一種晶棒拼接縫粘接方法
2023-07-28 01:43:01
專利名稱:一種晶棒拼接縫粘接方法
技術領域:
本發明一種晶棒拼接縫粘接方法,屬於晶棒粘接技術領域。
背景技術:
目前,由於行業內的拉晶拉出的單晶長度長短不一,造成後續工段切段後的晶棒 長度不能滿足切片機的加工要求(300mm/根),為了提高切片機的加工效率,行業內將兩根 較短的晶棒搭配在一起以達到300mm的長度,為了不把鋼線夾斷,傳統的方法是粘膠時在 兩根短棒之間留出2-3mm的縫隙,但是由於切斷時產生的斜面在切片時極其容易造成碎片 掉下的現象,有時會被帶到線網上從而產生跳線,嚴重時會產生斷線,客戶對矽片表面的質 量要求較嚴格,斷線就會造成報廢,即使斷線被接起來,一般的矽片表面也會留下一條甚至 幾條線痕或是色差片等不良產品,大大降低了產品的成品率。
發明內容
本發明克服現有技術的不足,所要解決的問題是,提供了一種能夠有效降低斷線 率的晶棒拼接縫粘接方法。為了解決上述技術問題,本發明一種晶棒拼接縫粘接方法,按照以下順序操作a、配棒,將至少兩根較短的晶棒搭配,搭配後的長度滿足切片機加工所需長度;b、預處理選好的晶棒,對上述晶棒需粘接的端面進行處理,使端面相對於中心線 的垂直度< 1. 5mm,且端面潔淨無雜質;C、粘接晶棒,將要拼接的兩根晶棒放置在平臺上,處理好的端面朝上,用美紋膠帶 將兩根晶棒的上部邊緣包起,將膠水塗在其中一根晶棒的端面上,在2分鐘 3分鐘之間將 塗了膠水的晶棒迅速的平行橫放在平臺上,然後將另外一根晶棒也平行橫放到平臺上,兩 個晶棒處理過的端面相對,將兩根晶棒對接,中間的縫隙為Imm 1. 5mm ;d、粘接後的處理,在粘接後3分鐘 5分鐘之間將粘在晶棒上的美紋膠帶揭下來, 然後用美工刀片將拼接縫處的膠清理乾淨,再用酒精將晶棒表面的殘膠擦拭乾淨,最後將 粘好的晶棒靜放20分鐘;e、重複第三步和第四步,直到將搭配好的短棒都粘接完畢。使晶棒端面潔淨無雜物的方法為先用超聲清洗機將需要粘接的晶棒超聲清洗 10分鐘,再用酒精將要粘接的端面擦拭乾淨並晾乾。所述的晶棒或為圓棒,或為方棒,或為線開方棒。本發明與現有技術相比具有的有益效果為下表為2010年4月份使用本發明後,與使用本發明前切片機切片時斷線刀數以及 報廢晶棒數量的對比數據
2010年月份斷線刀數(刀)報廢根數(根)報廢長度(mm) 上表中的數據顯示,自2010年4月份應用了本發明後,與沒有應用本發明之前相 比,拼接縫的斷線刀數減少了 70%左右,報廢晶棒的根數減少了 60%左右,報廢長度減少 了 77%左右,有效的降低了斷線率,減少了晶棒的報廢率,在很大程度上提高了產品的成品 率,從而降低了成本。
具體實施例方式一種晶棒拼接縫粘接方法,按照以下順序操作a、配棒,將至少兩根較短的晶棒搭配,搭配後的長度滿足切片機加工所需長度;b、預處理選好的晶棒,對上述晶棒需粘接的端面進行處理,使端面相對於中心線 的垂直度< 1. 5mm,且端面潔淨無雜質;C、粘接晶棒,將要拼接的兩根晶棒放置在平臺上,處理好的端面朝上,用美紋膠帶 將兩根晶棒的上部邊緣包起,將膠水塗在其中一根晶棒的端面上,在2分鐘 3分鐘之間將 塗了膠水的晶棒迅速的平行橫放在平臺上,然後將另外一根晶棒也平行橫放到平臺上,兩 個晶棒處理過的端面相對,將兩根晶棒對接,中間的縫隙為Imm 1. 5mm ;d、粘接後的處理,在粘接後3分鐘 5分鐘之間將粘在晶棒上的美紋膠帶揭下來, 然後用美工刀片將拼接縫處的膠清理乾淨,再用酒精將晶棒表面的殘膠擦拭乾淨,最後將 粘好的晶棒靜放20分鐘;e、重複第三步和第四步,直到將搭配好的短棒都粘接完畢。使晶棒端面潔淨無雜物的方法為先用超聲清洗機將需要粘接的晶棒超聲清洗 10分鐘,再用酒精將要粘接的端面擦拭乾淨並晾乾。所述的晶棒或為圓棒,或為方棒,或為線開方棒。本發明中所用美紋膠帶的作用為用美紋膠帶將兩根晶棒需粘接的端面邊緣包 起後,當晶棒對接時,流出來的膠水就不會流到晶棒上,而是有大部分膠水流到了美紋膠帶 上,這樣,當將美紋膠帶揭下來時,就帶走了大部分的殘膠,從而使後續的處理殘膠的工作 變得簡單了。本發明的第三步中,將兩根晶棒對接時,可使用專用的拼接夾具,此拼接夾具包括 擋板、夾具體和螺栓,夾具體為L型,夾具體的中間部分開有長條形的通孔,兩塊擋板設置 在夾具體的兩端,擋板為方形的板狀物,擋板中間部分開有螺紋孔,螺栓套裝在擋板的螺紋 孔內。待將膠水塗在其中一根晶棒的端面上後,在2分鐘 3分鐘之間將塗了膠水的晶 棒迅速的平行橫放在拼接夾具上,然後將另外一根晶棒也平行橫放到拼接夾具上,兩個晶 棒處理過的端面相對,且兩端面都位於夾具體中間的長條形通孔上方,擰動兩端擋板上的螺栓,使兩根晶棒在螺栓的推力作用下靠近且擠緊,中間的縫隙為Imm 1.5mm,由於擠緊 而溢流出來的膠水會從夾具體中間的長條形通孔中流出,這也使後續處理殘膠的工作更加簡單。
權利要求
一種晶棒拼接縫粘接方法,其特徵在於,按照以下順序操作a、配棒,將至少兩根較短的晶棒搭配,搭配後的長度滿足切片機加工所需長度;b、預處理選好的晶棒,對上述晶棒需粘接的端面進行處理,使端面相對於中心線的垂直度≤1.5mm,且端面潔淨無雜質;c、粘接晶棒,將要拼接的兩根晶棒放置在平臺上,處理好的端面朝上,用美紋膠帶將兩根晶棒的上部邊緣包起,將膠水塗在其中一根晶棒的端面上,在2分鐘~3分鐘之間將塗了膠水的晶棒迅速的平行橫放在平臺上,然後將另外一根晶棒也平行橫放到平臺上,兩個晶棒處理過的端面相對,將兩根晶棒對接,中間的縫隙為1mm~1.5mm;d、粘接後的處理,在粘接後3分鐘~5分鐘之間將粘在晶棒上的美紋膠帶揭下來,然後用美工刀片將拼接縫處的膠清理乾淨,再用酒精將晶棒表面的殘膠擦拭乾淨,最後將粘好的晶棒靜放20分鐘;e、重複第三步和第四步,直到將搭配好的短棒都粘接完畢。
2.根據權利要求1所述的一種晶棒拼接縫粘接方法,其特徵在於使晶棒端面潔淨無 雜物的方法為先用超聲清洗機將需要粘接的晶棒超聲清洗10分鐘,再用酒精將要粘接的 端面擦拭乾淨並晾乾。
3.根據權利要求1所述的一種晶棒拼接縫粘接方法,其特徵在於所述的晶棒或為圓 棒,或為方棒,或為線開方棒。
全文摘要
本發明一種晶棒拼接縫粘接方法,屬於晶棒粘接技術領域。所要解決的問題是,提供了一種能夠有效降低斷線率的晶棒拼接縫粘接方法。採用的技術方案是按照以下順序操作a、配棒,將至少兩根較短的晶棒搭配為滿足切片機加工要求的長度;b、預處理選好的晶棒,使晶棒端面垂直度≤1.5mm,且端面潔淨無雜質;c、粘接晶棒,在其中一根晶棒的端面上塗上膠水,將兩根晶棒對接;d、粘接後的處理,將晶棒表面的殘膠處理乾淨,再將粘好的晶棒靜放20分鐘;e、重複第三步和第四步,將搭配好的短棒都粘接完。本發明可有效降低斷線率,減少晶棒的報廢率,在很大程度上提高了成品率,從而降低了生產成本,本發明可推廣應用到晶棒切片前的晶棒粘接中。
文檔編號C30B33/06GK101914813SQ20101027396
公開日2010年12月15日 申請日期2010年9月4日 優先權日2010年9月4日
發明者侯惠峰, 姚錦嶸, 宋克群, 秦海濱, 解士超 申請人:山西天能科技有限公司