用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置的製作方法
2023-08-08 07:41:31 1
專利名稱：用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及氣體密封技術領域，特別涉及一種用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置。
背景技術：
目前，在多種設備中安裝有旋轉主軸低速旋轉的結構，同時需要有氣體通過旋轉 主軸中間通氣孔到達頂部進行工藝試驗的結構。根據不同工藝的要求，通過旋轉主軸的氣 體壓力需要有一定的保證，同時如果通過旋轉主軸的氣體是有害氣體，必須保證該氣體不 可外漏；比如現階段清洗機旋轉主軸就需要有氮氣通過主軸中間通氣孔，對晶片背面進行 噴氣清潔處理。但是，而現階段類似的結構都不能夠完全解決漏氣問題，即使能解決漏氣問 題也會造成工藝環境的極度惡化。對於磁懸浮密封會在空氣中產生大量金屬粒子的聚集而 惡化環境，對於一般的油液密封採取循環填充油液的方式保證油液的量，填充過程中有油 液的洩漏和飛濺等現象出現。發明內容
(一)要解決的技術問題
本發明要解決的技術問題是提供一種用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置，以克服 現有技術中主軸在低速旋轉時氣體在旋轉處外漏的缺陷。
(二)技術方案
為了解決上述技術問題，本發明提供一種用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置，包 括主軸及與其連接的軸承，所述軸承固定在通氣軸承座上，其特徵在於，所述軸承與所述 主軸密封連接，所述軸承的內圈端面密封連接有沿所述軸承內圈圓周方向的圓環形密封 環，所述通氣軸承座上相應的設置有圓環形油脂槽，所述圓環形油脂槽中填充高密度油脂， 所述圓環形密封環浸入在所述油脂中並在所述驅動裝置的帶動下使軸承的圓環形密封環 在圓環形油脂槽中轉動。
進一步地，所述軸承與所述主軸過渡配合或過盈配合。
進一步地，所述圓環形密封環採用焊接或粘接方式與所述軸承的端部連接。
進一步地，所述通氣軸承座的底部設有底部通氣孔。
(三)有益效果
本發明提供的用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置，通過在軸承的內圈端面密封連 有圓環形密封環，同時在通氣軸承座上設置相應的圓環形油脂槽，使得氣體被阻擋在旋轉 防漏氣腔室內；又在圓環形油脂槽中設有油脂，採用油液密封將氣體徹底阻擋在旋轉防漏 氣腔室內而無法外漏，同時通氣軸承座上直接設置底部通氣孔，減少了單獨設計通氣孔裝 置再與軸承座連接的過程，保證了氣體密封性。因此其能有效解決主軸低速旋轉的氣體密 封的問題，保證工藝環境的潔淨。
圖1為本發明實施例用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置的剖面示意圖；圖2為本發明實施例主軸的結構示意圖；圖3為本發明實施例軸承連接圓環形密封環的結構示意圖；圖4為本發明實施例通氣軸承座的結構示意圖；圖5為圖4的剖視示意圖。圖中，1:通氣軸承座；2 :軸承；3 :主軸；4 :圓環形密封環；5 :底部通氣孔；6 :旋轉防漏氣腔室；7 :圓環形油脂槽；8 :主軸通氣孔。
具體實施方式
下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施 例用於說明本發明，但不用來限制本發明的範圍。
在本發明的描述中，需要說明的是，術語「中心」、「縱向」、「橫向」、「上」、「下」、「前」、 「後」、「左」、「右」、「豎直」、「水平」、「頂」、「底」 「內」、「外」等指示的方位或位置關係為基於附圖所示的方位或位置關係，僅是為了便於描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指 的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明 的限制。此外，術語「第一」、「第二」、「第三」等僅用於描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
在本發明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語「安裝」、「相 連」、「連接」應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可 以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是 兩個元件內部的連通。對於本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本 發明中的具體含義。
此外，在本發明的描述中，除非另有說明，「多個」、「多根」、「多組」的含義是兩個或 兩個以上。
參見圖1-圖5，該密封裝置包括主軸3及與其連接的軸承2，軸承2固定在通氣軸 承座I上，其中，軸承2與主軸3密封連接，軸承2的內圈端面密封連接有沿軸承2內圈圓 周方向的圓環形密封環4，通氣軸承座I上相應的設置有圓環形油脂槽7，圓環形油脂槽7 中填充油脂，圓環形密封環4可在驅動裝置帶動下使軸承2上面的圓環形密封環4在圓環 形油脂槽7中轉動。軸承2由內圈、外圈以及中間的滾珠組成，滾珠會導致漏氣，因此將環 形密封環4設在軸承2的內圈端面。
其中，主軸3的中央設有主軸通氣孔8，通氣軸承座I的底部設有底部通氣孔5，氣 體從底部通氣孔5進入該密封裝置，然後通過主軸3上的主軸通氣孔8到達主軸3的頂部 進行工藝。在通氣軸承座I的圓環形油脂槽7中填充適量的油脂，將密封連接的主軸3與 軸承2固定在通氣軸承座I上,此時圓環形密封環4正好位於圓環形油脂槽7中，此時由圓 環形密封環4浸入到圓環形油脂槽7中而形成了一個旋轉防漏氣腔室6，利用軸承2與主 軸3的配合可以使主軸3能夠順暢轉動，同時由於是低速轉動且油脂的密度很大，不會產生 油液飛濺的現象。同時，底部通氣孔5設計在通氣軸承座I上面，既形成一體的通氣軸承座 1，避免了單獨設計通氣孔裝置，減少了通氣孔裝置與軸承座連接的一個環節，可以更加有效的防止漏氣現象出現。並且由於沒有油液的飛濺以及循環填充油液時油液洩漏的現象出現，以及像磁流體密封中產生的大量金屬粒子聚集的現象出現，因而保證了在低速旋轉過程中該裝置所在的工藝環境的潔淨。此時對於除上下通氣孔的位置，中間的旋轉防漏氣腔室6為封閉狀態，油脂密封又保證不會有氣體洩漏，因而達到了最佳的密封效果。其中，主軸3與軸承2密封配合，保證了旋轉主軸3與軸承2之間沒有間隙，是緊密配合的。防止氣體從主軸3與軸承2的配合處漏出，同時保證主軸3的旋轉順暢以及主軸3與軸承2的同軸度。其中，軸承2內圈底部的圓環形密封環4，可採用粘接或焊接方式與軸承2的內圈端面連接，例如無縫焊接方式。從工藝和實現的效果角度來講，採用焊接方式較好。當然也可以採用佩帶密封圈的機械連接方式將圓環形密封環4與軸承2的內圈端面連接，例如，在圓環形密封環4和軸承2之間設置密封圈，再採用螺釘連接方式將圓環形密封環4、軸承2和密封圈連接成一個整體。無論採用哪種方式都可以保證軸承2和圓環形密封環4之間沒有縫隙，從而保證了氣體的密封性，使氣體不能通過焊接的縫隙漏氣。其中，圓環形密封環4浸入到密封油脂中。密封油脂為高密度油脂，其性能可以根據具體工藝需求選定，其性能為優良的高低溫性、熱穩定性和化學安定性，耐水密封性，良好的潤滑性能和粘附性能，其在高溫下稠度變化小，本身粘稠度大。採用高密度油脂密封，使氣體不能通過圓環形密封環4與圓環形油脂槽7的縫隙漏出，對保證氣壓穩定以及防止有害氣體的外漏有很好的效果；同時低速旋轉的主軸3端部的圓環形密封環4在填充了適量高密度油脂的圓環形油脂槽7內旋轉時，油脂不僅達到密封氣體的作用，並且不會產生油液飛濺的現象，也不會產生大量雜質和油液對工藝環境造成破壞，保證了該裝置所在的工藝環境的的潔淨。該密封裝置採用主軸3與軸承2的密封配合的方式如過渡配合或過盈配合來防止氣體外漏；並且採用密封焊接或粘貼或佩帶密封圈的機械連接，保證氣體不能通過連接處的縫隙漏出；同時採用圓環形密封環浸入高密度油脂中的方式達到防漏氣的目的；並且通氣軸承座上直接設置底部通氣孔，減少了單獨設計通氣孔裝置再與軸承座連接的過程，保證了氣體密封性。因此，本發明成功解決了主軸3低速旋轉氣體密封的問題，並且保證該裝置所在的工藝環境的潔淨。以上所述僅是本發明的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明技術原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應視為本發明的保護範圍。
權利要求
1.一種用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置，包括主軸及與其連接的軸承，所述軸承固定在通氣軸承座上，其特徵在於，所述軸承與所述主軸密封連接，所述軸承的內圈端面密封連接有沿所述軸承內圈圓周方向的圓環形密封環，所述通氣軸承座上相應的設置有圓環形油脂槽，所述圓環形油脂槽中填充油脂，所述圓環形密封環浸入在所述油脂中並在驅動裝置的帶動下使圓環形密封環在圓環形油脂槽中轉動。
2.如權利要求1所述的用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置，其特徵在於，所述軸承與所述主軸過渡配合或過盈配合。
3.如權利要求1所述的用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置，其特徵在於，所述圓環形密封環採用焊接或粘接方式與所述軸承的內圈端面連接。
4.如權利要求1所述的用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置，其特徵在於，所述通氣軸承座的底部設有底部通氣孔。
全文摘要
本發明涉及氣體密封技術領域，特別涉及一種用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置。該裝置包括主軸及與其連接的軸承，所述軸承固定在通氣軸承座上，所述軸承與所述主軸密封連接，所述軸承的內圈端面密封連接有沿所述軸承內圈圓周方向的圓環形密封環，所述通氣軸承座上相應的設置有圓環形油脂槽，所述圓環形油脂槽中填充油脂，所述圓環形密封環浸入在所述油脂中並在驅動裝置的帶動下使圓環形密封環在圓環形油脂槽中轉動。本發明提供一種用於主軸低速旋轉的氣體密封裝置，其能夠有效解決主軸低速旋轉的氣體密封的問題，保證不漏氣；並且不會產生大量雜質和油液對工藝環境造成破壞，保證工藝環境的潔淨。
文檔編號F16C33/76GK102996650SQ201210489339
公開日2013年3月27日 申請日期2012年11月26日 優先權日2012年11月26日
發明者王浩 申請人:北京七星華創電子股份有限公司