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一種矽片傳送機的取片和定位裝置的製作方法

2023-07-18 19:08:46 1

專利名稱:一種矽片傳送機的取片和定位裝置的製作方法
技術領域:
本實用新型涉矽片的製造設備,特別涉及一種矽片傳送機的取片和定位裝置。
背景技術:
矽片傳送機是矽片產品生產過程中的重要設備,其可將散亂的矽片準確定位,對於保護矽片在生產過程不受損壞、控制生產成本非常重要。現有的矽片傳送機主要分為兩類基於全視覺定位的傳送機和基於全機械定位的傳送機。基於全視覺定位的傳送機是利用計算機視覺定位技術實現取片和定位,其智能化程度高,在光線穩定、電磁幹擾小的環境中,性能非常穩定,但是存在成本太高、容易受光線和電磁幹擾影響的缺點。基於全機械定位的傳送機,由圓振、直振和平臺構成,工作時,矽片由圓振振動旋轉到直振上,再由直振振動到平臺上,雖然有效降低了成本,但是,矽片在振動轉移過程中容易造成磨損,成品率也隨之下降。如何研製一種成本較低,取片效率高,性能穩定,定位準確且可降低矽片磨損的新型結構的矽片傳送機取片和定位裝置,是本領域當前的極需改進的目標。

實用新型內容本實用新型的目的在於克服現有技術中存在的缺陷,提供一種新型結構的矽片傳送機的取片和定位裝置,所要解決的技術問題是使其成本較低,取片效率高,性能穩定,定位準確且可降低矽片磨損,從而更加適於實用。為實現上述目的,本實用新型的技術方案是設計一種矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,所述裝置包括基板、控制電路和受控於控制電路的載盤、光電傳感器、旋轉吸嘴、轉盤、翻轉吸嘴、曲線定位器,其中載盤可沿中心線滑動的固定在基板上;光電傳感器位於載盤的上方,所述光電傳感器的中心軸與載盤的中心線垂直相交;旋轉吸嘴可滑動的固定在載盤和轉盤的上方;轉盤、翻轉吸嘴和曲線定位器均固定在基板上,所述翻轉吸嘴的兩個翻轉位置分別與轉盤、曲線定位器相對應。作為優選的技術方案,所述的載盤可沿中心線滑動的固定在基板上是指載盤與載盤軸可滑動連接,載盤軸與基板固定連接、並與控制電路電連接。作為優選的技術方案,所述光電傳感器控制電路電連接、並與連接板固定連接,連接板固定在基板上的光電傳感器的立柱固定連接。作為優選的技術方案,所述的旋轉吸嘴通過聯軸器與旋轉電機連接,所述旋轉電機可滑動的固定在旋轉電機軸上,所述旋轉電機軸位於載盤的上方、並與載盤的中心線垂直,所述旋轉電機軸的兩端分別與兩個固定在基板上的軸立柱固定連接,所述旋轉電機、旋轉電機軸均與控制電路電連接。作為優選的技術方案,所述的轉盤通過聯軸器與轉盤電機連接,所述轉盤電機與基板固定連接、並與控制電路電連接。作為優選的技術方案,所述的翻轉吸嘴通過聯軸器與翻轉電機連接,所述翻轉電機與基板固定連接、並與控制電路電連接。[0010]作為優選的技術方案,所述的曲線定位器通過聯軸器與定位電機連接,所述定位電機與基板固定連接、並與控制電路電連接。作為優選的技術方案,所述的曲線定位器包括與定位電機連接的曲線連接件,以及與曲線連接件固定連接的定位爪,在所述定位爪的前端設有直角定位部。進一步優選的技術方案,所述的固定連接為螺紋接。作為優選的技術方案,在所述轉盤上設有多個U型槽。本實用新型的優點和有益效果在於1、本實用新型矽片傳送機的取片和定位裝置,採用光電傳感器自動識別,再由旋轉吸嘴吸取矽片並將其放到轉盤的U型槽中,有效解決了全機械定位傳送機矽片磨損嚴重的問題,有效地保護了矽片,大大提高了成品率。2、本實用新型矽片傳送機的取片和定位裝置,採用電機帶動定位器曲線運動並進行精確定位,有效解決了全視覺定位傳送機成本高、環境要求嚴格的問題。3、本實用新型矽片傳送機的取片和定位裝置,僅是對現有技術略作改進,即可達到上述實用功效,確實具有產業上的利用價值,適於廣泛推廣使用。綜上所述,本實用新型矽片傳送機的取片和定位裝置,成本較低,取片效率高,性能穩定,定位準確且可降低矽片磨損。本實用新型具有上述諸多優點及實用價值,其不論在裝置結構或功能上皆有較大的改進,在技術上有顯著的進步,並產生了好用及實用的效果, 且較現有的矽片傳送機具有突出的功效,從而更加適於實用。

圖1是本實用新型矽片傳送機的取片和定位裝置的組合結構示意圖。圖2是本實用新型矽片傳送機的取片和定位裝置曲線定位器的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例,對本實用新型的具體實施方式
作進一步描述。以下實施例僅用於更加清楚地說明本實用新型的技術方案,而不能以此來限制本實用新型的保護範圍。如圖1所示,本實用新型較佳的實施方案是,一種矽片傳送機的取片和定位裝置, 主要由控制電路、基板1、載盤2、光電傳感器3、旋轉吸嘴4、轉盤5、翻轉吸嘴6和曲線定位器7組成,載盤2、光電傳感器3、旋轉吸嘴4、轉盤5、翻轉吸嘴6和曲線定位器7均受控於控制電路。其中,載盤2可沿中心線滑動的固定在基板1上,待取矽片散放在載盤2上。可如圖所示,在基板1上固定連接載盤軸21,載盤2與該載盤軸21可滑動連接,控制電路通過與載盤軸21的電連接控制裁盤2的滑動。光電傳感器3位於載盤2的上方並直接與控制電路連接,且光電傳感器3的中心軸與載盤2的中心線垂直相交。隨著載盤2的滑動,光電傳感器3可識別載盤2上所有矽片的位置和角度,並將光電信息傳送到控制電路,由控制電路進行採集和分析。光電傳感器 3的具體固定方式可以圖1所示結構實現,將光電傳感器3與連接板31固定連接,連接板 31與固定在基板1上的光電傳感器的立柱32固定連接。[0025]旋轉吸嘴4通過聯軸器與旋轉電機41連接,旋轉電機41可滑動的固定在旋轉電機軸42上,旋轉電機軸42位於載盤2的上方、與載盤2的中心線垂直,旋轉電機軸42的兩端分別與固定在基板上的兩根軸立柱43、44固定連接,本實用新型也可採用其他具體結構實現旋轉吸嘴4可滑動的固定在載盤2和轉盤5上方。旋轉電機41和旋轉電機軸42均與控制電路電連接。工作中,旋轉電機軸42根據控制電路的指示,將旋轉吸嘴4帶動至載盤 2的上方,取得相應矽片,並根據角度參數將矽片旋轉至水平方向,最後在旋轉電機軸42的帶動下將矽片釋放到轉盤5上。轉盤5通過聯軸器與轉盤電機51連接,其上設有多個U型槽,用於盛放旋轉吸嘴 4釋放的矽片並將矽片旋轉傳送至翻轉吸嘴6下方。翻轉吸嘴6通過聯軸器與翻轉電機61連接,如圖2所示,翻轉電機61帶動翻轉吸嘴6翻轉18°度,兩個翻轉位置分別與轉盤5和曲線定位器7相對應,將自轉盤5上吸取的矽片9'翻轉至靠近曲線定位器一側。曲線定位器7包括曲線連接件72和定位爪73,曲線連接件72通過聯軸器與定位電機71連接,定位爪73與曲線連接件72固定連接,定位爪73的前端設有直角定位部74。 在定位電機71的帶動下,直角定位部74靠近並相應移動翻轉吸嘴6上的矽片9,從而實現矽片9的精確定位,以利於後續裝片設備的吸取。上述轉盤電機51、翻轉電機61和定位電機71分別與基板1固定連接,並與載盤軸 21、光電傳感器3、旋轉電機41、旋轉電機軸42共同接受控制電路的指令,以實現各部件的自動化統控制。為了便於組裝、更換、維護,上述的固定、固定連接均可採用螺紋接方式。以上所述僅是本實用新型的優選實施方式,應當指出,對於本技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本實用新型技術原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護範圍。
權利要求1.一種矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,所述裝置包括基板、控制電路和受控於控制電路的載盤、光電傳感器、旋轉吸嘴、轉盤、翻轉吸嘴、曲線定位器,其中載盤可沿中心線滑動的固定在基板上;光電傳感器位於載盤的上方,所述光電傳感器的中心軸與載盤的中心線垂直相交;旋轉吸嘴可滑動的固定在載盤和轉盤的上方;轉盤、翻轉吸嘴和曲線定位器均固定在基板上,所述翻轉吸嘴的兩個翻轉位置分別與轉盤、曲線定位器相對應。
2.如權利要求1所述的矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,所述的載盤可沿中心線滑動的固定在基板上是指載盤與載盤軸可滑動連接,載盤軸與基板固定連接、並與控制電路電連接。
3.如權利要求1所述的矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,所述光電傳感器控制電路電連接、並與連接板固定連接,連接板固定在基板上的光電傳感器的立柱固定連接。
4.如權利要求1所述的矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,所述的旋轉吸嘴通過聯軸器與旋轉電機連接,所述旋轉電機可滑動的固定在旋轉電機軸上,所述旋轉電機軸位於載盤的上方、並與載盤的中心線垂直,所述旋轉電機軸的兩端分別與兩個固定在基板上的軸立柱固定連接,所述旋轉電機、旋轉電機軸均與控制電路電連接。
5.如權利要求1所述的矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,所述的轉盤通過聯軸器與轉盤電機連接,所述轉盤電機與基板固定連接、並與控制電路電連接。
6.如權利要求1所述的矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,所述的翻轉吸嘴通過聯軸器與翻轉電機連接,所述翻轉電機與基板固定連接、並與控制電路電連接。
7.如權利要求1所述的矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,所述的曲線定位器通過聯軸器與定位電機連接,所述定位電機與基板固定連接、並與控制電路電連接。
8.如權利要求7所述的矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,所述的曲線定位器包括與定位電機連接的曲線連接件,以及與曲線連接件固定連接的定位爪,在所述定位爪的前端設有直角定位部。
9.如權利要求2-8中任一權利要求所述的矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,所述的固定連接為螺紋接。
10.如權利要求1所述的矽片傳送機的取片和定位裝置,其特徵在於,在所述轉盤上設有多個U型槽。
專利摘要本實用新型公開了一種矽片傳送機的取片和定位裝置,該裝置包括基板、控制電路和受控於控制電路的載盤、光電傳感器、旋轉吸嘴、轉盤、翻轉吸嘴、曲線定位器,其中載盤可沿中心線滑動的固定在基板上;光電傳感器位於載盤的上方,光電傳感器的中心軸與載盤的中心線垂直相交;旋轉吸嘴可滑動的固定在載盤和轉盤的上方;轉盤、翻轉吸嘴和曲線定位器均固定在基板上,翻轉吸嘴的兩個翻轉位置分別與轉盤、曲線定位器相對應。該矽片傳送機的取片和定位裝置具有成本較低,取片效率高,性能穩定,定位準確且可降低矽片磨損諸多優點及實用價值,其不論在裝置結構或功能上皆有較大的改進,在技術上有顯著的進步,並產生了好用及實用的效果。
文檔編號H01L21/68GK202189770SQ20112026316
公開日2012年4月11日 申請日期2011年7月22日 優先權日2011年7月22日
發明者李向清, 沈彪, 胡德良 申請人:江陰市愛多光伏科技有限公司

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