一種擴散爐管的製作方法

2023-06-05 19:22:46

一種擴散爐管的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種擴散爐管，包括有爐管、爐帽、觀察孔等，其特徵在於：在所述爐帽上還設置有尾氣排放管道。本實用新型的有益效果是：直接將尾氣排入抽風管道，不會對環境造成汙染，改善了勞動條件，保障了工人的身體健康，提高了工作效率，結構簡單實用。
【專利說明】一種擴散爐管
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及的是半導體電子元器件製造【技術領域】，尤其是涉及一種擴散爐管的改進。
【背景技術】
[0002]擴散爐管是半導體器件及大規模集成電路製造過程中用於對矽片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝的一種加工裝置。主要反應裝置一般分為水平式和直立式兩種，半導體材料在高純淨的反應腔內進行高溫反應，此過程一般需要通入不同種類的氣體或對腔體進行抽真空處理。整個生產過程需要操作、生產設備需要純淨、輕便、耐高溫。在生產過程中，需通過打開觀察孔對爐管進行監控，在打開觀察孔進行觀察的同時，爐管內的尾氣隨之排出。目前多數設備爐帽部分無直接將尾氣排入抽風管道的裝置，直接將廢氣排入車間內，汙染了室內環境，不利於工人的身體健康，影響生產效率。這是現有技術的不足之處。

【發明內容】

[0003]本實用新型的目的在於，克服現有技術的不足，提供了一種結構簡單、對環境不造成汙染的一種擴散爐管。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案為:一種擴散爐管，包括有爐管、爐帽、觀察孔等，其特徵在於:在所述爐帽上還設置有尾氣排放管道。
[0005]本實用新型的進一步改進有，所述尾氣排放管道設置在所述觀察孔的正上方。
[0006]本實用新型的進一步改進還有，所述尾氣排放管道與抽風管道相連。
[0007]說明書中沒有描述的結構屬於現有技術。尾氣排放管道用石英材料製成。
[0008]本方案的有益效果可根據對上述方案的敘述得知，一種擴散爐管，包括有爐管、爐帽、觀察孔等，其特徵在於:在所述爐帽上還設置有尾氣排放管道。本實用新型的有益效果是:直接將尾氣排入抽風管道，不會對環境造成汙染，改善了勞動條件，保障了工人的身體健康，提高了工作效率，結構簡單實用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖，圖2為實用新型的爐帽部分結構示意圖。圖中:I是觀察孔，2是手柄，3是尾氣排放管道，4是爐帽，5是爐管，6是對接磨砂球體。
【具體實施方式】
[0010]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明。
[0011]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明，通過附圖可以看出，一種擴散爐管，包括有爐管5、爐帽4、觀察孔I等，在爐帽4上還設置有尾氣排放管道3。尾氣排放管道3設置在觀察孔I的正上方。尾氣排放管道3與抽風管道相連。[0012]當然，上述說明並非對本實用新型的限制，本實用新型也不僅限於上述舉例，本【技術領域】的普通技術人員在本實用新型的實質範圍內所做出的變化、改型、添加或替換，也屬於本實用新型的保護範圍。
【權利要求】
1.一種擴散爐管，包括有爐管、爐帽、觀察孔等，其特徵在於:在所述爐帽上還設置有尾氣排放管道。
2.根據權利要求1所述的一種擴散爐管，其特徵在於:所述尾氣排放管道設置在所述觀察孔的正上方。
3.根據權利要求1或2所述的一種擴散爐管，其特徵在於:所述尾氣排放管道與抽風管道相連。
【文檔編號】C30B31/16GK203530504SQ201320683341
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年11月1日 優先權日:2013年11月1日
【發明者】郭城, 呂明, 紀大鵬, 趙海玲, 徐明星, 郭英雲 申請人:山東科芯電子有限公司