一種晶片吹砂傳送裝置製造方法
2023-07-06 06:51:21 3
一種晶片吹砂傳送裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶片吹砂傳送裝置，包括有吹砂機、機架、傳送帶、凹型圓孔、一組噴槍等，其特徵在於：在所述傳送帶上設置兩排以上凹型圓孔，並在其上方設置所述一組噴槍的擺動機構。本實用新型的有益效果是：通過對擺動機構的改進，一組噴槍的擺程可依據生產需要進行自由調節，滿足晶片多排孔生產的需要；改變了砂管的角度，有利於提高金剛砂利用率，提高循環速度，結構簡單實用；提高了生產效率。
【專利說明】一種晶片吹砂傳送裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及的是電子元器件【技術領域】，尤其是一種晶片吹砂傳送裝置的改進。
【背景技術】
[0002]半導體矽片生產製造前期，晶圓片均需要減薄以達到需要的厚度，目前多數減薄方式為採用吹砂機吹砂減薄，屬於物理方法的減薄。即通過向晶片表面均勻噴射高速的細小顆粒的金剛砂，通過高速的碰撞達到減薄的目的，傳送皮帶上放置研磨晶片的開孔按「S」型分布，呈2排傳送，效率低下，制約了產量的提高。在保證生產質量的條件下，加寬傳送帶，增加傳送帶放置研磨晶片排數，單位時間的工作效率得到了提高。但是，只改變傳送皮帶的寬度，在現有噴砂方式和擺程條件下，邊緣晶片不能有效減薄，且存在厚度偏差。這是現有技術的不足之處。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的在於，克服現有技術的不足，提供了一種結構簡單、擺幅控制裝置根據皮帶的寬度可調、保證產品質量、效率高的一種晶片吹砂傳送裝置。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案為:一種晶片吹砂裝置，包括有吹砂機、機架、傳送帶、凹型圓孔、一組噴槍等，其特徵在於:在所述傳送帶上設置兩排以上凹型圓孔，並在其上方設置所述一組噴槍的擺動機構。通過對擺動機構的改進，使用連動盤和三角連杆的設計，可對連動拉杆1、連動拉杆II，根據生產需要進行自由調節，滿足晶片多排孔生產的需要。
[0005]本實用新型的進一步改進有，所述一組噴槍與擺杆固連，所述擺杆與軸承內徑固連，軸承座與所述機架固連。使一組噴槍做等距扇形往復運動，完成均勻吹砂的目的。
[0006]本實用新型的進一步改進還有，所述一組噴槍的每個噴槍上的砂管與壓縮空氣管路中心線之間的夾角設置為45°。連動裝置改造為外部連動後，機艙內空間結構變化，使噴槍砂管的空間改造為傾斜結構，克服原來L型砂管帶來的不便，有利於提高金剛砂利用率，提聞循環速度。
[0007]本實用新型的進一步改進還有，所述擺動機構是由固定在所述機架上的擺幅連動電機、依次連接的連動盤、三角連杆、連動軸承、連動拉杆1、連動拉杆I1、擺杆組成，所述的連動拉杆I與所述連動拉杆II鉸接，所述連動拉杆II的另一端通過連動軸承、三角連杆與所述連動盤鉸接。
[0008]本實用新型的進一步改進還有，所述三角連杆形狀為鈍角等腰三角形，並在其兩個頂角設置銷軸1、銷軸II，所述連動軸承與所述連動拉杆II鉸接，所述銷軸II置於所述連動盤的扇形環形槽內。用於調節連動拉杆I的動作幅度，與擺杆連動。目的是銷軸II在扇形環形槽內調整位置，以調節擺杆的擺程。
[0009]本實用新型的進一步改進還有，所述銷軸II設置在所述連動盤偏心的位置。[0010]說明書中沒有描述的結構屬於現有技術。
[0011]本方案的有益效果可根據對上述方案的敘述得知，一種晶片吹砂裝置，包括有吹砂機、機架、傳送帶、凹型圓孔、一組噴槍等，其特徵在於:在所述傳送帶上設置兩排以上凹型圓孔，並在其上方設置所述一組噴槍的擺動機構。本實用新型的有益效果是:通過對擺動機構的改進，一組噴槍的擺程可依據生產需要進行自由調節，滿足晶片多排孔生產的需要；改變了砂管的角度，有利於提聞金剛砂利用率，提聞循環速度；結構簡單實用，提聞了生廣效率。
[0012]工作原理:擺動機構3主要是動力擺幅連動電機10提供電源源動力，通過連動輪盤11、可調三角杆14以及連動杆119、連動杆18，帶動擺杆2轉動，從而使一組噴槍4做等距扇形往復運動，完成均勻吹砂的目的；三角杆14右側底角銷軸1115在連動盤11扇形溝槽內可自由調節，以完成改變擺軸2擺程的調節。傳送帶下面設置的真空吸盤要依據傳送帶寬度的尺寸進行設置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的主視結構示意圖，圖2為本實用新型的右視結構示意圖，圖3是圖2的俯視圖，圖4為傳送帶凹型圓孔分布圖，圖5為噴槍結構圖，圖6是原來的擺動機構。圖中:1是機架，2是擺杆，3是擺動機構，4是噴槍，5是傳送帶，6是真空吸槽，7是軸承座，8是連動拉杆I，9是連動拉杆II，10是擺幅連動電機，11是連動盤，12是銷軸I，13是連動軸承，14是三角連杆，15是銷軸II，16是凹型圓孔，17是砂管，18是壓縮空氣管路，19是軸承。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明。
[0015]通過附圖可以看出，一種晶片吹砂裝置，包括有吹砂機、機架、傳送帶、凹型圓孔、一組噴槍等，在傳送帶上設置兩排以上凹型圓孔16，並在其上方設置一組噴槍的擺動機構。一組噴槍與擺杆2固連,擺杆2與軸承19固連，軸承座7與機架I固連。並把每個噴槍4上砂管17與壓縮空氣管路18中心線之間的夾角設置為45°。擺動機構是由固定在機架I上的擺幅連動電機10、依次連接的連動盤11、三角連杆14、連動軸承13、連動拉杆I 8、連動拉杆II 9、擺杆2組成，連動拉杆I 8與連動拉杆II 9鉸接，連動拉杆II 9的另一端通過連動軸承13、三角連杆14與連動盤11鉸接。三角連杆14形狀為鈍角等腰三角形，並在其兩個頂角設置銷軸I 12、銷軸II 15，連動軸承13與連動拉杆II 9鉸接，銷軸II 15置於連動盤11的扇形環形槽內。銷軸II 15設置在連動盤11偏心的位置。本實施例的晶片傳送帶5做加寬處理，達到30cm，滿足3排孔寬度要求，提高生產效率30%。
[0016]當然，上述說明並非對本實用新型的限制，本實用新型也不僅限於上述舉例，本【技術領域】的普通技術人員在本實用新型的實質範圍內所做出的變化、改型、添加或替換，也屬於本實用新型的保護範圍。
【權利要求】
1.一種晶片吹砂傳送裝置，包括有吹砂機、機架、傳送帶、凹型圓孔、一組噴槍等，其特徵在於:在所述傳送帶上設置兩排以上凹型圓孔，並在其上方設置所述一組噴槍的擺動機構。
2.根據權利要求1所述的一種晶片吹砂傳送裝置，其特徵在於:所述一組噴槍與擺杆固連，所述擺杆與軸承內徑固連，軸承座與所述機架固連。
3.根據權利要求1或2所述的一種晶片吹砂傳送裝置，其特徵在於:所述一組噴槍的每個噴槍上的砂管與壓縮空氣管路中心線之間的夾角設置為45°。
4.根據權利要求1所述的一種晶片吹砂傳送裝置，其特徵在於:所述擺動機構是由固定在所述機架上的擺幅連動電機、依次連接的連動盤、三角連杆、連動軸承、連動拉杆1、連動拉杆I1、擺杆組成，所述的連動拉杆I與所述連動拉杆II鉸接，所述連動拉杆II的另一端通過連動軸承、三角連杆與所述連動盤鉸接。
5.根據權利要求4所述的一種晶片吹砂傳送裝置，其特徵在於:所述三角連杆形狀為鈍角等腰三角形，並在其兩個頂角設置銷軸1、銷軸II，所述連動軸承與所述連動拉杆II鉸接，所述銷軸II置於所述連動盤的扇形環形槽內。
6.根據權利要求5所述的一種晶片吹砂傳送裝置，其特徵在於:所述銷軸II設置在所述連動盤偏心的位置。
【文檔編號】H01L21/677GK203536395SQ201320683135
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年11月1日 優先權日:2013年11月1日
【發明者】郭城, 呂明, 紀大鵬, 趙海玲, 徐明星, 郭英雲 申請人:山東科芯電子有限公司