一種半導體設備中噴淋裝置的拆裝輔助工裝及使用方法與流程

2023-07-25 14:39:21

本發明涉及一種半導體設備中噴淋裝置的拆裝輔助工裝及使用方法，主要應用於半導體鍍膜設備裝機調試及停機維護時，安裝或拆卸工藝氣體噴淋裝置的操作過程中。操作時，本發明能夠輔助噴淋裝置的拆裝工作，簡化操作過程，降低操作難度，保障設備維護人員安全及設備安全。本發明屬於半導體薄膜沉積應用及製備技術領域。

背景技術：

現有的半導體鍍膜設備，在新設備裝機調試、或者設備在使用一段時間後，都需要安裝或拆卸位於上蓋板位置的工藝氣體噴淋裝置。此項操作通常由設備維護人員手動完成。但是，所述位於上蓋板位置的工藝氣體噴淋裝置，往往為圓盤形金屬而且表面帶有密集噴淋小孔，且整個零件的表面光潔度等級很高，零件的結構方面，通常在其邊緣設置有一系列安裝孔，定位銷孔，邊沿、凸臺等結構特徵。所以，在進行拆卸或安裝操作時，既要平穩地，避免磕碰地移動噴淋裝置到指定位置，又由於上蓋板開啟角度原因常常需要將噴淋裝置扣合到小於九十度的立面上，必須扶持噴淋裝置防止其脫落，來進行插拔定位銷，拆卸或使用扭矩扳手緊固螺釘的操作，這就需要兩個或兩個以上的設備維護人員集中在設備噴淋裝置所在的極為有限的操作區域相互配合完成。稍有不慎，就會磕碰或劃傷噴淋裝置，若產生肉眼無法觀察到的劃傷、凹坑或尖角，沒有及時進行修復而被安裝到如等離子增強型化學氣相沉積設備等需要加載高頻電壓的半導體薄膜沉積設備中進行薄膜的生產，這 些劃傷、凹坑或尖角就會引發打火。而且自重較大的噴淋裝置一旦從操作人員手中脫落，撞擊到下方腔體或撞擊到存在於腔體中的陶瓷件，損失將更為嚴重。

技術實現要素：

本發明以解決上述問題為目的，採用簡單機械結構，在噴淋裝置拆卸或安裝之前，先行與噴淋裝置緊固為一體，利用設置在工裝上的把手，代替操作人員雙手持握光滑的圓盤形噴淋裝置的方式。實現操作人員單手即可移動，旋轉對應安裝孔，定位銷孔並隨上蓋板開啟角度平穩安全扣合到指定位置進行安裝，或是在需要停機維護拆卸噴淋裝置時，先將工裝與噴淋裝置緊固，再拆卸上蓋板與噴淋裝置的緊固件，利用工裝把手將噴淋裝置平穩安全的從設備上移出。

為實現上述目的，本發明採用下述技術方案：

一種半導體設備中噴淋裝置的拆裝輔助工裝，結構特徵由兩部分組成，一是位於工裝中心處的把手，二是佔其主體體積大部分的邊緣帶有呈放射性伸出的若干連接臂的零件組成。每個連接臂末端均帶有一個緊固螺釘。

使用方法：在進行安裝工藝氣體噴淋裝置的操作時，先將工裝邊緣若干連接臂末端的緊固螺釘與噴淋裝置邊緣的螺紋孔特徵對應並旋入緊固穩定，一手持握工裝把手，抬起噴淋裝置，另一手扶持噴淋裝置邊緣，將噴淋裝置移動到對應安裝位置定位，再通過緊固螺釘將噴淋裝置安裝在設備上。同理，在進行拆卸工藝氣體噴淋裝置的操作時，先將工裝邊緣若干連接臂末端的緊固螺釘與噴淋裝置邊緣的螺紋孔特徵對應並旋入緊固穩定，一手持握工裝把手，保持噴淋裝置穩定，另一手逐個鬆開緊固螺釘使噴淋裝置脫離設備並移 動到安全位置。以上操作過程一到二人即可完成。

本發明的有益效果及特點在於：

使用簡單機械加工及常見機械配件裝配組合，形成可以與噴淋裝置穩固連接的結構，在進行噴淋裝置的拆卸和安裝操作時，可以輔助不方便持握的噴淋裝置便於持握、移動和扣合。實現了一到二人即可安全、快速的操作，保證了半導體設備裝機調試或停機維護需要安裝或拆卸噴淋裝置時，起到了對操作過程簡化，降低操作工作難度，保障設備維護人員及設備安全的作用。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖。

圖2是本發明的使用方法示意圖。

具體實施方式

實施例

參照圖1，一種半導體設備中噴淋裝置的拆裝輔助工裝，其結構特徵由兩部分組成，一是位於工裝中心處的把手4，二是佔其主體體積大部分的邊緣帶有呈放射性伸出的3個連接臂2的零件1組成。每個連接臂2末端均帶有一個緊固螺釘3。

參照圖2，在進行安裝工藝氣體噴淋裝置5的操作時，開啟上蓋板7，將工裝邊緣3個連接臂2末端的緊固螺釘3與噴淋裝置邊緣的螺紋孔特徵對應並旋入緊固穩定，一手持握工裝把手4，抬起噴淋裝置5，另一手扶持噴淋裝置5邊緣，將噴淋裝置5移動到上蓋板7上的安裝位置定位，此時開啟狀態的上蓋板7與腔體8成小於90度的夾角，噴淋裝置5受自身重力有向下運動的趨勢，通過持握把手4保持噴淋裝置5的扣合在上蓋板7的狀態， 再通過若干緊固螺釘6將噴淋裝置5安裝在設備上。同理，在進行拆卸工藝氣體噴淋裝置5的操作時，先將工裝邊緣3個連接臂2末端的緊固螺釘3與噴淋裝置5邊緣的螺紋孔特徵對應並旋入緊固穩定，一手持握工裝把手4，保持噴淋裝置5穩定，另一手逐個鬆開緊固螺釘6使噴淋裝置5脫離設備並移動到安全位置。以上操作過程一到二人即可完成。