一種多端進排氣可控型擴散爐管的製作方法

2023-08-10 22:06:16

專利名稱：一種多端進排氣可控型擴散爐管的製作方法
技術領域：
本實用新型屬於石油化工技術領域，涉及一種通過高溫擴散摻雜技術形成晶體矽太陽能電池PN結的管式生產裝置，具體地說，涉及一種多端進排氣可控型擴散爐管。
背景技術：
目前，公知的擴散爐管在爐管尾部設置有一個進氣端和一個出氣端。工作氣體通過進氣端從爐管尾部直接通入爐管；出氣端處插入長導管至爐管頭部，起到把廢氣從爐管頭部導出的作用。所要擴散摻雜的晶體矽片密集排列放置於爐管內，以便工作氣體由爐管尾部流動到頭部的過程中和晶體矽片進行反應。但是，在工作氣體從尾部到頭部的過程中， 由於和晶體矽片進行反應，濃度會不斷降低，組份比例會不斷變化，這樣就造成了爐管尾部和頭部的晶體矽片反應條件不一致，導致了擴散摻雜後的矽片品質存在差異。另外，由於晶體矽片在爐管內呈密集排列，並且排列間隙與氣體流動方向幾乎垂直，這就導致了工作氣體在晶體矽片間隙內流動、分散不均勻，使晶體矽片排列間隙深處沒有間隙邊緣部分擴散摻雜充分。再者，多種工作氣體在通入爐管前沒有進行混合，而是藉由進入爐管內進行混合，但擴散爐內溫度往往較高，化學反應比較劇烈，各種工作氣體容易在混合完全前發生不必要的化學反應，生成其他副產物，影響擴散效果。

實用新型內容本實用新型的目的是針對現有技術存在的不足，提供一種多端進排氣可控型擴散爐管，該多端進排氣可控型擴散爐管可以控制爐管內氣流情況，有效調控爐管內各處工作氣體的濃度，使工作氣體在晶體矽片的間隙內充分流動、分散，並在通入爐管前進行充分混口 ο本實用新型的技術方案如下在擴散爐管尾部設置多個進氣端，每個進氣端可以插入進氣導管，每個進氣導管都連有單獨控制氣體流量的電磁閥，進氣導管的進氣端設置有混氣腔室，進氣導管可以根據實際生產技術要求設定不同長度伸入到爐管的不同位置，當需要調整進氣導管的出氣端區域工作氣體濃度時，對控制此導管氣流量的電磁閥進行相應的調整；在擴散爐管尾部設置多個出氣端，每個出氣端可以插入出氣導管，每個出氣導管的出氣端都有單獨的閥門控制出氣流量，出氣導管可以根據實際生產技術要求設定不同長度伸入到爐管的不同位置， 當要對爐管內氣流流向進行調整時，對控制此導管氣流量的閥門進行相應調整。進氣導管組位於爐管內的上(下)側或左(右)側，出氣導管組位於爐管內的下(上)側或右(左側)，進氣導管組和出氣導管組始終處於相對側。本實用新型與現有技術相比其有益效果本實用新型多端進排氣可控型擴散爐管可以在工作氣體進入爐管前進行充分混合，調控擴散爐管內各處工作氣體的濃度和流向， 使氣流流動方向平行於晶體矽片間隙，充分流過晶體矽片間隙。以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細地說明。圖I是本實用新型的構造圖；圖2、圖3是本實用新型的內部構造圖；圖4是本實用新型的擴散爐管構造圖。
具體實施方式
參照

圖1-4，一種多端進排氣可控型擴散爐管，由擴散爐管、出氣導管、爐管蓋構成，所述擴散爐管I尾部設置有I個以上進氣端11和出氣端12，每個進氣端11、出氣端12 可插入長短不一的進氣導管、出氣導管，每個進氣導管的進氣端設有混氣腔室3，每個出氣導管的出氣端設有出氣調節閥4，前端出氣導管5、中端出氣導管6、尾端出氣導管7、前端進氣導管8、中端進氣導管9、尾端進氣導管10通過擴散爐管I尾部的出氣端12和進氣端11 組裝在一起，前端出氣導管5、中端出氣導管6、尾端出氣導管7的開端處是出氣調節閥4，前端進氣導管8、中端進氣導管9、尾端進氣導管10的開端處是混氣腔室3，爐管蓋2位於擴散爐管I的前端起到開閉爐管的作用。為確保氣流的充分流動、分散以及氣流的穩定和可控，所述出氣端12和進氣端11 分別位於爐管的相對側，中端出氣導管6、尾端出氣導管7對稱分布在前端出氣導管5兩側， 中端進氣導管9、尾端進氣導管10對稱分布在前端進氣導管8兩側。以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式
，本實用新型的保護範圍不限於此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型披露的技術範圍內，可顯而易見地得到的技術方案的簡單變化或等效替換均落入本實用新型的保護範圍內。
權利要求1.一種多端進排氣可控型擴散爐管，由擴散爐管、出氣導管、爐管蓋構成，其特徵在於， 所述擴散爐管(I)尾部設置有I個以上進氣端(11)和出氣端(12)，每個進氣端(11)、出氣端(12)可插入長短不一的進氣導管、出氣導管，每個進氣導管的進氣端設有混氣腔室(3)， 每個出氣導管的出氣端設有出氣調節閥(4)，前端出氣導管(5)、中端出氣導管(6)、尾端出氣導管(7)、前端進氣導管(8)、中端進氣導管(9)、尾端進氣導管(10)通過擴散爐管(I)尾部的出氣端(12)和進氣端(11)組裝在一起，前端出氣導管(5)、中端出氣導管￠)、尾端出氣導管(7)的開端處是出氣調節閥(4)，前端進氣導管(8)、中端進氣導管(9)、尾端進氣導管(10)的開端處是混氣腔室(3)，爐管蓋(2)位於擴散爐管(I)的前端。
2.根據權利要求I所述的多端進排氣可控型擴散爐管，其特徵在於，所述出氣端(12) 和進氣端(11)分別位於爐管的相對側，中端出氣導管(6)、尾端出氣導管(7)對稱分布在前端出氣導管(5)兩側，中端進氣導管(9)、尾端進氣導管(10)對稱分布在前端進氣導管(8) 兩側。
專利摘要本實用新型涉及一種多端進排氣可控型擴散爐管，在擴散爐管尾部設置多個進氣端和出氣端，每個進、出氣端插入長短不一的進、出氣導管，每個進氣導管的進氣端有混氣腔室，每個出氣導管的出氣端有出氣調節閥。工作氣體在進氣端的混氣腔室進氣充分混合後由進氣導管導入爐管相應部位，廢氣由相對側的出氣導管導出爐管，每根出氣導管的出氣端有出氣調節閥可以調節出氣流量，由此調控爐管內工作氣體的整體流動和局部濃度情況。本實用新型適用於石油化工技術領域。
文檔編號C30B31/16GK202347128SQ201120508638
公開日2012年7月25日 申請日期2011年12月9日 優先權日2011年12月9日
發明者周建成, 周曉鋒, 孔黎暉, 張小松 申請人:東南大學