測溫裝置的製作方法

2023-07-25 17:37:16 3

專利名稱：測溫裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型是有關一種測溫裝置，特別是指一種藍寶石長晶爐的測溫裝置。
背景技術：
藍寶石長晶爐的爐壁上設置有一觀察孔。觀察孔內設置有一用以觀察爐體內情形的石英或是藍寶石材質的玻璃，以供操作人員由爐外觀察爐內狀況。舉例來說，因為藍寶石長晶爐在長晶的過程中需要良好的溫度監控，因此使用紅外線溫度偵測器自爐體外產生紅外線經由觀察孔的玻璃入射至爐體內，以獲得爐內的溫度值。但藍寶石長晶過程需在高真空及高溫中操作，舉例來說高達2100 2200°C的高溫。然而在此相當高溫的情況下，爐體內利用金屬材質所製成的鎢坩鍋會產生金屬蒸汽 (鎢蒸汽)或是其他氧化物雜質。此些雜質將附著在爐體內各處。在長時間生產的周期中， 大約二個星期，安裝在爐體觀察孔上的石英或是藍寶石材質的玻璃將遭受到金屬蒸汽或者氧化物的汙染及附著，嚴重幹擾紅外線反射波長，造成無法透過此玻璃量測爐體內溫度。有鑑於此，本實用新型遂針對上述現有技術的缺失，提出一種適用於藍寶石長晶爐的測溫裝置，以有效克服上述的所述等問題。
發明內容本實用新型的主要目的在提供一種適用於藍寶石長晶爐的測溫裝置，其氧化鋯管末端是處於加熱器旁，以使紅外線溫度偵測器所發射的紅外線直接照射於氧化鋯管末端， 而獲得準確性較佳的溫度。本實用新型的另一目的在提供一種適用於藍寶石長晶爐的測溫裝置，其能有效保護石英或藍寶石材質的玻璃免於金屬蒸汽或者氧化物的汙染及附著，並進而確保紅外線反射波長經石英或藍寶石材質的玻璃仍與實際相同。為達上述的目的，本實用新型提出一種裝設於一藍寶石長晶爐上的測溫裝置。此藍寶石長晶爐包含有一觀察孔上與一設置於藍寶石長晶爐爐內的加熱器，觀察孔上設置有一玻璃。本實用新型的測溫裝置主要包含有一氧化鋯管與一紅外線溫度偵測器。上述的氧化鋯管是設置於藍寶石長晶爐內。氧化鋯管前端鄰近玻璃，末端延伸至加熱器。上述的紅外線溫度偵測器是設置於藍寶石長晶爐外。紅外線溫度偵測器的檢測端對應觀察孔，以發出紅外光直接穿透過玻璃量測氧化鋯管末端的溫度。較佳的，所述氧化鋯管的前端是利用一密封件裝設於所述觀察孔內。較佳的，所述觀察孔外周壁上設置有一冷卻裝置。較佳的，其更包含有一固定件，其是將所述紅外線溫度偵測器的檢測端固定於所述觀察孔上。在本實用新型的測溫裝置下，紅外線溫度偵測器所發出的紅外光將直接照射在氧化鋯管末端，此時因為氧化鋯管末端是處於加熱器旁邊，所以可獲得準確性較佳的量測溫度，此測溫的準確性高達約士0. 003%。[0012]此外，因為本實用新型安裝氧化鋯管的同時一併保護石英或藍寶石材質的玻璃免於金屬蒸汽或者氧化物的汙染及附著，因此紅外線溫度偵測器所發射出的紅外線自氧化鋯管末端反射回來穿過此玻璃時，將不會遭受到金屬蒸汽或者氧化物的汙染，進而確保紅外線反射波長與實際相同。

圖1是本實用新型的測溫裝置的實施例示意圖；圖2是圖1的局部放大示意圖。附圖標記說明10-測溫裝置；12-藍寶石長晶爐；14-觀察孔；16-加熱器；18-玻璃；20-氧化鋯管；22-紅外線溫度偵測器；24-密封件；26-冷卻裝置。
具體實施方式
以下結合附圖，對本實用新型上述的和另外的技術特徵和優點作更詳細的說明。請一併參閱圖1與圖2，其是本實用新型的測溫裝置的實施例示意圖與圖1的局部放大示意圖。如圖所示，本實用新型的測溫裝置10是裝設於一藍寶石長晶爐12上。此藍寶石長晶爐12包含有一觀察孔14與一設置於藍寶石長晶爐12爐內的加熱器16。此觀察孔14上設置有一石英或是藍寶石材質的玻璃18，以供觀察爐體內情形。本實用新型的測溫裝置10主要包含有一氧化鋯管20與一紅外線溫度偵測器22。上述的氧化鋯管20是設置於藍寶石長晶爐12內。氧化鋯管20前端鄰近玻璃18，末端延伸至加熱器16。上述的紅外線溫度偵測器22是設置於藍寶石長晶爐12外。紅外線溫度偵測器22的檢測端對應觀察孔14，以發出紅外光直接穿透過玻璃18，來量測氧化鋯管20末端的溫度。再者，上述的氧化鋯管20的前端是利用真空密封技術使用一密封件M裝設於觀察孔14內，並由此保護觀察孔14內的石英或藍寶石玻璃18免於遭受到金屬蒸汽或者氧化物的汙染及附著。再者，觀察孔14外周壁上設置有一冷卻裝置26，以消除藍寶石長晶爐內高溫熱傳對本實用新型的測溫裝置的影響，舉例來說對密封件、氧化鋯等的影響。此外，本實用新型的測溫裝置10的紅外線溫度偵測器22是通過一固定件觀來將紅外線溫度偵測器22的檢測端固定於觀察孔14上。當然，此固定件觀的施行實施例可以有各種型態變化，而在圖示中是舉一可套接於觀察孔內周壁的固定件作為實施例，但並不以此局限此固定件只能以此型態施行。在本實用新型的測溫裝置下，紅外線溫度偵測器所發出的紅外光將直接照射在氧化鋯管末端，此時因為氧化鋯管末端是處於加熱器旁邊，所以可獲得準確性較佳的量測溫度，此測溫的準確性高達約士0. 003%。此外，因為本實用新型安裝氧化鋯管的同時一併保護石英或藍寶石材質的玻璃免於金屬蒸汽或者氧化物的汙染及附著，因此紅外線溫度偵測器所發射出的紅外線自氧化鋯管末端反射回來穿過此玻璃時，將不會遭受到金屬蒸汽或者氧化物的汙染，進而確保紅外線反射波長與實際相同。以上說明對本實用新型而言只是說明性的，而非限制性的，本領域普通技術人員理解，在不脫離以下所附權利要求所限定的精神和範圍的情況下，可做出許多修改，變化， 或等效，但都將落入本實用新型的保護範圍內。
權利要求1.一種測溫裝置，其特徵在於，其是裝設於一藍寶石長晶爐上，所述藍寶石長晶爐包含有一觀察孔上與一設置於所述藍寶石長晶爐爐內的加熱器，所述觀察孔上設置有一玻璃， 所述測溫裝置包含有一氧化鋯管，其是設置於所述藍寶石長晶爐爐內，所述氧化鋯管前端鄰近所述玻璃，末端延伸至所述加熱器；以及一紅外線溫度偵測器，其是設置於所述藍寶石長晶爐外，所述紅外線溫度偵測器的檢測端對應所述觀察孔，以發出紅外光直接穿透過所述玻璃量測所述氧化鋯管末端的溫度。
2.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特徵在於，所述氧化鋯管的前端是利用一密封件裝設於所述觀察孔內。
3.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特徵在於，所述觀察孔外周壁上設置有一冷卻直ο
4.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特徵在於，其更包含有一固定件，其是將所述紅外線溫度偵測器的檢測端固定於所述觀察孔上。
專利摘要本實用新型提供一種裝設於一藍寶石長晶爐上的測溫裝置。此藍寶石長晶爐包含有一觀察孔上與一設置於藍寶石長晶爐爐內的加熱器，觀察孔上設置有一玻璃。本實用新型的測溫裝置主要包含有一氧化鋯管與一紅外線溫度偵測器。上述的氧化鋯管是設置於藍寶石長晶爐內，且前端鄰近玻璃，末端延伸至加熱器。上述的紅外線溫度偵測器是設置於藍寶石長晶爐外且檢測端對應觀察孔，紅外線溫度偵測器發出紅外光直接穿透過玻璃量測氧化鋯管末端的溫度，以獲得準確性高的溫度量測值。
文檔編號G01J5/00GK202177454SQ20112004157
公開日2012年3月28日 申請日期2011年2月17日 優先權日2011年2月17日
發明者謝旭明 申請人:宏貿科技有限公司