電極引入機構的製作方法
2023-05-26 13:32:56 2
專利名稱：電極引入機構的製作方法
技術領域：
本發明是與太陽能板生產設備有關，特別是有關於一種電極 引入機構。
背景技術：
已知太陽能板生產設備，其內部只具有一固定式電極， 一次
只能製作單一片太陽能板(photovoltaic panel),具有產能不 佳的問題；再者，若要在單一太陽能板生產設備設有多數固定式 電極，將會妨礙基板的置入而並不適用。換言之，如果需要同時 製作多片太陽能板，則需要備有多數太陽能板生產設備，以達到 同時製作多片太陽能板的目的。
然而，太陽能板生產設備的價格昂貴，若以上述方式製作太 陽能板將大幅提高設備成本，具有不符合經濟效益的缺點。
綜上所述，現有太陽能板生產設備受限於電極結構的限制而 產能有限，具有上述缺點而有待改進。
發明內容
4本發明的主要目的在於提供一種電極引入機構，其能夠適用 於同時生產多片太陽能板的生產設備，其相較於現有技術，具有 適用性較佳以及提高產能的特色。
為達成上述目的，本發明所提供一種電極引入機構，裝設於 一真空腔設備，其特徵在於，該電極引入機構包含有
二導杆，設於該真空腔設備且相互平行；
一支架，具有對應該二導杆數量的貫孔，所述貫孔分別供該 二導杆穿設；
一電極裝置，設於該支架且具有一電極部；以及
一驅動裝置，具有一本體以及一設於該本體的驅動杆；該本
體設於該真空腔設備；該驅動杆受該本體驅動且末段設於該支 架；該支架受該驅動杆帶動而沿該二導杆軸向位移，該電極部受 該支架帶動而往該真空腔設備內部位移。 其中該電極部為夾式結構。
其中該電極裝置還可界定出一伸縮段介於該真空腔設備以 及該支架之間，該伸縮段的長度因應該支架的位移量而變化。 其中該伸縮段為真空套管，該電極部穿設於該真空套管。 其中該伸縮段為波紋管結構。 其中該電極裝置具有一連結該電極部的電線。 其中該電極部為射頻電極。
其中該驅動裝置是選自氣壓缸、液壓缸、馬達以及手動裝置 其中一種。其中該驅動裝置還包含有一設於該驅動杆末段的緩衝裝置，
以緩衝來自該支架的慣性力。
其中該緩衝裝置選自彈簧以及洩壓閥其中一種。
由此，本發明所提供電極引入機構通過上述結構，其能夠適
用於同時生產多片太陽能板的生產設備，進而改善太陽能板生產
設備的產能；其相較於現有技術，具有適用性較佳以及提高產能
的特色。
為了詳細說明本發明的結構、特徵及功效所在，以下列舉較 佳實施例並配合
如後，其中
圖1為本發明第一較佳實施例的結構示意圖，主要揭示電極
部未伸出的狀態。
圖2為本發明第一較佳實施例的動作示意圖，主要揭示電極
部未連接電極插座的狀態。
圖3為本發明第一較佳實施例的動作示意圖，主要揭示電極
部伸出後的狀態。
圖4為本發明第一較佳實施例的結構示意圖，主要揭示電極
部連接電極插座的狀態。
主要元件符號說明
1 :真空腔設備2:穿孔
3:基板
4:電極插座
10:電極引入機構
20:導杆
30:支架
32:貫孔
40:電極裝置
42:電極部
44:電線
46:伸縮段
50:驅動裝置
52:本體
54:驅動杆
56:緩衝裝置
具體實施例方式
請參閱圖1及圖2 ，本發明第一較佳實施例所提供的電極引 入機構1 0 ，是裝設於一真空腔設備1 ，該電極引入機構1 0包 含有二導杆2 0、 一支架3 0、 一電極裝置4 0以及一驅動裝 置5 0 。
各該導杆2 0頂部是垂直地鎖固于于該真空腔設備1的外部且該二導杆2 0相互平行；其中，該而導杆2 0的數量僅為舉 例說明，可依使用上的需要增加數量，並非用來做為限制條件。
該支架3 0具有二對應該二導杆2 0數量的貫孔3 2 ，所述 貫孔3 2分別供該二導杆2 0穿設；用以限制該支架3 0隻能沿 該二導杆2 0位移。
該電極裝置4 Q設於該支架3 0且具有一電極部4 2以及 一連結該電極部4 2的電線4 4 ，該電極部4 2是為射頻電極 (radio frequency electrode; RF electrode) 且為夾式結構； 該電線4 4用以提供該電極部4 2電壓。該電極部4 2所提供的 電壓的射頻頻率範圍是在1 MHz至1 OGHz之間；其中，射頻頻 率範圍較佳者是在1 0 MHz至3 GHz之間，例如1 3 . 5 6 MHz 、 4 0.6 8 MHz以及7 0 MHz ;本實施例中，該電極部4 2的射 頻頻率範圍主要在於說明該電極部4 2的使用情形，並非做為限 制條件。該真空腔設備1的外部具有一穿孔2 ，以供該電極部4 2穿過而連接一裝載有一基板3的電極插座4。該電極裝置4 0 中段界定出一伸縮段4 6是介於該真空腔設備1以及該支架3 0之間，該電極部4 2穿設於該伸縮段4 6 ;該伸縮段4 6的長 度是因應該支架3 0的位移量而伸縮變化；其中，該伸縮段4 6 是為真空套管且為波紋管結構。
該驅動裝置5 Q是具有一本體5 2 、一設於該本體5 2的驅 動杆5 4以及一緩衝裝置5 6 ;該驅動裝置5 0是選自氣壓缸、 液壓缸、馬達以及手動裝置其中一種，本實施例中，該驅動裝置
85 0選以氣壓缸為例。該本體5 2是為且設於該真空腔設備1 ，
該驅動杆5 4受該本體5 2驅動且末段穿設於該支架3 0 ;該支 架3 Q受該驅動杆5 4帶動而沿該等導杆2 0軸向位移，該電極 部4 2受該支架3 0帶動而往該真空腔設備1內部位移；該緩衝 裝置5 6設於該驅動杆5 4末段，用以緩衝來自該支架3 0的慣 性力；該緩衝裝置5 6是選自彈簧以及洩壓閥其中一種。本實施 例中，該緩衝裝置5 6是選自以彈簧為例；該緩衝裝置5 6底端 推抵該於該驅動杆54末段，頂端推抵該支架3 0。
經由上述結構，當基板3尚未送入該真空腔設備1 ，該驅動 裝置5 0的驅動杆5 4呈收納狀態，該電極部4 2移至行程最低 點，用以利於輸送基板進入該真空腔設備1 。再請配合參閱圖3 及圖4 ，當基板送入該真空腔設備1後，該驅動杆5 4受該本體 5 2驅動而帶動該支架3 Q向上位移至行程最低點；該電極部4 2會往該真空腔設備1內部位移而電性連接該電極插座4 ，以利 於進行後續加工作業。當該基板3加工作業結束而欲自該真空腔 設備1內移出，該驅動裝置5 0的驅動杆5 4會向上位移而復歸 至收納狀態，該電極部4 2移至行程最低點，以利於取出該基板 3 。
由此，本發明所提供的該電極引入機構1O通過上述結構， 其能夠適用於同時生產多片太陽能板的生產設備而達到生產多 片太陽能板的目的，進而改善太陽能板生產設備的產能；其相較 於現有技術，具有適用性較佳的特色。本發明於前揭實施例中所揭露的構成元件，僅為舉例說明， 並非用來限制本案的範圍，其它等效元件的替代或變化，亦應為 本案的權利要求範圍所涵蓋。
權利要求
1、一種電極引入機構，裝設於一真空腔設備，其特徵在於，該電極引入機構包含有二導杆，設於該真空腔設備且相互平行；一支架，具有對應該二導杆數量的貫孔，所述貫孔分別供該二導杆穿設；一電極裝置，設於該支架且具有一電極部；以及一驅動裝置，具有一本體以及一設於該本體的驅動杆；該本體設於該真空腔設備；該驅動杆受該本體驅動且末段設於該支架；該支架受該驅動杆帶動而沿該二導杆軸向位移，該電極部受該支架帶動而往該真空腔設備內部位移。
2 、依據權利要求1所述的電極引入機構，其特徵在於，其中該電極部為夾式結構。
3 、依據權利要求1所述的電極引入機構，其特徵在於，其中該電極裝置還可界定出一伸縮段介於該真空腔設備以及該支架之間，該伸縮段的長度因應該支架的位移量而變化。
4 、依據權利要求3所述的電極引入機構，其特徵在於，其中該伸縮段為真空套管，該電極部穿設於該真空套管。
5 、依據權利要求4所述的電極引入機構，其特徵在於，其中該伸縮段為波紋管結構。
6 、依據權利要求1所述的電極引入機構，其特徵在於，其中該電極裝置具有一連結該電極部的電線。
7 、依據權利要求1所述的電極引入機構，其特徵在於，其中該電極部為射頻電極。
8 、依據權利要求1所述的電極引入機構，其特徵在於，其中該驅動裝置是選自氣壓缸、液壓缸、馬達以及手動裝置其中一種。
9 、依據權利要求1所述的電極引入機構，其特徵在於，其中該驅動裝置還包含有一設於該驅動杆末段的緩衝裝置，以緩衝來自該支架的慣性力。
10、依據權利要求9所述的電極引入機構，其特徵在於，其中該緩衝裝置選自彈簧以及洩壓閥其中一種。
全文摘要
一種電極引入機構，是裝設於一真空腔設備，該電極引入機構包含有二導杆，設於該真空腔設備且相互平行；一支架，具有對應該二導杆數量的貫孔，所述貫孔分別供該二導杆穿設；一電極裝置，設於該支架且具有一電極部；一驅動裝置，是具有一本體以及一設於該本體的驅動杆；該本體設於該真空腔設備；該驅動杆受該本體驅動且末段設於該支架；該支架受該驅動杆帶動而沿該二導杆軸向位移，該電極部受該支架帶動而往該真空腔設備內部位移。
文檔編號H01L31/18GK101540347SQ20081008710
公開日2009年9月23日 申請日期2008年3月19日 優先權日2008年3月19日
發明者何建立, 葉公旭, 楊正安, 黃明鴻 申請人:東捷科技股份有限公司