一種用於曝光裝置的裝載柔性線路板的載具的製作方法

2023-07-05 16:20:26

本實用新型涉及柔性線路板製造領域，具體涉及一種用於曝光裝置的裝載柔性線路板的載具。

背景技術：

柔性線路板由於其柔性結構，在電子產品中裝配的靈活性更加地大而受到廣泛的應用，柔性線路板在製作過程中需要經過曝光步驟，現有的柔性線路板在曝光時需要抽真空，但是現有的柔性線路板的載具有時密封性不好，且漏氣時難以及時發現。

技術實現要素：

實用新型目的：本實用新型旨在克服現有技術的缺陷，提供一種用於曝光裝置的裝載柔性線路板的載具。

技術方案：一種裝載柔性線路板的載具，包括透明的上玻璃板和透明的下玻璃板，所述上玻璃板下表面具有第一凹槽，下玻璃板上表面具有第二凹槽，所述第一、二凹槽之間形成密封的腔室，所述上玻璃板下表面具有一圈凸起，所述下玻璃板上表面具有與所述一圈凸起嚙合的一圈凹槽，所述下玻璃板內還具有抽真空通道，所述抽真空通道的一端位於第二凹槽的底面，另一端位於下玻璃板的側面，所述抽真空通道的另一端上連接有管路，所述管路上具有閥門，所述抽真空通道內還具有氣壓傳感器。

進一步地，所述下玻璃板的上表面具有4個定位柱。

進一步地，所述一圈凹槽內具有墊片。

進一步地，所述上、下玻璃板均為矩形的玻璃板。

進一步地，所述載具還包括夾持部，所述夾持部包括上臂和下臂，所述上臂的一端和下臂的一端鉸接，所述上臂的另一端抵接上玻璃板的上表面，所述下臂的另一端抵接下玻璃板的下表面，所述上臂和下臂之間還具有拉伸彈簧。

進一步地，所述載具還包括控制器和報警裝置，所述氣壓傳感器和報警裝置與控制器相連。

進一步地，所述夾持部大於等於2個。

有益效果：本實用新型在載具使用方便，密封性好，且一旦漏氣能夠及時發現。

附圖說明

圖1為上玻璃板、下玻璃板截面示意圖；

圖2為上玻璃板仰視圖；

圖3為下玻璃板俯視圖；

圖4為上、下玻璃板配合示意圖。

具體實施方式

附圖標記：1上玻璃板；1.1一圈凸起；1.6第一凹槽；2下玻璃板；2.1一圈凹槽；2.2墊片；2.3定位柱；2.4抽真空通道；2.5氣壓傳感器；2.6第二凹槽；3夾持部；3.1上臂；3.2下臂；3.3鉸接部；3.4拉伸彈簧。

一種裝載柔性線路板的載具，包括透明的上玻璃板1和透明的下玻璃板2，所述上玻璃板1下表面具有第一凹槽1.6，下玻璃板2上表面具有第二凹槽2.6，所述第一、二凹槽之間形成密封的腔室，所述上玻璃板下表面具有一圈凸起1.1，所述下玻璃板上表面具有與所述一圈凸起1.1嚙合的一圈凹槽2.1，所述下玻璃板內還具有抽真空通道2.4，所述抽真空通道2.4的一端位於第二凹槽的底面，另一端位於下玻璃板的側面，所述抽真空通道的另一端上連接有管路，所述管路上具有閥門，所述抽真空通道內還具有氣壓傳感器2.5。所述下玻璃板的上表面具有4個定位柱2.3。所述一圈凹槽內具有墊片2.2。所述上、下玻璃板均為矩形的玻璃板。所述載具還包括夾持部3，所述夾持部包括上臂3.1和下臂3.2，所述上臂3.1的一端和下臂3.2的一端鉸接，所述上臂3.1的另一端抵接上玻璃板的上表面，所述下臂3.2的另一端抵接下玻璃板的下表面，所述上臂和下臂之間還具有拉伸彈簧3.4。所述載具還包括控制器和報警裝置，所述氣壓傳感器和報警裝置與控制器相連。所述夾持部大於等於2個。

使用時，在腔室內依次放上底面菲林、柔性線路板、頂面菲林，底面菲林固定安裝在所述定位柱上，之後將上、下玻璃板閉合，利用真空泵對所述腔室抽真空，之後關閉閥門。利用夾持部將上、下玻璃板進行夾持。再將載具放置在曝光裝置內進行曝光。曝光裝置可以設置上、下兩層的曝光光源，對柔性線路板的兩面同時進行曝光。當氣壓傳感器的測量值超出設定閾值時，控制器控制報警裝置報警。

儘管本實用新型就優選實施方式進行了示意和描述，但本領域的技術人員應當理解，只要不超出本實用新型的權利要求所限定的範圍，可以對本實用新型進行各種變化和修改。