一種擴散爐用防熱散失隔熱門的製作方法

2023-06-11 06:00:26

本實用新型涉及一種擴散爐，特別涉及一種擴散爐用防熱散失隔熱門。

背景技術：

擴散爐是半導體器件及大規模集成電路製造過程中用於對晶片進行擴散、氧化、鍍膜、退火、合金及燒結等工藝的一種熱加工設備。傳統高溫擴散爐的口部是依靠一塊石英平板來進行簡單的封蓋，但由於石英平板不能起到高效隔熱的作用，所以極易造成爐內的熱量由爐口處快速流失，而此時的高溫擴散爐只能通過提高加熱功率來補償流失的熱量，這不但導致熱利用率較低，而且還極大的浪費了能源。

技術實現要素：

本實用新型的目的就在於提供一種結構簡單，隔熱效果好，熱利用率高的擴散爐用防熱散失隔熱門。

為了實現上述目的，本實用新型採用的技術方案是這樣的：本實用新型的擴散爐用防熱散失隔熱門，包括隔熱門本體，所述隔熱門本體包括隔熱筒和隔熱蓋，隔熱蓋與隔熱筒形成一密封空間，隔熱蓋與隔熱筒之間設置有連接筋，所述密封空間內填充有隔熱材料，隔熱筒的外壁上設置有保護層，隔熱筒一側設置有連接件，所述隔熱蓋的外側設置有吊環。

作為優選，所述隔熱筒和隔熱蓋採用碳化矽製成。

作為優選，所述保護層採用石英製成。

作為優選，所述隔熱材料為陶瓷纖維或石英纖維。

與現有技術相比，本實用新型的優點在於：本實用新型結構簡單，通過採用隔熱筒和隔熱蓋組成的雙層結構，從而在簡單有效的封蓋住高溫擴散爐的爐口同時，還通過在隔熱蓋和隔熱筒組成的密封空間內填充的隔熱材料有效的隔離了爐內的高溫，使爐內的熱量難以傳導至外部，即達到了隔離爐內的熱輻射，減少熱量流失的目的；隔熱蓋與隔熱筒之間設置有連接筋，增強了隔熱門的強度，延長其使用壽命，設置連接件，便於安裝，設置吊環，方便使用，本實用新型適合推廣使用。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合附圖對本實用新型作進一步說明。

參見圖1，本實用新型的擴散爐用防熱散失隔熱門，包括隔熱門本體，所述隔熱門本體包括隔熱筒1和隔熱蓋2，隔熱蓋2與隔熱筒1形成一密封空間，隔熱蓋2與隔熱筒1之間設置有連接筋4，所述密封空間內填充有隔熱材料5，隔熱筒1的外壁上設置有保護層3，隔熱筒1一側設置有連接件6，所述隔熱蓋2的外側設置有吊環7，所述隔熱筒1和隔熱蓋2採用碳化矽製成，所述保護層3採用石英製成，所述隔熱材料5為陶瓷纖維或石英纖維。

隔熱門採用隔熱筒1和隔熱蓋2組成雙層結構，從而在簡單有效的封蓋住高溫擴散爐的爐口同時，還通過在隔熱蓋2和隔熱筒1組成的密封空間內填充的隔熱材料5有效的隔離了爐內的高溫，使爐內的熱量難以傳導至外部，即達到了隔離爐內的熱輻射，減少熱量流失的目的；隔熱蓋2與隔熱筒1之間設置有連接筋4，增強了隔熱門的強度，延長其使用壽命，設置連接件6，便於安裝，設置吊環7，方便使用，本實用新型結構簡單，適合推廣使用。