石英鼠籠舟的製作方法
2023-06-12 04:27:46
專利名稱：石英鼠籠舟的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體生產工具，特別是涉及一種石英鼠籠舟。
背景技術：
近年來，隨著電子信息產業及微電子技術的迅猛發展，對石英製品的市場需求與日俱增。石英舟主要應用於半導體集成電路生產線的關鍵工序，是矽片氧化擴散工藝中配套使用的載體工具。現有市場上的立式石英舟及臥式斜槽石英舟均是以槽棒為主支架，在棒上開槽，矽片插入槽內再進行氧化擴散。槽棒的根數一般是四根，因此矽片大面積的裸露 在外，對矽片的潔淨度的要求，有時難於保證。
發明內容針對上述領域中的缺陷，本實用新型提供一種石英鼠籠舟，可以使矽片位於籠式的石英舟中，但又不影響其氧化擴散工藝和散熱的要求。石英鼠籠舟，包括底蓋和頂蓋，其特徵在於所述底蓋和頂蓋均由兩個半圓板可拆式拼接而成，所述底蓋和頂蓋之間垂直間隔固定有若干條形板，形成拼接式左、右半籠舟；所述左或右半籠舟的三片條形板向籠內側徑向上分別垂直固定有一槽片，槽片在長度方向上陣列有若干個小槽，三個槽片上有位於同一個平面小槽。所述槽片與條形板等長，槽片的兩端與底、頂蓋固定。所述槽片厚度為3mm。所述兩個半圓板通過扣合形式拼接在一起。所述條形板有12片。所述左、右半籠舟的拼接處均由兩半條形板拼接而成。所述槽片之間的夾角為60°，且鄰近拼接處的槽片與拼接邊的夾角為30°。所述左、右半籠舟鄰近拼接處的條形板的外壁上對稱固定有側管。所述底、頂蓋上有定位銷。本實用新型的石英鼠籠舟設計成由左右兩半拼接的籠子結構，裡面的槽片上可以插入矽片，由於條形板布置在外側，使矽片不易受外界的汙染，使矽片在籠式舟內更集中的氧化擴散，而且條形板式的結構使散熱不受影響。使用時將無槽片的半籠舟取下，再插入矽片時，矽片插好後，將拆下的半籠舟扣合上，再進行氧化擴散工藝，使用方便。為保證石英鼠籠舟的拼接對應，除底蓋和頂蓋的拼接外，還將拼接處的條形板設計成半條形板進行拼接，條形板優選有12片，片片之間的夾角為30度，槽片固定在同一個半籠舟上，均勻分布。為便於石英鼠籠舟與相關設備的配合使用，其條形板的外側壁上固有有側管，底、頂蓋上設置有定位銷。本實用新型石英鼠籠舟由拼接式的左、右半籠舟組成，拆裝都非常方便，石英鼠籠舟不僅可以滿足矽片氧化擴散工藝的潔淨度的要求，同時又不影響氧化擴散工藝的進行及散熱的要求。
圖I本實用新型結構示意圖，圖2圖I中A-A向視圖，圖中各標號列示如下I一底蓋,2—頂蓋,3—半圓板,4一條形板,5—半條形板,6—槽片,7—定位銷,8—側管。
具體實施方式石英鼠籠舟，包括底蓋I和頂蓋2,所述底蓋I和頂蓋2均由兩個半圓板3可拆式拼接而成，所述底蓋I和頂蓋2之間垂直間隔固定有若干條形板4，形成拼接式左、右半籠舟；所述左或右半籠舟的三片條形板5向籠內側徑向上分別垂直固定有一槽片6,槽片6在長度方向上陣列有若干個小槽(未視出)，三個槽片6上有位於同一個平面小槽,所述兩個半圓板3通過扣合形式拼接在一起。本實用新型的石英鼠籠舟設計成由左右兩半拼接的籠子結構，裡面的槽片6上可以插入矽片，由於條形板4布置在外側，使矽片不易受外界的汙染，使矽片在籠式舟內更集中的氧化擴散，而且條形板式的結構使散熱不受影響。使用時將無槽片的半籠舟取下，再插入矽片時，矽片插好後，將拆下的半籠舟扣合上，再進行氧化擴散工藝，使用方便。優選所述槽片6與條形板4等長，槽片6的兩端與底、頂蓋1、2固定。所述槽片6厚度為3mm。所述條形板4有12片。片片之間的夾角為30度，槽片固定在同一個半籠舟上，均勻分布。優選所述左、右半籠舟的拼接處均由兩個半條形板5拼接而成。所述槽片6之間的夾角為60°，且鄰近拼接處的槽片6與拼接邊的夾角為30°。所述左、右半籠舟鄰近拼接處的條形板4的外壁上對稱固定有側管9。所述底、頂蓋1、2上有定位銷7，可以使本實用新型的石英鼠籠舟與相關設備配合使用。本實用新型石英鼠籠舟由拼接式的左、右半籠舟組成，拆裝都非常方便，石英鼠籠舟不僅可以滿足矽片氧化擴散工藝的潔淨度的要求，同時又不影響氧化擴散工藝的進行及散熱的要求。
權利要求1.石英鼠籠舟，包括底蓋和頂蓋，其特徵在於所述底蓋和頂蓋均由兩個半圓板可拆式拼接而成，所述底蓋和頂蓋之間垂直間隔固定有若干條形板，形成拼接式左、右半籠舟；所述左或右半籠舟的三片條形板向籠內側徑向上分別垂直固定有一槽片，槽片在長度方向上陣列有若干個小槽，三個槽片上有位於同一個平面小槽。
2.根據權利要求I所述的石英鼠籠舟，其特徵在於所述槽片與條形板等長，槽片的兩端與底、頂蓋固定。
3.根據權利要求I所述的石英鼠籠舟，其特徵在於所述槽片厚度為3mm。
4.根據權利要求I所述的石英鼠籠舟，其特徵在於所述兩個半圓板通過扣合形式拼接在一起。
5.根據權利要求I所述的石英鼠籠舟，其特徵在於所述條形板有12片。
6.根據權利要求5所述的石英鼠籠舟，其特徵在於所述左、右半籠舟的拼接處均由兩半條形板拼接而成。
7.根據權利要求6所述的石英鼠籠舟，其特徵在於所述槽片之間的夾角為60°，且鄰近拼接處的槽片與拼接邊的夾角為30°。
8.根據權利要求I所述的石英鼠籠舟，其特徵在於所述左、右半籠舟的鄰近拼接處的條形板的外壁上對稱固定有側管。
9.根據權利要求I所述的石英鼠籠舟，其特徵在於所述底、頂蓋上有定位銷。
專利摘要本實用新型涉及「石英鼠籠舟」，包括底蓋和頂蓋，所述底蓋和頂蓋均由兩個半圓板可拆式拼接而成，所述底蓋和頂蓋之間垂直間隔固定有若干條形板，形成拼接式左、右半籠舟；所述左或右半籠舟的三片條形板向籠內側徑向上分別垂直固定有一槽片，槽片在長度方向上陣列有若干個小槽，三個槽片上有位於同一個平面小槽。本實用新型石英鼠籠舟不僅可以滿足矽片氧化擴散工藝的潔淨度的要求，同時又不影響氧化擴散工藝的進行及散熱的要求。本石英鼠籠舟由拼接式的左、右半籠舟組成，拆裝都非常方便。
文檔編號H01L21/673GK202678297SQ20122030290
公開日2013年1月16日 申請日期2012年6月25日 優先權日2012年6月25日
發明者張忠恕, 楊繼盛, 陳強, 邊佔寧, 韋冬寒, 于洋, 張娟, 孫超群, 孫雲濤, 康海霞, 王志剛, 趙小亮, 秦殿強, 盧愛國 申請人:北京凱德石英有限公司