真空鍍膜自動轉換裝置的製作方法

2023-05-26 08:02:41 2

專利名稱：真空鍍膜自動轉換裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於鍍膜設備，特別涉及一種能送料、鍍膜和出料連續操作的真空鍍膜自動裝置。
背景技術：
真空鍍膜技術在經濟社會各個領域有著廣泛應用，特別是科技迅速發展、人們生活的不斷提高以及高科技鍍膜產品的不斷湧現，給真空鍍膜技術的發展和推廣應用帶來了新的機遇。真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD雷射濺射沉積等很多種。需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材。基片與靶材同在真空腔中。如蒸發鍍膜就是加熱靶材，使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來，並且沉降在基片表面，通過成膜過程形成薄膜。常見的蒸發鍍膜就是將放置鍍膜工件的託架置於真空沉積腔室內，關閉閘門後， 啟動控制裝置抽真空，啟動加熱裝置對鍍膜工件加熱，啟動加熱裝置對靶材加熱達到靶材蒸發，實現對託架上工件鍍膜操作，鍍膜工序結束後，打開閘門再取出鍍膜工件，再放入下一批鍍膜工件，按照上述重複操作。然而，這樣操作效率低下。

實用新型內容為了克服上述缺陷，本實用新型提供一種真空鍍膜自動轉換裝置，能將放置工件、 進行真空鍍膜和取出鍍膜工件連續進行，提高了加工效率。本實用新型為了解決其技術問題所採用的技術方案是一種真空鍍膜自動轉換裝置，包括並排相連的進料室、真空鍍膜室和出料室，該進料室與真空鍍膜室之間，以及該真空鍍膜室與出料室之間分別設有能密封關閉的第二閘門和第三閘門，其中1)該進料室設有用於託架滑動的第一軌道、控制託架沿該第一軌道滑動的第一滑動機構以及能送入託架並密封關閉的第一閘門；2)該真空鍍膜室設有能由該第一軌道上託架通過該第二間門滑入的第二軌道、控制託架沿該第二軌道滑動的第二滑動機構；3)該出料室設有由該第二軌道上託架通過該第三間門能滑入的第三軌道、控制託架沿該第三軌道滑動的第二滑動機構以及能取出託架並密封關閉的第四閘門。作為本實用新型的進一步改進，該託架設有能放置鍍膜工件的支撐板或掛鈎。作為本實用新型的進一步改進，該第一滑動機構、第二滑動機構和第三滑動機構分別設於對應軌道上並能支撐託架滑動的滾輪組，各滾輪組分別通過對應驅動馬達控制滾動。作為本實用新型的進一步改進，該第一閘門、第二閘門、第三閘門和第四閘門分別通過馬達控制關閉或打開。作為本實用新型的進一步改進，該真空鍍膜室內側頂部至少設有一個能對託架上的工件加熱的電阻加熱體或紅外加熱體。作為本實用新型的進一步改進，該進料室內側頂部至少設有一個能對託架上的工件加熱的電阻加熱體或紅外加熱體。作為本實用新型的進一步改進，該真空鍍膜室位於該第二軌道下方設有靶材，該靶材通過加熱機構加熱蒸發，該加熱機構為安裝於該真空鍍膜室內並可放置該靶材的槽狀金屬加熱體，該槽狀金屬加熱體兩側設有一對電極，該對電極另一端弓I出於該真空鍍膜室後，分別與電源變壓器之次級繞組弓I出端連接。作為本實用新型的進一步改進，該靶材還通過轉動機構控制能相對該第二軌道上託架轉動，該轉動機構為通過軸承固定於該真空鍍膜室內側底部的轉軸，該轉軸上端與絕緣連接杆一端固定，並且該絕緣連接杆與該轉軸呈直角連接，該絕緣連接杆另一端固定該槽狀金屬加熱體，該對電極另一端沿該絕緣連接杆，並通過該轉軸內的兩通孔引出，該轉軸下端伸出該真空鍍膜室外後固定滾輪，並通過傳送帶和馬達控制轉動。本實用新型的有益技術效果是所述進料室、真空鍍膜室和出料室分別用於裝載鍍膜工件、進行真空操作和取出鍍膜工件，所述第一軌道與第一滑動機構、第二軌道與第二滑動機構以及第三軌道與第三滑動機構，實現了將裝有鍍膜工件的託架從進料室送入真空鍍膜室，再由真空鍍膜室送入出料室，而所述第二閘門和第三閘門既起到密封關閉作用 (便於真空鍍膜室操作)，又有利於託架在各工作室之間轉換，所述第一滑動機構、第二滑動機構和第三滑動機構，以及第一閘門、第二閘門、第三閘門和第四閘門都分別通過馬達控制操作的，因此整個鍍膜過程(包括放置工件、真空鍍膜和取出工件)連續進行，提高了加工效率。

[0019]圖1為本實用新型的半剖視結構示意圖。[0020]對照以上附圖作如下補充[0021]20——一真空鍍膜室3——-靶材[0022]21——一進料室46———託架[0023]22——一出料室50——一槽狀金屬加熱體[0024]23a—一第一閘門52一一絕緣連接杆[0025]23b—一第二閘門60———轉軸[0026]23c——第三閘門61———軸承[0027]23d—一第四閘門62——通孔[0028]24—電熱絲加熱體63———滾輪[0029]25—電熱絲加熱體64——一傳送帶[0030]30a—一第一軌道66——一馬達[0031]30b—一第二軌道70—一電源變壓器[0032]30c—一第三軌道
具體實施方式結合附圖1，以下作詳細描述[0034]一種真空鍍膜自動轉換裝置，包括並排相連的進料室21、真空鍍膜室20和出料室 22，該進料室21與真空鍍膜室20之間，以及該真空鍍膜室20與出料室22之間分別設有能密封關閉的第二閘門2 和第三閘門23c，該第二閘門2 和第三閘門23c能分別通過馬達控制關閉或打開，其中1)該進料室21設有用於託架滑動的第一軌道30a、控制託架(圖中未示出)沿該第一軌道30a滑動的第一滑動機構以及能送入託架並密封關閉的第一閘門23a，該第一閘門23a能通過馬達控制關閉或打開，便於裝載託架和工件，該進料室21內側頂部設有一個能對託架上的工件加熱的電熱絲加熱體對，該第一滑動機構設於該第一軌道上並能支撐託架滑動的滾輪組，該滾輪組通過對應驅動馬達控制滾動；2)該真空鍍膜室20設有能由該第一軌道30a上託架通過該第二閘門2 滑入的第二軌道(30b)、控制託46沿該第二軌道(30b)滑動的第二滑動機構，該託架46設有能放置鍍膜工件的支撐板或掛鈎，該真空鍍膜室20內側頂部設有兩個能對託架上的工件加熱的電熱絲加熱體25，圖1中顯示兩個電熱絲加熱體25，該第二滑動機構設於該第二軌道上並能支撐託架滑動的滾輪組，該滾輪組通過對應驅動馬達控制滾動；3)該出料室22設有由該第二軌道30b上託架通過該第三閘門23c能滑入的第三軌道30c、控制託架沿該第三軌道30c滑動的第二滑動機構以及能取出託架並密封關閉的第四間門23d，該第三滑動機構設於該第三軌道上並能支撐託架滑動的滾輪組，該滾輪組通過對應驅動馬達控制滾動，該第四間門23d能通過馬達控制關閉或打開，便於取出鍍膜工件。該真空鍍膜室20位於該第二軌道30b下方設有靶材3，該靶材通過加熱機構加熱蒸發，還通過轉動機構控制能相對該第二軌道30b上託架46轉動，該轉動機構為通過軸承 61固定於該真空鍍膜室20內側底部的轉軸60，該轉軸60上端與絕緣連接杆52 —端固定， 並且該絕緣連接杆52與該轉軸60呈直角連接，該絕緣連接杆52另一端固定槽狀金屬加熱體50，該對電極另一端沿該絕緣連接杆52，並通過該轉軸60內的兩通孔62引出後，分別與電源變壓器70之次級繞組引出端連接，該轉軸60下端伸出該真空鍍膜室20外後固定滾輪 63，並通過傳送帶64和馬達66控制轉動。上述電熱絲加熱方式也可以採用紅外加熱體。所謂金屬加熱體就是利用金屬體兩端接通交流電，使得金屬體發熱產生熱量，而紅外加熱和金屬體加熱不是本實用新型的創新點，屬於現有技術，在此不作詳細描述。
權利要求1.一種真空鍍膜自動轉換裝置，包括並排相連的進料室(21)、真空鍍膜室00)和出料室(22)，其特徵在於該進料室與真空鍍膜室OO)之間，以及該真空鍍膜室OO)與出料室02)之間分別設有能密封關閉的第二閘門(23b)和第三閘門03c)，其中1)該進料室設有用於託架滑動的第一軌道(30a)、控制託架沿該第一軌道(30a) 滑動的第一滑動機構以及能送入託架並密封關閉的第一閘門(23a)；2)該真空鍍膜室OO)設有能由該第一軌道(30a)上託架通過該第二間門(23b)滑入的第二軌道(30b)、控制託架06)沿該第二軌道(30b)滑動的第二滑動機構；3)該出料室0 設有由該第二軌道(30b)上託架通過該第三閘門(23c)能滑入的第三軌道(30c)、控制託架沿該第三軌道(30c)滑動的第二滑動機構以及能取出託架並密封關閉的第四閘門03d)。
2.根據權利要求1所述的真空鍍膜自動轉換裝置，其特徵在於該託架G6)設有能放置鍍膜工件的支撐板或掛鈎。
3.根據權利要求1或2所述的真空鍍膜自動轉換裝置，其特徵在於該第一滑動機構、 第二滑動機構和第三滑動機構分別設於對應軌道上並能支撐託架滑動的滾輪組，各滾輪組分別通過對應驅動馬達控制滾動。
4.根據權利要求1或2所述的真空鍍膜自動轉換裝置，其特徵在於該第一閘門 (23a)、第二閘門(2 )、第三閘門(23c)和第四閘門(23d)分別通過馬達控制關閉或打開。
5.根據權利要求1或2所述的真空鍍膜自動轉換裝置，其特徵在於該真空鍍膜室 (20)內側頂部至少設有一個能對託架上的工件加熱的電熱絲加熱體0 或紅外加熱體。
6.根據權利要求1或2所述的真空鍍膜自動轉換裝置，其特徵在於該進料室內側頂部至少設有一個能對託架上的工件加熱的電熱絲加熱體04)或紅外加熱體。
7.根據權利要求1或2所述的真空鍍膜自動轉換裝置，其特徵在於該真空鍍膜室位於該第二軌道(30b)下方設有靶材(3)，該靶材通過加熱機構加熱蒸發，該加熱機構為安裝於該真空鍍膜室內並可放置該靶材(3)的槽狀金屬加熱體(50)，該槽狀金屬加熱體兩側設有一對電極，該對電極另一端引出於該真空鍍膜室OO)後，分別與電源變壓器(70)之次級繞組引出端連接。
8.根據權利要求7所述的真空鍍膜自動轉換裝置，其特徵在於該靶材(3)還通過轉動機構控制能相對該第二軌道(30b)上託架06)轉動，該轉動機構為通過軸承(61)固定於該真空鍍膜室OO)內側底部的轉軸(60)，該轉軸(60)上端與絕緣連接杆(5 —端固定，並且該絕緣連接杆(5 與該轉軸(60)呈直角連接，該絕緣連接杆(5 另一端固定該槽狀金屬加熱體(50)，該對電極另一端沿該絕緣連接杆(52)，並通過該轉軸(60)內的兩通孔(62)引出，該轉軸(60)下端伸出該真空鍍膜室OO)外後固定滾輪(63)，並通過傳送帶 (64)和馬達(66)控制轉動。
專利摘要一種真空鍍膜自動轉換裝置包括並排相連的進料室、真空鍍膜室和出料室，進料室與真空鍍膜室之間以及真空鍍膜室與出料室之間分別設有能密封關閉的第二閘門和第三閘門，進料室設有用於託架滑動的第一軌道、控制託架沿第一軌道滑動的第一滑動機構以及能送入託架並密封關閉的第一閘門；真空鍍膜室設有能由第一軌道上託架通過第二閘門滑入的第二軌道、控制託架沿第二軌道滑動的第二滑動機構；出料室設有由第二軌道上託架通過第三閘門能滑入的第三軌道、控制託架沿第三軌道滑動的第二滑動機構以及能取出託架並密封關閉的第四閘門，第一、第二和第三滑動機構分別設於對應軌道上並能支撐託架滑動的滾輪組，各滾輪組分別通過對應驅動馬達控制滾動。
文檔編號C23C14/56GK202181349SQ20112026578
公開日2012年4月4日 申請日期2011年7月26日 優先權日2011年7月26日
發明者黃水祥 申請人:御林汽配(崑山)有限公司