用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡的製作方法

2023-06-17 00:51:26

專利名稱：用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於太陽能光伏技術領域，涉及一種氫化爐中的測溫視鏡，特別是涉
及一種用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡。
背景技術：
近幾年來，國內多晶矽生產技術高速發展，然而現在生產多晶矽80 %採用西門子法，西門子法製備多晶矽的同時，也生成了大量副產物SiC^、 SiCl4不僅浪費原材料，處理不當還會造成嚴重的環境汙染問題，為了降低生產成本，循環利用生產原料，防止環境汙染，急需能夠有效處理SiCl4的氫化爐。 氫化爐運作時需要通過觀察爐內溫度對各工藝口進行控制，以保持設備穩定高效的運行，這就需要在氫化爐中設置一個或幾個測溫視鏡。 目前，還沒有氫化爐的專用視鏡，常用視鏡結構簡單，而氫化爐是夾套結構，需要設置引出管連接視鏡和設備，由於設備內部反應溫度很高，筒體和夾套溫差很大，造成引出管周期性的受熱膨脹並導致焊縫疲勞破壞而出現裂縫，而且視鏡玻璃的耐熱溫度有限，故而需要採用新的結構，既能對視鏡的關鍵部位進行冷卻，又能防止焊縫疲勞破壞。

實用新型內容本實用新型的目的在於提供一種用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，用於解決氫化爐設備內筒體和夾套溫差過大，而導致視鏡引出管受熱膨脹引起的焊縫疲勞破壞的技術問題，同時還要解決視鏡玻璃的冷卻問題。 為了實現本實用新型的目的，本實用新型的用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其依次包括固定相連接的外法蘭、外視鏡玻璃、中間法蘭、內視鏡玻璃和內法蘭，所述內法蘭通過引出管與氫化爐的內筒體相連接。所述引出管外套設有與其同軸心的波紋管，所述波紋管一端與所述內法蘭相連，另一端與所述夾套筒體相連。 其中，所述外視鏡玻璃、所述中間法蘭和所述內視鏡玻璃形成一水冷卻室，所述中
間法蘭外側分別設有冷卻水進水管和冷卻水出水管，並與所述水冷卻室相通。 所述冷卻水進水管與冷卻水出水管均沿徑向固定在中間法蘭外側。 所述波紋管與所述內法蘭內端通過短節連接，與所述夾套筒體通過外鍛件管連接。 所述引出管與所述內筒體通過內鍛件管連接。 所述的外法蘭、外視鏡玻璃、中間法蘭、內視鏡玻璃和內法蘭通過緊固螺栓和螺母連接。 本實用新型用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡的工作原理是氫化爐工作時，引出管受熱膨脹，夾套筒體中的冷卻水流經波紋管和引出管之間的間隙對引出管進行冷卻，減少熱膨脹量，並由波紋管吸收剩餘膨脹量。冷卻水經進出水管通過水冷卻室對視鏡玻璃進行冷卻。[0013] 本實用新型和已有技術相比，具有以下優點 1.本實用新型在引出管外套設波紋管，利用波紋管和引出管之間的間隙填充冷卻水，對引出管和內法蘭進行冷卻，並且利用波紋管吸收引出管的熱膨脹，避免了溫度變化產生的疲勞破壞，保證了設備的安全運行。 2.在內外層視鏡之間設置水冷卻室，通過外接管路通入冷卻水對視鏡玻璃進行冷卻，並且雙層視鏡玻璃提高了視鏡的安全性。

圖1是本實用新型的用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡結構示意圖。[0017] 圖中，1是外鍛件管、2是波紋管、3是短節、4是內法蘭、5是冷卻水進水管、6是中間法蘭、7是外法蘭、8是外視鏡玻璃、9是緊固螺栓、10是螺母、11是冷卻水出水管、12是內視鏡玻璃、13是引出管、14是內鍛件管、15是夾套筒體、16是內筒體。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的具體結構作進一步描述。 如圖1所示，本實用新型用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡包括外法蘭7、中間法蘭6、內法蘭4、外視鏡玻璃8、內玻璃視鏡12、引出管13、波紋管2、短節3、外鍛件管1、內鍛件管14、進水管11、出水管5、螺栓9和螺母10。 其中外法蘭7、外視鏡玻璃8、中間法蘭6、內視鏡玻璃12和內法蘭4依次排布，並用緊固螺栓9和螺母IO連接。外視鏡玻璃8、中間法蘭6和內視鏡玻璃12圍成了一個水冷卻室。冷卻水由進水管11進入水冷卻室，吸收內視鏡玻璃12和外視鏡玻璃8的熱量後從出水管5流出，進水管11與出水管5均沿徑向焊接在中間法蘭6外側。[0021] 內法蘭4與引出管13焊接連接，內筒體16與引出管13通過內鍛件管14焊接連接，並且在引出管13外套設有與其同心的波紋管2。波紋管2通過短節3與內法蘭4焊接連接，通過外鍛件管1與夾套筒體15焊接連接。引出管13與波紋管2之間留有間隙，夾套筒體內的冷卻水可以流入間隙中對引出管13和內法蘭4進行冷卻。 本實施例用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡的工作過程是夾套筒體15冷卻水流經波紋管2和引出管13之間的間隙，外部冷卻水通過進水管5和出水管11流經由外視鏡玻璃8、中間法蘭6和內視鏡玻璃12組成的水冷卻室。 氫化爐工作時，引出管13受熱，波紋管2和引出管13之間的冷卻水對引出管13和內法蘭4進行冷卻，並由波紋管2吸收引出管13的熱膨脹，避免了溫度變化引起的疲勞破壞，保證了設備的安全運行。 進水口 5流入的冷卻水對外視鏡玻璃8和內視鏡玻璃12進行冷卻，雙層視鏡玻璃也提高了視鏡安全性。
權利要求一種用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特徵在於，其依次包括固定相連接的外法蘭(7)、外視鏡玻璃(8)、中間法蘭(6)、內視鏡玻璃(12)和內法蘭(4)，所述內法蘭(4)通過引出管(13)與氫化爐的內筒體(16)相連接，所述引出管(13)外套設有與其同軸心的波紋管(2)，所述波紋管(2)一端與所述內法蘭(4)相連，另一端與所述夾套筒體(15)相連。
2. 根據權利要求1所述的用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特徵在於，所述外視鏡玻璃(8)、所述中間法蘭(6)和所述內視鏡玻璃(12)形成一水冷卻室，所述中間法蘭(6)外側分別設有冷卻水進水管(11)和冷卻水出水管(5)，並與所述水冷卻室相通。
3. 根據權利要求2所述的用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特徵在於，所述冷卻水進水管(5)與冷卻水出水管(11)均沿徑向固定在中間法蘭(6)外側。
4. 根據權利要求l-3任意一項所述的用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特徵在於，所述波紋管(2)與所述內法蘭(4)內端通過短節(3)連接，與所述夾套筒體(15)通過外鍛件管(1)連接。
5. 根據權利要求4所述的用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特徵在於，所述引出管(13)與所述內筒體(16)通過內鍛件管(14)連接。
6. 根據權利要求1所述的用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其特徵在於，所述的外法蘭(7)、外視鏡玻璃(8)、中間法蘭(6)、內視鏡玻璃(12)和內法蘭(4)通過緊固螺栓(9)和螺母(10)連接。
專利摘要本實用新型提供了一種用於氫化爐的波紋管雙層玻璃視鏡，其依次包括固定相連接的外法蘭、外視鏡玻璃、中間法蘭、內視鏡玻璃和內法蘭，所述內法蘭通過引出管與氫化爐的內筒體相連接，所述引出管外套設有與其同軸心的波紋管，所述波紋管一端與所述內法蘭相連，另一端與所述夾套筒體相連。本實用新型利用波紋管和引出管之間的間隙填充冷卻水，對引出管和內法蘭進行冷卻，並且利用波紋管吸收引出管的熱膨脹，避免了溫度變化產生的疲勞破壞，保證了設備的安全運行。
文檔編號G02B7/00GK201514504SQ20092021000
公開日2010年6月23日 申請日期2009年9月24日 優先權日2009年9月24日
發明者吳海龍, 李東曦, 石蘭, 茅陸榮 申請人:上海森松壓力容器有限公司