擴散爐密封爐門機構的製作方法
2023-07-15 06:32:16
專利名稱：擴散爐密封爐門機構的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於一種密封爐門機構，具體是用於矽片加工的擴散爐上，能靈活開
閉，特別是能與移載矽片的推拉舟分開操作，可以實現全程很好的密封的爐門機構。
背景技術：
用於矽片加工的擴散爐的爐門需要較好的密封，現在使用的擴散爐爐門大都是與 移載矽片的推拉舟一體設置，在不進行工藝過程時，爐門只得敞開。這樣，擴散爐大量散熱， 不僅浪費了能源，也增加了再加工時爐體加熱的時間，降低了效率。因此，需要對現用爐門 進行改進。
實用新型內容本實用新型的目的是為了解決上述技術問題，提出一種擴散爐密封爐門機構。該
爐門機構結構是與推拉舟分體設置，設計合理，較好地解決了上述技術問題。
本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的擴散爐密封爐門機構，設有石
英爐門體，其特徵在於所述石英爐門體外側固定設有一個連接杆，該連接杆上固定套有金
屬卡套，該金屬卡套的裡端套有壓緊彈簧，該彈簧的外端的金屬卡套上設有支撐託管，該託
管通過支板與一個花鍵軸承的一端固定連接，花鍵軸承設有軸套，該軸套與一個旋轉氣缸
進行旋轉動力連接，花鍵軸的另一端與一個平移氣缸進行平移動力連接。
本實用新型進一步完善和實施的補充方案是 所述平移氣缸設有散熱風扇。 所述所述花鍵軸承及軸套的支座、旋轉氣缸、平移氣缸固定在底座上。 本實用新型的爐門機構具有結構完善、操作靈活、密封性能好、節約能源、效率高
的優點。
圖1是本實用新型的整體結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型做進一步的說明實施例參見附圖，擴散 爐密封爐門機構，擴散爐密封爐門機構，設有石英爐門體9，所述石英爐門體外側固定設有 一個連接杆9. 1，該連接杆上固定套有金屬卡套9. 2，該金屬卡套的裡端套有壓緊彈簧8，該 彈簧的外端，金屬卡套上設有支撐託管9. 3，該託管通過支板7與一個花鍵軸承1的一端固 定連接，花鍵軸承設有軸套1. 1，該軸套與一個旋轉氣缸2進行旋轉動力連接，花鍵軸的另 一端與一個平移氣缸5進行平移動力連接。所述平移氣缸設有散熱風扇4。所述所述花鍵 軸承及軸套的支座6、旋轉氣缸、平移氣缸固定在底座3上。 本實用新型經試用效果非常好。
權利要求一種擴散爐密封爐門機構，設有石英爐門體(9)，其特徵在於所述石英爐門體外側固定設有一個連接杆(9.1)，該連接杆上固定套有金屬卡套(9.2)，該金屬卡套的裡端套有壓緊彈簧(8)，該彈簧的外端，金屬卡套上設有支撐託管(9.3)，該託管通過支板(7)與一個花鍵軸承(1)的一端固定連接，花鍵軸承設有軸套(1.1)，該軸套與一個旋轉氣缸(2)進行旋轉動力連接，花鍵軸的另一端與一個平移氣缸(5)進行平移動力連接。
2. 根據權利要求l所述的爐門機構，其特徵在於所述平移氣缸設有散熱風扇(4)。
3. 根據權利要求1所述的爐門機構，其特徵在於所述所述花鍵軸承及軸套的支座 (6)、旋轉氣缸、平移氣缸固定在底座(3)上。
專利摘要本實用新型公開了擴散爐密封爐門機構，設有石英爐門體(9)，其特徵在於所述石英爐門體外側固定設有一個連接杆(9.1)，該連接杆上固定套有金屬卡套(9.2)，該金屬卡套的裡端套有壓緊彈簧(8)，該彈簧的外端，金屬卡套上設有支撐託管(9.3)，該託管通過支板(7)與一個花鍵軸承(1)的一端固定連接，花鍵軸承設有軸套(1.1)，該軸套與一個旋轉氣缸(2)進行旋轉動力連接，花鍵軸的另一端與一個平移氣缸(5)進行平移動力連接。本實用新型適用於做擴散爐的爐門，操作靈活，密封效果好，節約能源，效率高。
文檔編號F27D1/18GK201440038SQ20092010965
公開日2010年4月21日 申請日期2009年6月30日 優先權日2009年6月30日
發明者崔偉, 桂曉波, 王廣明, 賀小平 申請人:北京七星華創電子股份有限公司