一種高精度晶圓背刻對中系統的校正方法及裝置製造方法
2023-05-26 15:12:26
一種高精度晶圓背刻對中系統的校正方法及裝置製造方法
【專利摘要】本發明是為了利用玻璃片由於透光特性，捕捉到雷射的刻劃圖案，用於相機圖案的校正，直觀的觀測補償的效果。可以通過以下技術方案來實現：1)利用全屏幕的尺寸，以晶圓的晶格為基礎，輔助「十字」線薄膜定位和對中相機同步補償雷射圖像，可以得到相機與雷射的系統偏差；2)校正玻璃版，有五個「十字」窗，寬度2mm，長度10mm，定面貼黑色即時貼；3)「十字」薄膜：可視化檢查，用於目測系統校正的結果；4)該對中系統的校正方法，其特徵是利用玻璃片的透光原理來成像雷射圖案，藉此設定對位相機的零位補償。該發明具有成本低，使用便捷，精度高，可直接彌補相機和雷射安裝缺陷，提高應用精度。
【專利說明】一種高精度晶圓背刻對中系統的校正方法及裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及雷射背刻技術的校正方法和裝置，尤其是涉及一種基於CXD影像技術定位檢測方法的校正，用於高精度相機和雷射分裝物體兩邊的校正方法和裝置。
【背景技術】
[0002]雷射作為一種新工業加工技術，在計算機控制下可以在各種材料表面標刻圖案和文字，本專利組合工業相機的捕捉產品的圖案，利用雷射在玻璃片圖案，輔助以低光源給檢測圖像的相機，校正相機參數位置，為雷射背刻圖案提供高精度的定位。
[0003]由於相機和雷射分布產品的兩側，通常技術無法檢測相機與雷射的零位基準的校正，包括在後續的生產中，雷射的漂移，或相機捕捉圖像的計算誤差，等諸多因素造成雷射刻劃的偏離，均無法得到檢測和及時的校正。
[0004]雷射刻劃標誌可以控制在線寬十幾個微米之內，其重複性達到幾個微米，並可在電腦控制下，接受外部軟體指令，調整標刻圖案的位置和角度。
[0005]CXD工業相機可以捕捉微米級解析度的圖像，並計算出圖像間的微米級的位置偏差，為高精度的應用奠定了理論和硬體基礎。
[0006]C⑶相機安裝在晶圓的正面圖像，而雷射則安裝在晶圓背面，由於機加工誤差和安裝誤差，相機和雷射的零位基準不可能合一。
【發明內容】
[0007]本發明的目的就是為了利用玻璃片由於透光特性，捕捉到雷射的刻劃圖案，用於相機圖案的校正。同時利用電腦屏幕的尺寸，直觀的觀測補償的效果。
[0008]本發明的目的可以通過以下技術方案來實現:
1，利用全屏幕的尺寸，以晶圓的晶格為基礎，輔助「十字」線薄膜定位和對中相機同步補償雷射圖像，利用雷射在校正玻璃版刻畫背刻「十字」，自動校正系統偏差，同時，可以目測相機電腦屏幕，檢查兩個「十字」的重合情況。多次檢查和測量兩「十字」的偏差，可以得到相機與雷射的系統偏差。
[0009]2，校正玻璃版；有五個「十字」窗，寬度2毫米，「十字」長度10毫米，定面貼黑色即時貼，中間開窗標示塗黑位置。手工在底面45度塗滿單層黑色。
[0010]3，「十字」薄膜:可視化檢查，用於目測系統校正的結果。
[0011]4，一種基於玻璃片與雷射及電腦和對位相機組合的背刻對中系統的校正方法，其特徵是利用玻璃片的透光原理來成像雷射圖案，藉此設定對位相機的零位補償。
[0012]該發明具有以下特點:
1，成本低，使用便捷，精度高，可直接彌補相機和雷射安裝缺陷，提高應用精度。
[0013]2，可多次反覆使用，對於補償結果可以直觀的了解。
[0014]
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1為本發明的高精度晶圓背刻的校正測量方法結構示意圖。
[0016]
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖和具體實施對本發明進行詳細說明。
[0018]實施如圖一所示，高精度晶圓背刻對中系統的校正測量方法結構示意圖，該結構包括:1，雷射；2，雷射保護板和低光；3，五位對中臺；4，校正玻璃板，手工在底面45度塗滿單層黑色；5 「十字」薄膜-可視化檢查，用於目測系統校正的結果；6，相機保護板機構；7,對位相機和電腦準備過程中，五位對中臺打開待晶圓；相機保護板關閉相機；雷射保護板關閉。
[0019]〈上晶圓〉按鈕:ROBOT送晶圓到翹曲檢查臺，通過後取晶圓到對中臺。對中臺壓下。雷射保護板打開，相機保護板打開，相機取像。給出溝槽計算結果線條。
[0020]1.「十字」薄膜定位溝槽或圖像線條。
[0021]2.〈送校正參數〉按鈕:相機送數據給雷射，刻畫並保存。
[0022]3. 按鈕:對中臺打開，ROBOT取晶圓回料盒。雷射保護板關閉，相機保護板關閉。ROBOT在玻璃板位置取玻璃板上對中臺。
[0023]4.〈刻玻璃板〉按鈕:雷射保護板打開，雷射刻同組圖案在玻璃板。雷射保護板關閉，開底光，相機保護板開啟，相機檢查校正圖案，將偏差值加入計算。
[0024]5.移動五位對中臺，循環2IT4#步驟，使用第二個標刻位，檢測校正結果。
【權利要求】
1.一種高精度晶圓背刻對中系統的校正方法及裝置，本發明的特徵利用玻璃片由於透光特性，捕捉到雷射的刻劃圖案，利用對位相機組合的背刻對中系統的校正方法。
2.其特徵是利用玻璃片的透光原理來成像雷射圖案，可設定對位相機的零位補償，用於雷射圖案的校正。
3.同時利用電腦屏幕的尺寸，直觀的觀測補償的效果。
4.本發明的可以通過以下步驟來實現: 利用全屏幕的尺寸，以晶圓的晶格為基礎，輔助「十字」線薄膜定位和對中相機同步補償雷射圖像 利用雷射在校正玻璃版刻畫背刻「十字」，C⑶相機捕捉圖像，計算圖像偏差值，通過電腦輸送數據給雷射控制軟體，自動校正雷射圖像與相機安裝的系統偏差。
5.多次雷射標刻和相機檢查和測量兩「十字」的偏差，可以校正和得到相機與雷射的系統偏差。
6.校正玻璃版；正面貼黑色即時貼，中間開窗標示塗黑位置。
7.手工在底面45度塗滿單層黑色。
8.「十字」薄膜:可視化檢查，用於目測系統校正的結果。
9.目測相機電腦屏幕，檢查兩個「十字」的重合情況。
【文檔編號】B23K26/362GK104259655SQ201410401263
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年8月14日 優先權日:2014年6月12日
【發明者】盧冬青 申請人:上海功源自動化技術有限公司