一種掩模組件的製作方法

2023-06-19 14:42:11 2

一種掩模組件的製作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種掩模組件，包括掩模框和掩模板，掩模板固定於掩模框上，掩模板上設有由蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區域，其特徵在於：蒸鍍孔由多邊形開口及設置在多邊形開口邊角處的補償開口構成，補償開口構成多邊形開口的外延結構，掩模板為一體成型結構或由分立的掩模單元組成。本實用新型所提供的掩模組件，蒸鍍孔由多邊形開口及補償開口組成，補償開口的設置提高了蒸鍍孔的開口率，從而提高掩模組件的質量。
【專利說明】—種掩模組件
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及OLED製造領域，尤其涉及一種蒸鍍用的掩模組件。
【背景技術】
[0002]有機發光二極體(OLED)顯示器，是自二十世紀末期以來取得廣泛應用的一種平板顯示器。OLED相對其它顯示屏，具有厚度薄、重量輕、功耗小、響應快、可視範圍寬、抗摔性能好、適用溫度範圍寬、自發光不需要背光燈等很多突出的優點，因此OLED逐漸成為未來20年成長最快的新型顯示技術。
[0003]製造OLED顯示器很重要的一道工序是將有機發光材料蒸鍍到ITO半導體玻璃表面。蒸鍍工序中，有機材料由蒸鍍源蒸發通過掩模板的蒸鍍孔附著到ITO半導體玻璃面上，掩模板蒸鍍孔的精度決定蒸鍍質量，蒸鍍質量又直接決定OLED顯示器質量，因此提高掩模板的蒸鍍孔的精度至關重要。掩模板蒸鍍孔寬度的尺寸為20?100 μ m，因為蒸鍍孔尺寸很小，所以對蒸鍍孔精度的要求非常高。
[0004]製作OLED顯示器的有機層時用到的蒸鍍用掩模組件，如圖1所示，為掩模組件整體平面結構示意圖，掩模組件包括掩模框14，掩模板10，掩模板10上設有由蒸鍍孔排列而成的掩模圖案區域11，12為將掩模板通過雷射焊接固定於掩模框14上形成的焊點，圖2所示為圖1中13部分放大示意圖,20為蒸鍍孔，圖2中21部分的放大示意圖如圖3所示，圖3中預設的蒸鍍孔是矩形結構，但由於製作過程中存在偏差，直角矩形蒸鍍孔變成圓角矩形的蒸鍍孔20，如圖3中四個直角處由虛線表示的矩形為預設的直角矩形，實際製作的圓角矩形相對於預設的直角矩形蒸鍍孔開口偏小，開口率不高，從而影響到掩模圖案區域蒸鍍孔的質量，直接導致OLED顯示器的質量不高。鑑於此，業內亟需一種能夠解決此問題的方案。
實用新型內容
[0005]有鑑於此，本實用新型提供一種掩模組件，目的在於提高掩模組件蒸鍍孔的開口率，從而提聞OLED顯不器的質量。
[0006]本實用新型提供了一種掩模組件，包括掩模框和掩模板，所述掩模板固定於所述掩模框上，所述掩模板上設有由蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區域，其特徵在於:所述蒸鍍孔由多邊形開口及設置在所述多邊形開口邊角處的補償開口構成，所述補償開口構成所述多邊形開口的外延結構，所述掩模板為一體成型結構或由分立的掩模單元組成。
[0007]進一步地，所述補償開口為由一條弧線和兩條線段圍成的與所述多邊形開口連通的外延結構，所述兩條線段的一端分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接，所述兩條線段的另一端分別與所述弧線的兩個端點連接。
[0008]進一步地，所述兩條線段所在直線所成的夾角為0°?80°。
[0009]進一步地，所述兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的所述多邊形開口的相應邊所在的直線呈0°?90°夾角。[0010]進一步地，所述補償開口為由兩條線段圍成的與所述多邊形開口連通的外延結構，所述兩條線段的一端分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接，所述兩條線段的另一端相交於一點。
[0011]進一步地，所述兩條線段所成的夾角為10°?80°，所述兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的所述多邊形開口的相應邊所在的直線呈0°?90°夾角。
[0012]進一步地，所述補償開口為由弧線圍成的與所述多邊形開口連通的外延結構，所述弧線的兩個端點分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接。
[0013]進一步地，所述掩模板通過電鑄工藝製備或通過蝕刻工藝製備。
[0014]進一步地,所述蒸鍍孔的寬度為20?80μηι。
[0015]進一步地，所述掩模板為鎳基合金材質。
[0016]本實用新型的有益效果在於，掩模板上的蒸鍍孔由多邊形開口及設置在多邊形開口邊角處的補償開口構成，補償開口構成多邊形開口的外延結構，蒸鍍孔設置補償開口提高了掩模組件上蒸鍍孔的開口率，從而有效地提高OLED顯示器的質量。
[0017]本實用新型附加的方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]本實用新型的上述和/或附加的方面和優點從下面結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0019]圖1所示為一種掩模組件的平面結構示意圖；
[0020]圖2所示為圖1中13部分放大示意圖；
[0021]圖3所示為圖2中21部分放大示意圖；
[0022]圖4所示為一種掩模組件的平面結構示意圖；
[0023]圖5所示為圖4中41部分放大示意圖；
[0024]圖6?圖13所示為幾種蒸鍍孔結構放大示意圖；
[0025]其中，圖1中，10為掩模板，11為掩模圖案區域，12為焊點，13為待放大觀測部分，14為掩模框；
[0026]圖2中，20為蒸鍍孔，21為待放大觀測部分；
[0027]圖4中，40為掩模單元，41為待放大觀測部分；
[0028]圖5中，50為蒸鍍孔；
[0029]圖6中，1、2為構成補償開口的兩條線段，3為構成補償開口的弧線，Θ為線段2所在直線與其連接的多邊形開口的相應邊所在的直線的夾角，60為補償開口，61為多邊形開Π ；
[0030]圖7中，α為線段I與線段2所在直線所成的夾角；
[0031]圖9中，4、5為構成補償開口的兩條線段，L為蒸鍍孔的寬度，Y為線段5所在直線與其連接的多邊形開口的相應邊所在直線的夾角，β為線段5與線段6所在直線所成的夾角；
[0032]圖11中，6為構成補償開口的弧線。【具體實施方式】
[0033]下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用於解釋本實用新型，而不能解釋為對本實用新型的限制。
[0034]根據本實用新型的實施例，如圖1、圖4~圖13所示，提供一種掩模組件，包括掩模框14和掩模板10,掩模板10固定於掩模框14上,掩模板10上設有由蒸鍍孔50陣列而成的掩模圖案區域11，蒸鍍孔50由多邊形開口 61及設置在多邊形開口 61邊角處的補償開口 60構成，補償開口 60構成多邊形開口 61的外延結構，掩模板10為一體成型結構(如圖1所示)或由分立的掩模單元40組成(如圖4所示)。
[0035]圖1所示掩模板10為一體成型結構，圖4所示掩模板10由分立的掩模單元40組成，如圖1和圖4所示，掩模板10或掩模單元40通過雷射焊接固定於掩模框14，其中12為焊點。
[0036]下面詳細描述本實用新型中掩模組件的蒸鍍孔50的結構，參考圖6~圖13，為圖1或圖4所示掩模組件中掩模板10上蒸鍍孔放大結構示意圖。
[0037]根據本實用新型的一些實施例，如圖5~圖8、圖12~圖13所示，補償開口 60為由一條弧線3和兩條線段(線段I和線段2)圍成的與多邊形開口 61連通的外延結構，兩條線段的一端分別與多邊形開口 61相鄰的兩邊連接，兩條線段的另一端分別與弧線3的兩個端點連接。
[0038]根據本實用新 型的一些實施例，如圖6~圖8、圖12~圖13所示，兩條線段(線段I和線段2)所在直線所成的夾角α為0°~80°，如圖6、圖8所示α為0° (即線段I與線段2相互平行)，圖7、圖12~圖13所示α大於0°小於等於80°。
[0039]根據本實用新型的一些實施例，如圖圖8、圖12~圖13所示，兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的多邊形開口的相應邊所在的直線呈0°~90°夾角(如Θ夾角)，如圖圖7、圖12~圖13所示線段2所在直線與其連接的多邊形開口 61的相應邊所在直線的夾角Θ為大於0°小於90°，圖8中所示線段2所在直線與其連接的多邊形開口 61的相應邊所在直線的夾角Θ為90°。
[0040]如圖6~圖8、圖12~圖13所示為蒸鍍孔50的幾种放大結構示意圖。其中圖4中41部分的一种放大示意圖如5所示，圖6所示為圖5中蒸鍍孔50放大結構示意圖，圖6中多邊形開口 61為矩形開口，在矩形開口 61的邊角處(邊角處即矩形開口 61的四個直角處)設有補償開口 60，線段I和線段2的一端分別與矩形開口 61相鄰的兩邊連接，線段I和線段2的另一端分別與弧線3的兩個端點連接。
[0041]α角和Θ角的值可以如圖8所示θ=90° , α =0。；或如圖6所示Θ大於20。小於70°，α=0° (例如θ=30°或45°或60° );或如圖7所示Θ大於0°且小於45°，α大於20°且小於75° (例如θ=30°、α =60° )。
[0042]根據本實用新型的一些實施例，如圖圖10所示，補償開口 60為由兩條線段(SP線段4和線段5)圍成的與多邊形開口 61連通的外延結構，兩條線段(線段4和線段5)的一端分別與多邊形開口 61相鄰的兩邊連接，兩條線段(線段4和線段5)的另一端相交於一點。[0043]根據本實用新型的一些實施例，如圖9-圖10所示，兩條線段(線段4和線段5)所成的夾角β範圍為10°~80°，兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的多邊形開口 61的相應邊所在的直線呈0°~90° (如Y角為0°~90° )。
[0044]如圖擴圖10所示，線段4與線段5所成的夾角β為10°~80°，線段5與其連接的多邊形開口 61的相應邊所在的直線的夾角Y為大於等於0°小於90°，圖10中線段4與其連接的多邊形開口 61的相應邊所在直線的夾角為0° (即線段4與其連接的多邊形開口 61的相應邊在同一條直線上)
[0045]如圖9中所示結構，Y的值可以為30°或60°或80°，β的值可以為60°或75。或 80。。
[0046]如圖10中所示結構，Y的值可以為25°或50°或70°，β的值可以為60°或75。或 80。。
[0047]根據本實用新型的一些實施例，如圖11所示，補償開口 60為由弧線6圍成的與多邊形開口 61連通的外延結構，弧線6的兩個端點分別與多邊形開口 61相鄰的兩邊連接。
[0048]上述所述線段I和線段2與所在的直線分別與其連接的多邊形開口 61的相應邊所在的直線的夾角不一定相等，同樣線段4和線段5所在的直線分別與其連接的多邊形開口 61的相應邊所在的直線的夾角也不一定相等。
[0049]上述所述多邊形開口 61為矩形開口(如圖6~11所示)，或五邊形開口(如圖12所示)，或六邊形開口(如圖13所示)，多邊形開口 61不限於矩形、五邊形、六邊形的開口結構。圖6~13所示的多邊形開口 61的相鄰兩邊所成的夾角處(即上述所述的邊角處)的虛線結構只是為了說明多邊形開口 61的結構，實際上虛線不存在，即多邊形開口 61與補償開口 60為連通結構。
[0050]根據本實用新型的一些實施例，掩模板10通過電鑄工藝製備或通過蝕刻工藝製備。
[0051]根據本實用新型的一些實施例，蒸鍍孔50的寬度L為20~80 μ m，如圖9所示。
[0052]根據本實用新型的一些實施例，掩模板10為鎳基合金材質。
[0053]本實用新型的有益效果在於，掩模板10上的蒸鍍孔50由多邊形開口 61及設置在多邊形開口邊角處的補償開口 60構成，補償開口 60構成多邊形開口 61的外延結構，蒸鍍孔50設置了補償開口 60後提高了掩模組件上蒸鍍孔50的開口率，從而有效地提高OLED顯示器的質量。
[0054]儘管參照本實用新型的多個示意性實施例對本實用新型的【具體實施方式】進行了詳細的描述，但是必須理解，本領域技術人員可以設計出多種其他的改進和實施例，這些改進和實施例將落在本實用新型原理的精神和範圍之內。具體而言，在前述公開、附圖以及權利要求的範圍之內，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進，而不會脫離本實用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進，其範圍由所附權利要求及其等同物限定。
【權利要求】
1.一種掩模組件，包括掩模框和掩模板，所述掩模板固定於所述掩模框上，所述掩模板上設有由蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區域，其特徵在於:所述蒸鍍孔由多邊形開口及設置在所述多邊形開口邊角處的補償開口構成，所述補償開口構成所述多邊形開口的外延結構，所述掩模板為一體成型結構或由分立的掩模單元組成。
2.根據權利要求1所述的掩模組件，其特徵在於，所述補償開口為由一條弧線和兩條線段圍成的與所述多邊形開口連通的外延結構，所述兩條線段的一端分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接，所述兩條線段的另一端分別與所述弧線的兩個端點連接。
3.根據權利要求2所述的掩模組件，其特徵在於，所述兩條線段所在直線所成的夾角為O。?80°。
4.根據權利要求3所述的掩模組件，其特徵在於，所述兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的所述多邊形開口的相應邊所在的直線呈0°?90°夾角。
5.根據權利要求1所述的掩模組件，其特徵在於，所述補償開口為由兩條線段圍成的與所述多邊形開口連通的外延結構，所述兩條線段的一端分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接，所述兩條線段的另一端相交於一點。
6.根據權利要求5所述的掩模組件，其特徵在於，所述兩條線段所成的夾角為10°?80°，所述兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的所述多邊形開口的相應邊所在的直線呈0°?90°夾角。
7.根據權利要求1所述的掩模組件，其特徵在於，所述補償開口為由弧線圍成的與所述多邊形開口連通的外延結構，所述弧線的兩個端點分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接。
8.根據權利要求1所述的掩模組件，其特徵在於，所述掩模板通過電鑄工藝製備或通過蝕刻工藝製備。
9.根據權利要求1所述的掩模組件，其特徵在於，所述蒸鍍孔的寬度為20?80μπι。
10.根據權利要求1所述的掩模組件，其特徵在於，所述掩模板為鎳基合金材質。
【文檔編號】C23C14/04GK203728917SQ201320842785
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2013年12月20日 優先權日:2013年12月20日
【發明者】魏志凌, 高小平, 魏志浩, 莫松亭, 劉學明 申請人:崑山允升吉光電科技有限公司