一種真空腔體蓋板的開合機構的製作方法

2023-06-08 15:23:01 1

本發明涉及一種蓋板開合機構，具體是一種真空腔體蓋板的開合機構，屬於半導體薄膜設備的應用技術領域。

背景技術：

在半導體製造的真空腔體中，當腔體蓋板關閉時，蓋板需要腔體口密封圈貼合，在設備維護時需要蓋板可開啟一定角度。在蓋板關閉後有真空吸附蓋板時，蓋板在真空吸附力作用下會產生變形，同時密封圈在蓋板壓力下會產生變形，使蓋板產生位移。因此需要發明一種蓋板開合機構，既能在蓋板閉合時緩衝真空壓力，又能支撐蓋板使其打開一定角度。

技術實現要素：

為解決上述問題，本發明提供了一種真空腔體蓋板的開合機構，實現了蓋板在一定角度的開合，當蓋板在真空作用下發生變形和位移時，所述機構可以使蓋板和真空腔體密封面緊密貼合，當蓋板開啟時，該機構可提供部分開啟蓋板所需的開啟力。

本發明是這樣實現的，一種真空腔體蓋板的開合機構，包括撐杆、鉸鏈座、槓桿約束杆a、槓桿約束杆b、槓桿銷軸、槓桿、蓋板連接件、氣體彈簧、蓋板和把手；槓桿一端通過槓桿銷軸與鉸鏈座連接，鉸鏈座與槓桿銷軸連接處的孔為豎直長條孔，槓桿銷軸可在長條孔中沿長條孔中心線方向往復移動；槓桿約束杆a兩端分別通過銷軸與鉸鏈座和槓桿約束杆b連接；槓桿約束杆b兩端分別通過銷軸與槓桿和槓桿約束杆a連接；氣體彈簧兩端分別通過銷軸與鉸鏈座和槓桿連接；蓋板通過蓋板連接件與槓桿連接；撐杆一端通過銷軸與槓桿連接，另一端連接在真空腔體的邊緣。

進一步地，鉸鏈座可通過螺栓與真空腔體固定連接，鉸鏈座上有可與槓桿約束杆a連接的鉸鏈孔。

進一步地，槓桿兩端分別有可與鉸鏈座和氣體彈簧連接的鉸鏈孔，在這兩個鉸鏈孔之間有可與槓桿約束杆b連接的鉸鏈孔。

進一步地，槓桿約束杆a一端通過銷軸與鉸鏈座上的鉸鏈孔連接，並可在一定角度範圍內自由轉動；槓桿約束杆a另一端與槓桿約束杆b通過銷軸連接，並可相對槓桿約束杆b在一定角度範圍內自由轉動。

進一步地，槓桿約束杆b一端通過銷軸與槓桿上的鉸鏈孔連接，並可相對槓桿在一定角度範圍內自由轉動；槓桿約束杆b另一端與槓桿約束杆a通過銷軸連接。

進一步地，當蓋板開啟到一定位置時，撐杆可保持蓋板的相對位置不變。

與現有技術相比，本發明的優點在於，所述真空腔體蓋板的開合機構可實現真空腔體蓋板在一定角度的開啟和關閉，當蓋板關閉後真空吸附蓋板時，所述機構可補償蓋板由真空力作用發生的位移，使蓋板密封性加強，減小相關部件的應力；在蓋板打開過程中，氣體彈簧可提供部分開啟蓋板所需的開啟力，可減輕勞動強度，使蓋板固定在一定的位置。

附圖說明

圖1為本發明真空腔體蓋板開合機構的立體結構示意圖；

圖2為蓋板關閉狀態真空腔體蓋板開合機構的主視結構示意圖；

圖3為蓋板開啟狀態真空腔體蓋板開合機構的主視結構示意圖。

具體實施方式

為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，下面結合實施例及附圖，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用於解釋本發明，並不用於限定本發明。

參考圖1和圖2，該機構包括撐杆1、鉸鏈座2、槓桿約束杆a3、槓桿約束杆b4、槓桿銷軸5、槓桿6、蓋板連接件7、氣體彈簧8、蓋板9和把手10；鉸鏈座2可通過螺栓與真空腔體連接固定；鉸鏈座2上有可與槓桿約束杆a3連接的鉸鏈孔；鉸鏈座2與槓桿銷軸5連接處的長條孔可使槓桿銷軸5在長條孔中沿長條孔中心線方向自由移動；槓桿6兩端分別有可與鉸鏈座2和氣體彈簧8連接的鉸鏈孔，在這兩個鉸鏈孔之間有可與槓桿約束杆b4連接的鉸鏈孔；槓桿約束杆a3兩端有鉸鏈孔，可分別通過銷軸與鉸鏈座2和槓桿約束杆b4連接；槓桿約束杆b4兩端有鉸鏈孔，可分別通過銷軸與槓桿6和槓桿約束杆a3連接；

槓桿6一端通過槓桿銷軸5與鉸鏈座2連接，鉸鏈座2與槓桿銷軸5連接處的孔為長條孔，槓桿約束杆a3兩端分別通過銷軸與鉸鏈座2和槓桿約束杆b4連接；槓桿約束杆b4兩端分別通過銷軸與槓桿6和槓桿約束杆a3連接；氣體彈簧8兩端分別通過銷軸與鉸鏈座2和槓桿6連接；蓋板9通過蓋板連接件7與槓桿6連接；撐杆1一端和槓桿連接，另一端可連接在真空腔體上；把手10連接於蓋板9上，提拉把1)手可開啟蓋板9。當蓋板9開啟到一定 位置時，撐杆1可保持蓋板9的相對位置不變。

參考圖2，本發明提供的真空腔體蓋板的開合機構，實現了蓋板在一定角度的開合，當蓋板在真空作用下發生變形和位移時，所述機構可以使蓋板和真空腔體密封面緊密貼合；參考圖3，當蓋板開啟時，該機構可提供部分開啟蓋板所需的開啟力。