三氯氫矽尾氣吸收塔的製作方法
2023-07-15 15:05:11 1
專利名稱：三氯氫矽尾氣吸收塔的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種三氯氫矽尾氣吸收塔。
背景技術：
在高純三氯氫矽生產工藝中需要處理大量的不再回收的尾氣，但是，這些大排量 的尾氣處理(5000立方米/h)，如罐區進料、分析室通風櫃的排風、灌裝間的鋼瓶餘氣的處 理等，現有技術設備處理結果尚不能盡如人意，有時尾氣的處理未能達標即排放到了室外， 汙染了環境。
發明內容針對現有技術中存在的問題，本專利設計一種全新的設備，本發明採用如下技術
方案一種三氯氫矽尾氣吸收塔，其特徵在於它包括粗洗滌間、噴淋洗滌間、精洗滌間、 離心式脫水裝置和防腐離心風機，所述粗洗滌間、噴淋洗滌間、精洗滌間依此相通，所述離 心式脫水裝置安裝於精洗滌間上部，所述精洗滌間通過管道與所述防腐離心風機相連。上述的三氯氫矽尾氣吸收塔，其進一步特徵在於所述粗洗滌間是廢氣和水旋流混合洗滌室；所述噴淋洗滌間是兩級逆向噴淋洗滌 室；所述精洗滌間是設置有填料層的處理室。本發明創造的有益效果本裝置適用於大排量的尾氣處理，方便可靠，效果顯著， 適合流水作業，且成本低廉。
圖1為本發明實施例的三氯氫矽尾氣吸收塔的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖，通過具體實施例對本發明技術方案做進一步的說明。本裝置用於高純三氯氫矽生產工藝中不再回收的尾氣的處理。它適用於大排量的 尾氣處理(5000立方米/h)，如罐區進料、分析室通風櫃的排風、灌裝間的鋼瓶餘氣的處理 等。引入本裝置的尾氣通過廢氣進氣口經氣水旋流混合後處理了大部分尾氣，生成的二氧 化矽隨著水流排到水池，隨後尾氣又經過兩級逆向噴淋和填料層的處理，再經離心式氣水 分離器將氣、水分離後，排放達標的氣體由離心式風機排至室外。循環的噴淋水池上面浮有 白色的二氧化矽可收集後集中處理，逐漸呈酸性的噴淋水，可定期送到中和池內加鹼中和， 到符合排放標準，再經壓濾後排放。本實施例的三氯氫矽尾氣吸收塔，如圖1所示，它包括第一級廢氣和水旋流混合 洗滌-粗洗滌間01，第二級噴淋洗滌間02，第三級噴淋洗滌間03，噴淋填料洗滌-精洗滌間 04，精洗滌間04上部設有離心式脫水裝置05，外部通過管道與防腐離心風機06相連。
3[0012] 雖然本發明已以較佳實施例公開如上，但它們並不是用來限定本發明，任何熟悉 此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，自當可作各種變化或潤飾，但同樣在本發明的 保護範圍之內。因此本發明的保護範圍應當以本申請的權利要求保護範圍所界定的為準。
權利要求一種三氯氫矽尾氣吸收塔，其特徵在於它包括粗洗滌間、噴淋洗滌間、精洗滌間、離心式脫水裝置和防腐離心風機，所述粗洗滌間、噴淋洗滌間、精洗滌間依此相通，所述離心式脫水裝置安裝於精洗滌間上部，所述精洗滌間通過管道與所述防腐離心風機相連。
2.根據權利要求1所述的三氯氫矽尾氣吸收塔，其特徵在於所述粗洗滌間是廢氣和水旋流混合洗滌室；所述噴淋洗滌間是兩級逆向噴淋洗滌室； 所述精洗滌間是設置有填料層的處理室。
專利摘要本實用新型公開了一種三氯氫矽尾氣吸收塔，它包括第一級廢氣和水旋流混合洗滌-粗洗滌間01，第二級噴淋洗滌間02，第三級噴淋洗滌間03，噴淋填料洗滌-精洗滌間04，精洗滌間04內部設有離心式脫水裝置05，外部通過管道與防腐離心風機06相連。三氯氫矽尾氣經過進氣口與水旋流混合後處理了大部分尾氣，隨後尾氣又經過兩級逆向噴淋和填料層的處理，再經離心式氣水分離器將氣、水分離後，排放達標的氣體由離心式風機排至室外。本實用新型裝置適用於大排量的尾氣處理，方便可靠，效果顯著，適合流水作業，且成本低廉。
文檔編號B01D53/18GK201692753SQ20102022317
公開日2011年1月5日 申請日期2010年6月10日 優先權日2010年6月10日
發明者馮先達, 夏建保, 黃和明 申請人:南京中鍺科技股份有限公司