一種矽單晶圓型錐籽晶專用夾持內套的製作方法

2023-06-17 04:12:51 1

專利名稱：一種矽單晶圓型錐籽晶專用夾持內套的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種矽單晶圓型錐籽晶專用夾持內套，用於大直徑直拉矽單晶生長過程中錐籽晶的固定。
背景技術：
直拉法是目前單晶矽生長的主要方法，而錐籽晶是直拉矽單晶製備的最主要耗材之一，在晶體生長的過程中籽晶承受著全部晶體的重量。隨著直拉矽單晶直徑的不斷增大， 籽晶夾具承受的重量越來越大，因此難以在晶體重量較大的情況下保證對中的準確性和安全性。公知的夾具內套主要是針對小直徑直拉矽單晶生長的，但是由於籽晶與夾具內套的接觸面積較小，當矽單晶直徑變大時會導致局部受力增大，因此無法保證晶體生長過程系統的安全性。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種能夠增大受力面積、保證整個連接系統的安全性和穩定性的矽單晶圓型錐籽晶專用夾持內套。為解決上述技術問題，本實用新型所採取的技術方案是一種矽單晶圓型錐籽晶專用夾持內套，由兩個半管相互扣合而成，扣合處的兩個半管上分別設有相互配合定位的凹槽和凸塊，其關鍵在於所述夾持內套的外表面的一端為圓柱形面，其另一端為圓臺形面，並且圓柱形外表面的直徑與圓臺形外表面大端的直徑相等；所述夾持內套的內腔的兩端分別為大圓柱形面和小圓柱形面，內腔中間為分別與大圓柱形面和小圓柱形面圓滑過渡的圓臺形面，並且內腔的大圓柱形面與圓柱形外表面的位置相對應。所述凹槽和凸塊均設置在所述夾持內套的圓柱形外表面的一端。採用上述技術方案所產生的有益效果在於本實用新型所涉及的錐籽晶專用夾持內套的整體形狀為兩個相互扣合的半管，便於拆卸和安裝，使整個系統在不影響安全性的同時增強了靈活程度，而且，由於內套採用分瓣配合方式，可以有效的緩解使用過程中熱應力對機構的影響，使夾具本身的使用壽命大幅度提高；內套的內外圓錐面均採用一定角度的圓臺接觸面，增加了工作時的受力面積，增強了整個系統的安全性和穩定性，有效的改善了由於夾具原因導致的晶體生長時的晶向偏移。

圖1是本實用新型的結構示意圖；圖2是本實用新型的剖視圖；圖3是本實用新型與籽晶夾具和錐籽晶配合後的示意圖。
具體實施方式

3[0011]
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明。如圖1、2所示為本實用新型的結構示意圖，一種矽單晶圓型錐籽晶專用夾持內套，由兩個半管相互扣合而成，扣合處的兩個半管上分別設有相互配合定位的凹槽和凸塊， 其關鍵在於所述夾持內套的外表面的一端為圓柱形面，其另一端為圓臺形面，並且圓柱形外表面的直徑與圓臺形外表面大端的直徑相等；所述夾持內套的內腔的兩端分別為大圓柱形面和小圓柱形面，內腔中間為分別與大圓柱形面和小圓柱形面圓滑過渡的圓臺形面， 並且內腔的大圓柱形面與圓柱形外表面的位置相對應。所述凹槽和凸塊均設置在所述夾持內套的圓柱形外表面的一端。如圖3所示為本實用新型與籽晶夾具和錐籽晶裝配後的示意圖。其中，籽晶夾具 8、夾持內套9和錐籽晶10由外而內相互配合，將整個機構豎直正向放置，由於重力的作用會使整個機構自行對中並結合緊密。
權利要求1.一種矽單晶圓型錐籽晶專用夾持內套，由兩個半管相互扣合而成，扣合處的兩個半管上分別設有相互配合定位的凹槽和凸塊，其特徵在於所述夾持內套的外表面的一端為圓柱形面，其另一端為圓臺形面，並且圓柱形外表面的直徑與圓臺形外表面大端的直徑相等；所述夾持內套的內腔的兩端分別為大圓柱形面和小圓柱形面，內腔中間為分別與大圓柱形面和小圓柱形面圓滑過渡的圓臺形面，並且內腔的大圓柱形面與圓柱形外表面的位置相對應。
2.根據權利要求1所述的一種矽單晶圓型錐籽晶專用夾持內套，其特徵在於所述凹槽和凸塊均設置在所述夾持內套的圓柱形外表面的一端。
專利摘要本實用新型公開了一種矽單晶圓型錐籽晶專用夾持內套，用於大直徑直拉矽單晶生長過程中錐籽晶的固定。所述夾持內套由兩個半管相互扣合而成，扣合處的兩個半管上分別設有相互配合定位的凹槽和凸塊，夾持內套的外表面的一端為圓柱形面，其另一端為圓臺形面，並且圓柱形外表面的直徑與圓臺形外表面大端的直徑相等；夾持內套的內腔的兩端分別為大圓柱形面和小圓柱形面，內腔中間為分別與大圓柱形面和小圓柱形面圓滑過渡的圓臺形面，並且內腔的大圓柱形面與圓柱形外表面的位置相對應。本實用新型便於拆卸和安裝，增加了工作時的受力面積，有效的增強了整個系統的安全性和穩定性。
文檔編號C30B29/06GK202214451SQ20112031509
公開日2012年5月9日 申請日期2011年8月26日 優先權日2011年8月26日
發明者劉雲鵬, 曹中謙, 李彥林, 李永輝, 荊新傑 申請人:河北宇晶電子科技有限公司