一種廢氣排放系統的製作方法
2023-07-08 21:35:56 2
專利名稱：一種廢氣排放系統的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於太陽電池製造技術領域，具體涉及ー種廢氣排放系統。
背景技術：
在太陽電池的製造過程，會產生大量含有矽烷、氨氣的廢氣，為了安全和環保的需要，這些廢氣需要燃燒後再排放到大氣中。在採用板式PECVD(等離子增強化學氣相沉澱)機的矽片生產過程中，如圖I所示，廢氣淨化器3用來初次燃燒矽烷、氨氣，然後把燃燒後的氣體排入主抽風管道10內，主抽風管道10把收集到的廢氣送入矽烷燃燒塔(圖中未示出)再次燃燒，以把廢氣中的可燃氣體處理徹底。上料腔I和下料腔2中充滿氮氣作為保護氣體，在上、下料過程中，需要把上料腔I和下料腔2抽成真空。現有技術中，上料腔I的真空泵14的排氣管道11、下料腔2的真空泵14的排氣管道12與廢氣淨化器3的腔體抽風管道15相鄰並排分別接在主抽風管道10的末端。由於上料腔I和下料腔2的真空泵14是間歇工作的，即在上料和下料過程中，上料腔I或下料腔2的真空泵在排氣(I分鐘兩次)的瞬間，會產生正壓而衝擊主抽風管道10，導致廢氣淨化器3的腔體抽風管道15內的壓カ瞬間為0，使廢氣淨化器3報警停機，而無法正常運行。大量矽烷、氨氣不經廢氣淨化器3的燃燒處理直接排入主抽風管道10，導致主抽風管道10及矽烷燃燒塔嚴重堵塞，造成停產的情況發生。主抽風管道10及矽烷燃燒塔徹底被堵實時，需要花費大量時間和人力進行疏通，嚴重影響生產，而且在疏通後仍然會發生廢氣淨化器3因腔體抽風管道15內的壓カ瞬間過低而報警停機及主抽風管道10和矽烷燃燒塔被堵塞的問題。
實用新型內容針對現有技術中存在的上述缺陷，本實用新型要解決的技術問題是，解決廢氣淨化器因受到排氣管道的內氣體衝擊而造成的停機的問題。為解決上述技術問題，本實用新型提供了ー種廢氣排放系統，包括主抽風管道、分別與上料腔和下料腔連通的排氣管道及與廢氣淨化器連通的腔體抽風管道，所述腔體抽風管道與所述主抽風管道連通；所述廢氣排放系統還包括緩衝罐，所述上料腔和下料腔分別通過所述排氣管道與所述緩衝罐連通，所述緩衝罐與所述主抽風管道之間通過緩衝管道連接。作為優選，所述緩衝罐的體積大於或等於所述上料腔和下料腔中較大者的體積。作為優選，所述緩衝管道與主抽風管道的連接處位於所述腔體抽風管道與主抽風管道的連接處的下遊。作為優選，所述緩衝管道、腔體抽風管道與所述主抽風管道的連接處沿所述主抽風管道之間的距離大於或等於15米。作為優選，所述緩衝罐為合金鋼真空罐。作為優選，所述緩衝管道的管徑大於所述排氣管道的管徑。本實用新型的廢氣排放系統，通過在上料腔和下料腔的真空泵的排氣管道與主抽風管道之間增設緩衝罐，降低了上料腔和下料腔的真空泵工作吋，其排氣管道的正壓對廢氣淨化器的影響，保證其正常工作；並具有結構簡單，成本低的優點。
圖I為現有技術的廢氣排放系統結構示意圖；圖2為本實用新型的實施例的廢氣排放系統結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進ー步詳細描述，但不作為對本實用新型的限定。本實施例以應用在板式PECVD機上的廢氣排放系統為例進行說明，其中，上料腔、下料腔均針對板式PECVD機而言，廢氣淨化器也是用於燃燒板式PECVD機內由於化學反應所產生的廢氣。(請確認該段描述是否正確)如圖2所示，本實用新型的實施例的廢氣排放系統包括主抽風管道10，與上料腔I連通的排氣管道11和下料腔2連通的排氣管道12，與廢氣淨化器3連通的腔體抽風管道15，排氣管道11、排氣管道12和腔體抽風管道15分別與主抽風管道10連通；為了減少排氣管道11、排氣管道12上設置的真空泵14在抽取上料腔I或下料腔2中的氮氣時對主抽風管道10的衝擊，在排氣管道11、排氣管道12與主抽風管道10之間設有緩衝罐5，排氣管道11、排氣管道12作為進氣ロ連接在緩衝罐5上，緩衝罐5通過緩衝管道16與主抽風管道10連接。本實施例通過設置緩衝罐5，根據擴容降壓的原理，排氣管道11、排氣管道12中的氣體進入緩衝罐5後，壓カ下降，從而在其進入主抽風管道10後只有很小的正壓，不會對腔體抽風管道15及其他部件造成大的衝擊，防止腔體抽風管道15受到瞬間脈衝式正壓排氣的衝擊，保證了廢氣淨化器3的連續良好的運行以及整個矽烷抽風系統的穩定及通暢。本實施例中，只是在整個系統中増加ー個緩衝罐5，具有結構簡單，成本低的優點。作為優選，為了保證緩衝罐5的緩衝效果，本實施例中，緩衝罐5的體積等於所述上料腔I和下料腔2中的較大者的體積。緩衝罐5體積可以結合上料腔I和下料腔2的體積以及氣體的速度綜合考慮，以大於或等於上料腔I和下料腔2中的體積較大者為最優，以有效地降低排氣管道11和排氣管道12中的氣體壓力，減少其對主抽風管道10的影響。本實施例中，作為優選，如圖2所示，緩衝罐5與主抽風管道10之間通過緩衝管道16連接，緩衝管道16與主抽風管道10的連接處位於腔體抽風管道15與主抽風管道10的連接處的下遊，兩個連接處沿主抽風管道10的距離為15米。根據實際情況，該距離還可以調整，以使對腔體抽風管道15和廢氣淨化器3的影響減少到不影響廢氣淨化器3的正常エ作為宜。為了降低成本，作為優選，本實施中的緩衝罐5為合金鋼真空罐。並且緩衝管道16的管徑大於排氣管道11和排氣管道12的管徑，可以充分保證緩衝管道16內的氣體壓カ較少地影響主抽風管道10。本實用新型的廢氣排放系統，通過在上料腔I和下料腔2的真空泵14的排氣管道
11、12和主抽風管道10之間增設緩衝罐5，降低了真空泵14工作時對廢氣淨化器3的影響，保證其正常工作，解決了廢氣淨化器3由於腔體抽風管道15內的負壓過低而造成的報警停機的問題，使整個抽風系統的穩定及通暢；並具有結構簡單，成本低的優點。當然，以上所述是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進 和潤飾也視為本實用新型的保護範圍。
權利要求1.ー種廢氣排放系統，包括主抽風管道、分別與上料腔和下料腔連通的排氣管道及與廢氣淨化器連通的腔體抽風管道，所述腔體抽風管道與所述主抽風管道連通，其特徵在幹，還包括緩衝罐，所述上料腔和下料腔分別通過所述排氣管道與所述緩衝罐連通，所述緩衝罐與所述主抽風管道之間通過緩衝管道連接。
2.如權利要求I所述的廢氣排放系統，其特徵在於，所述緩衝罐的體積大於或等於所述上料腔和下料腔中較大者的體積。
3.如權利要求I或2所述的廢氣排放系統，其特徵在於，所述緩衝管道與主抽風管道的連接處位於所述腔體抽風管道與主抽風管道的連接處的下遊。
4.如權利要求3所述的廢氣排放系統，其特徵在於，所述緩衝管道、腔體抽風管道與所述主抽風管道的連接處沿所述主抽風管道之間的距離大於或等於15米。
5.如權利要求I或2所述的廢氣排放系統，其特徵在於，所述緩衝罐為合金鋼真空罐。·
6.如權利要求I或2所述的廢氣排放系統，其特徵在於，所述緩衝管道的管徑大於所述排氣管道的管徑。
專利摘要本實用新型公開了一種廢氣排放系統，包括主抽風管道、分別與上料腔和下料腔連通的排氣管道及與廢氣淨化器連通的腔體抽風管道，所述腔體抽風管道與所述主抽風管道連通，還包括緩衝罐，所述上料腔和下料腔分別通過所述排氣管道與所述緩衝罐連通，所述緩衝罐與所述主抽風管道之間通過緩衝管道連接。本實用新型的廢氣排放系統，通過在上料腔和下料腔的真空泵的排氣管道與主抽風管道之間增設緩衝罐，降低了上料腔和下料腔的真空泵工作時，其排氣管道的正壓對廢氣淨化器的影響，保證其正常工作；並具有結構簡單，成本低的優點。
文檔編號H01L31/18GK202423360SQ20122004242
公開日2012年9月5日 申請日期2012年2月9日 優先權日2012年2月9日
發明者曹凱 申請人:無錫尚德太陽能電力有限公司, 洛陽尚德太陽能電力有限公司