用於生產太陽能用矽單晶的氬氣流量自動調節裝置的製作方法

2023-08-07 05:30:56

專利名稱：用於生產太陽能用矽單晶的氬氣流量自動調節裝置的製作方法
技術領域：
本 實用新型涉及氬氣流量調節裝置，具體為一種用於直拉法生產太陽能用矽單晶過程中使用的氬氣流量自動調節裝置。
背景技術：
在直拉法生產太陽能用矽單晶的過程中，需要採用氬氣進行保護，因而氬氣流量自動調節裝置為必不可少的設備之一，而且它的操作好壞對矽單晶的質量和成本有較大的影響。目前普遍應用的氬氣流量調節裝置多由III型儀表組成，該種配置僅適用於一種壓力下的流量調節，而且流量調節非常不穩定，不能滿足使用工藝要求，所以均在管道上增加一手動截止閥，需要手動調節。其存在的缺點包括1、操作不便，工藝過程調節次數多；2、 不能及時觀測單晶爐內部壓力並實時做出相應調控；3、工藝操作的隨機性大，人為因素影響較大。

實用新型內容本實用新型所解決的技術問題在於提供一種用於生產太陽能用矽單晶的氬氣流量自動調節裝置，使之能夠實時監測單晶爐內部壓力，並依據壓力對氬氣流量做出合理的自動調節，從而解決上述背景技術中的缺點。本實用新型所解決的技術問題採用以下技術方案來實現一種用於生產太陽能用矽單晶的氬氣流量自動調節裝置，包括控制裝置、吹氬裝置本體、壓力傳感器、流量調節裝置和單晶爐，所述吹氬裝置本體與所述單晶爐相連的管道上設置所述流量調節裝置，該流量調節裝置與所述控制裝置的信號輸出端連接，所述控制裝置的信號輸入端連接所述壓力傳感器，該壓力傳感器安裝在所述單晶爐內。作為一種改進，所述控制裝置為CPU，可以接收壓力傳感器採集的壓力數據，在顯示屏上顯示，並對數據進行處理，做出調控信號，根據信號對所述流量調節裝置進行調控。作為一種改進，所述流量調節裝置為多組電磁閥、單向閥和減壓閥的組合，可以對吹氬裝置本體的氬氣輸出速度進行調節。由於採用了以上技術方案，本實用新型具有以下有益效果本實用新型結構簡單，操作方便，能夠實時監測單晶爐內部壓力，並依據壓力對氬氣流量做出合理的自動調節，減少了人為因素的影響，使之更利於太陽能用矽單晶的生產。

圖1為本實用新型組成結構示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型實現的技術手段、創作特徵、達成目的與功效易於明白了解，下面結合具體 圖示，進一步闡述本實用新型。參見圖1，一種用於生產太陽能用矽單晶的氬氣流量自動調節裝置，包括吹氬裝置本體1、控制裝置2、壓力傳感器3、流量調節裝置4和單晶爐5，所述吹氬裝置本體1與所述單晶爐5相連的管道上設置所述流量調節裝置4，該流量調節裝置4與所述控制裝置2的信號輸出端連接，所述控制裝置2的信號輸入端連接所述壓力傳感器3，該壓力傳感器3安裝在所述單晶爐5內。本實施例中，所述控制裝置2為CPU，可以接收壓力傳感器3採集的壓力數據，在顯示屏上顯示，並對數據進行處理，做出調控信號，根據信號對所述流量調節裝置4做出調控。本實施例中，所述流量調節裝置4為多組電磁閥、單向閥和減壓閥的組合，可以對吹氬裝置本體1的氬氣輸出速度進行調節。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特徵和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和範圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型範圍內。本實用新型要求保護範圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
權利要求1. 一種用於生產太陽能用矽單晶的氬氣流量自動調節裝置，包括控制裝置、吹氬裝置本體、壓力傳感器、流量調節裝置和單晶爐，其特徵在於所述吹氬裝置本體與所述單晶爐相連的管道上設置所述流量調節裝置，該流量調節裝置與所述控制裝置的信號輸出端連接，所述控制裝置的信號輸入端連接所述壓力傳感器，該壓力傳感器安裝在所述單晶爐內。
專利摘要一種用於生產太陽能用矽單晶的氬氣流量自動調節裝置，包括控制裝置、吹氬裝置本體、壓力傳感器、流量調節裝置和單晶爐，所述吹氬裝置本體與所述單晶爐相連的管道上設置所述流量調節裝置，該流量調節裝置與所述控制裝置的信號輸出端連接，所述控制裝置的信號輸入端連接所述壓力傳感器，該壓力傳感器安裝在所述單晶爐內。本實用新型結構簡單，操作方便，能夠實時監測單晶爐內部壓力，並依據壓力對氬氣流量做出合理的自動調節。
文檔編號C30B29/06GK201942785SQ20112001679
公開日2011年8月24日 申請日期2011年1月19日 優先權日2011年1月19日
發明者李斌, 楊峰, 林增標, 林德彰, 林海萍, 王縣, 王增榮, 王飛, 賴汝萍, 郝俊濤, 鍾貴琪, 黃雲增, 黃少華, 黃斌, 黃魯生 申請人:江西神矽科技有限公司