Mems電容麥克風的製作方法
2023-07-26 05:49:16
專利名稱：Mems電容麥克風的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種MEMS麥克風，尤其涉及一種應用在手機等便攜 式消費性電子產品上的MEMS麥克風。
背景技術：
隨著無線通訊的發展，全球行動電話用戶越來越多，用戶對行動電話 的要求已不僅滿足於通話，而且要能夠提供高質量的通話效果，尤其是目 前移動多媒體技術的發展，行動電話的通話質量更顯重要，行動電話的麥 克風作為行動電話的語音拾取裝置，其設計好壞直接影響通話質量。
而目前應用較多且性能較好的麥克風是微電機系統麥克風 (Micro-Electro-Mechanical-System Microphone, 簡稱MEMS ),其封裝體 積比傳統的駐極體麥克風小。
與本發明相關的MEMS麥克風中，振膜的形狀為圓形。這種MEMS 麥克風振膜盈利應力打，靈敏度低。
實用新型內容
本實用新型要解決的技術問題在於提供一種靈敏度好的MEMS電容麥 克風。
為解決上述技術問題，本實用新型提供的技術方案為
一種MEMS電容麥克風，包括基底、平行於基底的背板、與背板相對 形成電容效應的振膜，所述振膜包括固定部和與固定部連接的振動部，在 所述振膜的中心設置有孔，自該孔向振膜的固定部方向設置有至少兩個 槽，所述槽與所述孔相通。
優選的，所述槽關于振膜的中心對稱
優選的，所述槽的個數為大於或等於3個。
優選的，所述孔和所述槽未穿透振膜且其深度是所述振膜厚度的一半。
優選的，所述孔和所述槽貫通所述振膜。 優選的，所述槽延伸至所述振膜的固定部。 優選的，所述振膜為圓形。 優選的，所述振膜為矩形。 優選的，所述振膜為橢圓形。
本實用新型的有益效果在於由於在所述振膜的中心設置有孔，自該 孔向振膜的固定部方向設置有至少兩個槽，槽與孔相通，所以槽將振膜分 成若干部分，振膜的若干部分僅受到單方向約束，這樣加工殘餘應力獲得 有效釋放，提高了振膜的靈敏度。。
圖1是本實用新型提供一個實施例的MEMS電容麥克風的剖視圖2是本實用新型提供的一個實施例的MEMS電容麥克風振膜的平面圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施方式對本實用新型作進一步說明。 . 本實用新型提供的MEMS麥克風1,主要用於手機上，接受聲音並將 聲音轉化為電信號。本實用新型提供的發明是通過在振膜上設置振膜扇片 來達到提高麥克風的低頻特性的效果。
參見圖1, 本實用新型提供的MEMS麥克風1包括基底10、置於基 底10上的背板12、與背板12相連接的支撐層11、與背板12相對並通過 支撐層11相連的振膜13,該振膜13包括與支撐層11相連的固定部131 和與固定部131相連的振動部132,背板12上設置有背板孔121,背板 12和振膜13之間留有空氣隙15。在本實用新型提供的實施例中，振膜 13的固定部131和振動部132是一體成型的。
當然，振膜13與背板12的位置關係不限於圖1中所示的方式。也可 以是振膜13位於背板12與基底10之間；同樣，圖1中的支撐層也不是 必須的。只要振膜13與背板12能夠形成電容器就可以。
在本發明提供的一個實施例中，參見圖2，在振膜13的中心開設有孔l4,自該孔14向振膜13的固定部131方向^:置有6個槽15，槽15與 孔14相通且槽15關于振膜13的中心對稱，即關於孔14對稱。也就是說， 槽15將振膜13等分。
在本發明提供的實施例中，振膜13為圓形，但實際上，振膜13不限 於圓形，也可以是矩形或者三角形、橢圓形等。
槽15的個數最少為2個，槽15關于振膜13的中心對稱。
孔14和槽15可以是通孔和通槽，即貫通整個振膜13，也可以不貫通 整個振膜13。孔14和槽15的厚度和高度可以是振膜13厚度的一半，也 可以是振膜13厚度的1/3等。
槽15可以延伸至振膜13的固定部131，也可以延伸至振膜13的振動 部132。
以上所述的僅是本實用新型的實施方式，在此應當指出，對於本領域 的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型創造構思的前提下，還可以做 出改進，但這些均屬於本實用新型的保護範圍。
權利要求1、一種MEMS電容麥克風，包括基底、平行於基底的背板、與背板相對形成電容效應的振膜，所述振膜包括固定部和與固定部連接的振動部，其特徵在於在所述振膜的中心設置有孔，自該孔向振膜的固定部方向設置有至少兩個槽，所述槽與所述孔相通。
2、 根據權利要求1所述的MEMS電容麥克風，其特徵在於所述槽關 于振膜的中心對稱
3、 根據權利要求1所述的MEMS電容麥克風，其特徵在於所述槽的 個數為大於或等於3個。
4、 才艮據權利要求1所述的MEMS電容麥克風，其特徵在於所述孔和 所述槽未穿透振膜且其深度是所述振膜厚度的 一 半。
5、 根據權利要求1所述的MEMS電容麥克風，其特徵在於所述孔和所述槽貫通所述振膜。
6、 根據權利要求1或2或3或4或5所述的MEMS電容麥克風，其特 徵在於所述槽延伸至所述振膜的固定部。
7、 根據權利要求1所述的MEMS電容麥克風，其特徵在於所述振膜 為圓形。
8、 根據權利要求1所述的MEMS電容麥克風，其特徵在於所述振膜 為矩形。
9、 根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特徵在於所述振膜為橢 圓形。
專利摘要本實用新型提供了一種MEMS電容麥克風，包括基底、平行於基底的背板、與背板相對形成電容效應的振膜，所述振膜包括固定部和與固定部連接的振動部，在所述振膜的中心設置有孔，自該孔向振膜的固定部方向設置有至少兩個槽，所述槽與所述孔相通。該種麥克風靈敏度好。
文檔編號H04R19/04GK201403199SQ20092013593
公開日2010年2月10日 申請日期2009年3月27日 優先權日2009年3月27日
發明者睿 張 申請人:瑞聲聲學科技(常州)有限公司;瑞聲聲學科技(深圳)有限公司