在線式全自動hf及hno3換熱系統的製作方法

2023-05-27 06:46:46

在線式全自動hf及hno3換熱系統的製作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種在線式全自動HF及HNO3換熱系統，包括設備機臺（6），設備機臺（6）內置有桶式換熱器（2）、泵管道模組（3）、換熱器管道模組（4）和氣體室模組（5），設備機臺（6）頂端設有強制抽風管道接口（7），設備機臺（6）前端面上設有前維修門（8），設備機臺（6）側面設有電控櫃（9），電控櫃（9）內設有控制系統（1），電控櫃（9）側面設有電控區維修門（11），桶式換熱器（2）、泵管道模組（3）、換熱器管道模組（4）、氣體室模組（5）通過PLC連接控制系統（1），控制系統（1）由線路連接電控櫃（9）前端面上操作面板（10）上的按鍵控制區；本實用新型通過採用具有較大冷卻能力且多階段溫控過程進行監控，有效的抑制住了反應池內的高溫並進行有效的控溫。
【專利說明】在線式全自動HF及HN03換熱系統
[【技術領域】]
[0001]本實用新型涉及多晶矽清洗【技術領域】，具體地說是一種在線式全自動HF及HN03換熱系統。
[【背景技術】]
[0002]在多晶矽清洗領域，由於熱破碎工藝導致的最終清洗前矽塊表面大量粉塵存在的現象，常常會引起標準清洗工序一硝酸加氫氟酸(HN03 & HF)為清洗溶劑的工序一中第一池(70升左右容積)清洗過程中產生大量放熱，預計45秒內放熱量為1.1兆瓦左右，見下表一數據，並影響正常清洗酸液溫度的保持，導致整個清洗過程嚴重偏離預期清洗目標。多晶矽矽塊清洗工藝主要目的是一種表面清潔，無汙點的多晶矽。破碎或鋸開的矽塊需要一個能夠去除攜帶雜質的鋸傷的最小酸洗深度10-20微米，超溫清洗會將該酸洗深度加深到30微米以上，到時將矽塊無法達到使用要求並引起大量的報廢。
[0003]
【權利要求】
1.一種在線式全自動HF及HN03換熱系統，包括設備機臺(6)，其特徵在於:所述設備機臺(6)內置有桶式換熱器(2)、泵管道模組(3)、換熱器管道模組(4)和氣體室模組(5)，所述泵管道模組(3)與換熱器管道模組(4)相連，所述設備機臺(6)頂端設有強制抽風管道接口(7)，所述設備機臺(6)前端面上設有前維修門(8)，所述設備機臺(6)側面設有電控櫃(9)，所述電控櫃(9)與設備機臺(6)為一體式結構，所述電控櫃(9)內設有控制系統(1)，所述電控櫃(9)的前端面上設有操作面板(10)，所述電控櫃(9)側面設有電控區維修門(11)，所述桶式換熱器(2)、泵管道模組(3)、換熱器管道模組(4)、氣體室模組(5)通過PLC連接控制系統(1)，所述控制系統(I)由線路連接操作面板(10)上的按鍵控制區。
2.如權利要求1所述的在線式全自動HF及HN03換熱系統，其特徵在於:所述桶式換熱器(2 )設有至少兩個以上，所述泵管道模組(3 )採用變頻電機磁力泵。
3.如權利要求1或2所述的在線式全自動HF及HN03換熱系統，其特徵在於:所述桶式換熱器(2)包括換熱器桶體(12)和底座(13)，所述換熱器桶體(12)安裝在底座(13)上，所述換熱器桶體(12)頂端和底端的中央位置處均設有藥液進出口(14)，所述換熱器桶體(12)頂端還設有冰水出口(15)，所述換熱器桶體(12)底端還設有冰水進口(16)和排液口(17)。
4.如權利要求3所述的在線式全自動HF及HN03換熱系統，其特徵在於:所述藥液進出口(14)處密封連接藥液進出口接頭，所述藥液進出口接頭包括由上至下依次連接的PVDF進水頭(18)、PFA接頭(19)、密封圈(20)以及鐵氟龍卡環(21 )，所述藥液進出口( 14)與桶式換熱器(2)焊接為一體。
5.如權利要求4所述的在線式全自動HF及HN03換熱系統，其特徵在於:所述冰水進口(16)、冰水出口(15)處分別裝有PP活接球閥(22)，所述排液口(17)處安裝有PP活接開關(23)。
6.如權利要求5所述的在線式全自動HF及HN03換熱系統，其特徵在於:所述冰水進口(16)與冰水管道相連，所述冰水管道上設有壓力傳感器，所述冰水管道入口設置有冰水旁路管道。
7.如權利要求6所述的在線式全自動HF及HN03換熱系統，其特徵在於:所述藥液進出口(14)與藥液管道相連，所述藥液管道上設有溫度傳感器。
【文檔編號】F28D7/04GK203704723SQ201320824806
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2013年12月12日 優先權日:2013年12月12日
【發明者】簡建至, 江獻茂, 黃自柯 申請人:冠禮控制科技（上海）有限公司