一種新型矽片測試機的乘片臺盤的製作方法

2023-07-18 19:28:01

一種新型矽片測試機的乘片臺盤的製作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種新型矽片測試機的乘片臺盤，包括一螺紋圓盤，所述乘片臺盤還包括一環體、一支撐組件以及一氣缸；所述螺紋圓盤上均勻分布有至少3個孔洞，所述環體內側邊緣均勻開設有三個限位凹槽，所述支撐組件包括一圓形支撐板，所述圓形支撐板四周均勻分布有三個限位塊，所述限位塊恰能嵌設在所述限位凹槽中，所述限位塊上垂直設置有支撐柱，所述螺紋圓盤置於所述環體上，且三個支撐柱穿過所述3個孔洞；所述氣缸置於環體下方，且氣缸的活塞杆與所述圓形支撐板底部連接。本實用新型結構簡單，提高了矽片的測試效率，且降低了對矽片造成的損壞。
【專利說明】一種新型娃片測試機的乘片臺盤
【技術領域】
[0001]本實用新型涉半導體生產【技術領域】，特別涉及一種新型矽片測試機的乘片臺盤。【背景技術】
[0002]現有的矽片測試機的乘片臺盤是一個螺紋圓盤，該圓盤表面沒有突起部，這樣矽片在完成測試後需要用鑷子去夾取，在夾取的過程中比較困難，由於矽片比較薄，沒有夾取點的話，容易造成矽片的損壞。

【發明內容】

[0003]本實用新型要解決的技術問題，在於提供一種新型矽片測試機的乘片臺盤，其結構簡單，提高了矽片的測試效率，且降低了對矽片造成的損壞。
[0004]本實用新型是這樣實現的:一種新型矽片測試機的乘片臺盤，包括一螺紋圓盤，所述乘片臺盤還包括一環體、一支撐組件以及一氣缸；所述螺紋圓盤上均勻分布有至少3個孔洞，所述環體內側邊緣均勻開設有三個限位凹槽，所述支撐組件包括一圓形支撐板，所述圓形支撐板四周均勻分布有三個限位塊，所述限位塊恰能嵌設在所述限位凹槽中，所述限位塊上垂直設置有支撐柱，所述螺紋圓盤置於所述環體上，且三個支撐柱穿過所述3個孔洞；所述氣缸置於環體下方，且氣缸的活塞杆與所述圓形支撐板底部連接。
[0005]進一步地，所述螺紋圓盤上開設有三個螺紋孔，所述螺紋圓盤通過螺絲穿過螺紋孔與所述環體進行固定連接。
[0006]本實用新型的優點在於:在測試的時候將支撐組件的支撐柱縮回到螺紋圓盤底部後，對矽片進行測試。測試完畢後，通過氣缸將支撐組件頂起，這樣三個支撐柱會將矽片撐起，鑷子再進行夾取時就十分方便，且不會對矽片造成損害，提高了生產效率，降低了生產成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本實用新型的螺紋圓盤結構示意圖。
[0008]圖2是本實用新型的局部結構示意圖。
【具體實施方式】
[0009]請參閱圖1和圖2所示，一種新型矽片測試機的乘片臺盤，包括一螺紋圓盤1，所述乘片臺盤還包括一環體2、一支撐組件3以及一氣缸4 ;所述螺紋圓盤I上均勻分布有至少3個孔洞11，所述環體2內側邊緣均勻開設有三個限位凹槽21，所述支撐組件3包括一圓形支撐板31，所述圓形支撐板31四周均勻分布有三個限位塊32，所述限位塊32恰能嵌設在所述限位凹槽21中，所述限位塊32上垂直設置有支撐柱33，所述螺紋圓盤I置於所述環體2上，且三個支撐柱33穿過所述3個孔洞11 ;所述氣缸4置於環體2下方，且氣缸4的活塞杆與所述圓形支撐板31底部連接。[0010]其中，所述螺紋圓盤I上開設有三個螺紋孔12，所述螺紋圓盤I通過螺絲(未圖示)穿過螺紋孔12與所述環體2進行固定連接。這樣使得螺紋圓盤I能更牢固地置於環體2上。
[0011]總之，本實用新型在測試的時候將支撐組件的支撐柱縮回到螺紋圓盤底部後，對矽片進行測試。測試完畢後，通過氣缸將支撐組件頂起，這樣三個支撐柱會將矽片撐起，鑷子再進行夾取時就十分方便，且不會對矽片造成損害，提高了生產效率，降低了生產成本。
[0012]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，凡依本實用新型申請專利範圍所做的均等變化與修飾，皆應屬本實用新型的涵蓋範圍。
【權利要求】
1.一種新型矽片測試機的乘片臺盤，包括一螺紋圓盤，其特徵在於:所述乘片臺盤還包括一環體、一支撐組件以及一氣缸；所述螺紋圓盤上均勻分布有至少3個孔洞，所述環體內側邊緣均勻開設有三個限位凹槽，所述支撐組件包括一圓形支撐板，所述圓形支撐板四周均勻分布有三個限位塊，所述限位塊恰能嵌設在所述限位凹槽中，所述限位塊上垂直設置有支撐柱，所述螺紋圓盤置於所述環體上，且三個支撐柱穿過所述3個孔洞；所述氣缸置於環體下方，且氣缸的活塞杆與所述圓形支撐板底部連接。
2.根據權利要求1所述的一種新型矽片測試機的乘片臺盤，其特徵在於:所述螺紋圓盤上開設有三個螺紋孔，所述螺紋圓盤通過螺絲穿過螺紋孔與所述環體進行固定連接。
【文檔編號】H01L21/683GK203746813SQ201420103147
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年3月7日 優先權日:2014年3月7日
【發明者】黃賽琴, 陳輪興, 林勇 申請人:福建安特微電子有限公司