一種上蓋板開啟結構的製作方法

2023-06-12 17:41:46

本發明涉及一種開啟裝置，尤其是一種半導體等離子體處理裝置的上蓋板開啟結構，屬於半導體設備技術領域。

背景技術：

現有等離子體處理裝置，大多是通過一簡單的結構組件來實現上蓋板的成功開啟。通常是通過簡單的連接銷來實現開關上蓋板，下端採用螺栓實現其與腔體間的連接。通過該結構，實現上蓋板開關操作及其固定。

在上述工藝過程中，在開關上蓋板時，上蓋板會鬆動不固定，同時該連接組件與腔體間也存在鬆動，而這些都會造成上蓋板與密封圈、襯墊和腔體間產生摩擦，使得腔體上表面不平整，最終導致腔體的密封性不好，需要外力協助才能實現抽真空的操作。綜上所述，不論從設備維護本身還是操作方面，該結構都亟需改進。

目前，隨著半導體技術的不斷發展，等離子體處理裝置需求不斷加大，傳統的上蓋板開啟結構組件導致腔體損害及密封性變差的問題會越發顯著。因此，需要設計一種新型的上蓋板開啟結構，準確定位上蓋板，以避免上蓋板與密封圈、襯墊和腔體之間的摩擦，避免設備的損傷，改善腔體密封性能，以適應技術不斷提高的需要。

技術實現要素：

本發明是鑑於改善等離子體處理設備上蓋板開啟方式，其目的是提供一種可以實現避免磨損腔體的簡便開啟上蓋板的結構。

為實現上述目的，本發明採用的技術方案是：一種上蓋板開啟結構，包括上鉸鏈和下鉸鏈，兩者通過定位連接銷連接。上鉸鏈與上蓋板固定連接，下鉸鏈與腔體的外壁固定連接。上鉸鏈上設有上定位孔，其下端的平面為上蓋板接觸面；下鉸鏈的上端設有下定位孔，其側面的平面為腔體接觸面，在腔體接觸面上設有固定銷軸。

優選的，所述的固定銷軸為四個。

優選的，所述的下鉸鏈上還設有定位銷。

本發明準確定位上蓋板和腔體外壁，以避免上蓋板與密封圈、襯墊和腔體之間的摩擦，避免設備的損傷，改善腔體密封性能。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。

如圖1所示：一種上蓋板開啟結構，包括上鉸鏈1和下鉸鏈2，兩者通過定位連接銷3連接。上鉸鏈1與上蓋板固定連接，下鉸鏈2與腔體的外壁固定連接。上鉸鏈1上設有上定位孔8，其下端的平面 為上蓋板接觸面4；下鉸鏈2的上端設有下定位孔7，其側面的平面為腔體接觸面6，在腔體接觸面6上設有四個固定銷軸5。固定銷軸5與腔體的外壁固定定位，來實現下鉸鏈2與腔體外表面充分接觸，上鉸鏈1通過螺釘固定在上蓋板上並充分接觸，避免鬆動而引起上蓋板與腔體間的摩擦。

當上蓋板需要開啟時，上鉸鏈1隨著上蓋板的開啟沿著定位連接銷3做逆時針轉動，當上定位孔8與下定位孔7重合時，用定位銷9插入到上定位孔8和下定位孔7內，實現定位，避免了上蓋板與腔體間鬆動，通過該結構可以簡便打開上蓋板，同時也不會對腔體造成磨損。