1所述的高純度三氯氧磷鼓泡桶，其特徵在於，所述積源槽槽深為2.0 2.5cm0
6.根據權利要求1所述的高純度三氯氧磷鼓泡桶，其特徵在於，所述積源槽周圍的瓶體部分 為實體耐高溫玻璃。
專利摘要本實用新型提供一種高純度三氯氧磷鼓泡桶，包括密閉瓶體和設置於瓶體上的進氣管和出氣管，瓶體底部中心位置向下凹陷形成一積源槽，進氣管設置在瓶體中心處且向瓶體內部延伸至積源槽的底面。本實用新型具有提高三氯氧磷源利用率，降低生產成本、減少環境汙染且適用範圍廣泛、穩定性好的優點。
文檔編號B01F13/02GK203079692SQ20132008856
公開日2013年7月24日 申請日期2013年2月27日 優先權日2013年2月27日
發明者戴熙明, 張坤 申請人:上海艾力克新能源有限公司