一體化安裝結構的矽壓阻式壓力傳感器的製作方法

2023-08-06 06:06:51 2

專利名稱：一體化安裝結構的矽壓阻式壓力傳感器的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及的是一種是由矽壓力芯體和外部接口封裝的採用螺紋一體化安裝結構的矽壓阻式壓力傳感器，被測介質的壓力是通過外部接口傳遞給矽壓力芯體。屬於儀表測量技術領域。
附圖
是本實用新型的結構示意圖圖中的1是螺紋(M20X1.5)、2是主體、3是焊環、4是膜片、5是矽油、6是晶片、7是瓷環、8是墊片、9是補償板、10是引腳、11是引線、12是安裝孔。
本實用新型採用螺紋一體化安裝結構方式。由矽壓力芯體、「O」型圈、壓力接頭三部分組成。引腳10和主體2通過玻璃絕緣子燒結一起，瓷環7安裝在引腳上，晶片6粘貼在主體2的中心部位，晶片6和引腳10由金絲通過超聲焊接一起，主體2、焊環3和膜片4由雷射焊接一起，墊片8墊在補償板9的下面，補償板9安在引腳10上用錫焊在一起，引線11焊在補償板上用於測試。主體2上有兩個安裝孔12，有M20X1.5螺紋安裝極其方便，安裝在進壓頭上組成標準信號輸出的變送器上，也可安裝在壓力測試點上。
權利要求1.一體化安裝結構的矽壓阻式壓力傳感器，其特徵是由螺紋(1)、主體(2)和焊環(3)、膜片(4)、矽油(5)、晶片(6)、瓷環(7)、墊片(8)、補償板(9)、引腳(10)、引線(11)組成，其中引腳(10)和主體(2)通過玻璃絕緣子燒結一起，瓷環(7)安裝在引腳(10)上，晶片(6)粘貼在主體(2)的中心部位，晶片(6)和引腳(10)由金絲通過超聲焊接一起，主體(2)、焊環(3)和膜片(4)由雷射焊接一起，墊片(8)墊在補償板(9)的下面，補償板(9)安裝在引腳(10)上用錫焊在一起，引線(11)焊在補償板(9)上，主體(2)上有兩個安裝孔(12)。
專利摘要本實用新型涉及的是一種是由矽壓力芯體和外部接口封裝的採用螺紋一體化安裝結構的矽壓阻式壓力傳感器，被測介質的壓力是通過外部接口傳遞給矽壓力芯體。屬於儀表測量技術領域。由螺紋、主體和焊環、膜片、矽油、晶片、瓷環、墊片、補償板、引腳、引線組成，其中引腳和主體通過玻璃絕緣子燒結一起，瓷環安裝在引腳上，晶片粘貼在主體的中心部位，晶片和引腳由金絲通過超聲焊接一起，主體、焊環和膜片由雷射焊接一起，墊片墊在補償板的下面，補償板安裝在引腳上用錫焊在一起，引線焊在補償板上，主體上有兩個安裝孔。本實用新型的優點由於主體上有兩個安裝孔，並用的是M20X1.5螺紋，所以安裝方便，它不但可安裝在進壓頭上組成標準信號輸出的變送器，而且也可安裝在壓力測試點上。
文檔編號G01L9/06GK2540627SQ0222046
公開日2003年3月19日 申請日期2002年5月10日 優先權日2002年5月10日
發明者李維平, 佘德群, 高峰, 趙建立, 黃標 申請人:李維平, 佘德群, 高峰, 趙建立, 黃標