切割液回收利用的方法
2023-07-28 19:14:31 2
切割液回收利用的方法
【專利摘要】本發明涉及一種切割液回收利用的方法，屬於藍寶石加工【技術領域】，?本發明切割液回收利用的方法採用的技術方案為：將需回收的切割液送到回收缸內，加入廢液體積15~20%的水；加入活性劑攪拌，攪拌電機轉速為30rpm，對混合液進行加熱，加熱溫度控制為65℃，時間為2小時；將混合液冷卻沉澱，沉澱6小時後，提取清液；在提取的清液中加入為所述清液重量0.5%~1%的原切割液。本發明切割液回收利用的方法，製得的切割液可按原切割工藝使用，使用壽命與原液壽命相同，本發明切割液回收利用的方法，簡單便捷的將已經達到使用壽命的切割液再次回收利用，且保證回收液使用後晶片表面的品質，降低了藍寶石切割用切割液33%的成本。
【專利說明】切割液回收利用的方法
【技術領域】
[0001]本發明屬於藍寶石加工【技術領域】，尤其涉及一種藍寶石切片用切割液回收利用的方法。
【背景技術】
[0002]藍寶石是加工藍光二極體的重要材料，在半導體領域具有舉足輕重的地位。在形成用於製作藍寶石襯片之前，要對藍寶石進行切片，切割液主要作用為溶解切片時產生的藍寶石粉，同時潤滑金鋼線，降低鋼線溫度，從而保證切割後晶片表面的品質。切割液是藍寶石切割中的一個重要及高成本的輔料，合理的使用切割液將直接關係到切片後晶片的品質及成本。
【發明內容】
[0003]針對上述技術問題，本發明提供一種切割液回收利用的方法，解決現有切片用切割液成本高的問題。
[0004]為解決上述技術問題，本發明切割液回收利用的方法採用的技術方案為:
[0005](I)將需回收的切割液送到回收缸內，加入廢液體積15?20%的水；
[0006](2)加入活性劑攪拌,攪拌電機轉速為30rpm,對混合液進行加熱,加熱溫度控制為65°C，時間為2小時；
[0007](3)將混合液冷卻沉澱，沉澱6小時後，提取清液；
[0008](4)在提取的清液中加入為所述清液重量0.59Tl%的原切割液。
[0009]本發明切割液回收利用的方法，製得的切割液可按原切割工藝使用，使用壽命與原液壽命相同，本發明切割液回收利用的方法，簡單便捷的將已經達到使用壽命的切割液再次回收利用，且保證回收液使用後晶片表面的品質，降低了藍寶石切割用切割液33%的成本。
【具體實施方式】
[0010]以下結合具體實施例對本發明做出進一步說明。
[0011]本發明切割液回收利用的方法，主要步驟分為:回收存儲、加水稀釋、加入活性劑、攪拌、加熱、冷卻沉澱、提取並補液、切割。
[0012]在回收存儲部分步驟，其目的在於，將需回收的切割液全部抽打到回收缸內，回收缸為特製，可按要求加熱、攪拌、排液。 [0013]然後加水稀釋，其目的在於，降低回收液濃度，提高提純後的質量，一般加入廢液體積的15?20%即可。
[0014]再加入活性劑，其目的在於，增溶作用。表面活性劑在水溶液中形成膠束後具有使不溶於水的有機物的溶解度顯著增大的能力，且此時溶液呈透明狀，膠束的這種作用稱為增溶。能產生增溶作用的表面活性劑叫做增溶劑，被增溶的有機物稱為被增溶物。如果在已增溶的液體中繼續加入被增溶物，達到一定量後，溶液透明狀變為乳濁狀，這種乳液即為乳狀液，在此乳狀液中再加入表面活性劑，溶液又變得透明無色。雖然這種變化是連續的，但乳化和增溶本質上是不同的。增溶作用可使被增溶物的化學勢顯著降低，使體系變得更穩定，即增溶在熱力學上是穩定的，只要外界條件不變，體系不隨時間變化。而乳化在熱力學上是不穩定的。
[0015]進行攪拌，其目的在於，使得後續加入的水和活性劑能夠與回收液充分融合，保證回收效果。攪拌時攪拌葉片需特製且電機轉速不宜過高，一般為30rpm。
[0016]對混合液進行加熱，其目的在於，提高活性劑活力，促使回收液中的有效成分與雜質分離的更徹底，提高回收液品質，加熱溫度控制為65°C，時間為2小時。
[0017]將混合液冷卻沉澱，其目的在於，使回收液中雜質沉澱到回收缸底部，方便提取上層清液，提取清液在沉澱6小時後進行。
[0018]提取清液後，補充原切割液，其目的在於，提高回收後切割液的冷卻劑排洩能力。提取時必須使用潔淨容器提取沉澱後的上層清液，提取後需補充原切割液，一般為清液重量的 0.5°/ 。
[0019]作為優選，所述步驟均在不鏽鋼容器中進行，且使用前必須清潔乾淨，避免切割液
二次汙染。
[0020]該回收後切割液可按原切割工藝使用，使用壽命與原液壽命相同，必須注意，為保證切片後晶片的品質，切割液回收只可以回收利用一次，回收後切割液使用完後只能作為廢液處理，不建議再次回收。
[0021]本發明簡單實用，降低33%切割液成本。使用回收切割液，切割2寸晶片表面warp< 15um, ttv < 10,品質合格。
[0022]以上實施例的描述較為具體、詳細，但並不能因此而理解為對本專利範圍的限制，應當指出的是，對於本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬於本發明的保護範圍。
【權利要求】
1.一種切割液回收利用的方法，其特徵在於包括以下步驟: (1)將需回收的切割液送到回收缸內，加入廢液體積15?20%的水； (2)加入活性劑攪拌，攪拌電機轉速為30rpm,對混合液進行加熱，加熱溫度控制為65°C，時間為2小時； (3)將混合液冷卻沉澱，沉澱6小時後，提取清液； (4)在提取的清液中加入為所述清液重量0.59Tl%的原切割液。
2.根據權 利要求1所述切割液回收利用的方法，其特徵在於:所述步驟均在不鏽鋼容器中進行。
【文檔編號】C02F9/10GK103435210SQ201310304315
【公開日】2013年12月11日 申請日期:2013年7月19日 優先權日:2013年7月19日
【發明者】戴磊, 王祿堡 申請人:江蘇吉星新材料有限公司