基於導模法的多模具晶體生長裝置的製作方法
2023-07-05 00:54:21 4
專利名稱：基於導模法的多模具晶體生長裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及晶體生長領域，尤其涉及實現導模法多模具晶體生長的裝置。
背景技術：
人工晶體材料處於新材料科學發展的前沿，功能晶體材料貫穿高技術的許多領域，已經成為微電子、光學、雷射、遙感、通訊、航天、宇航等高科技發展的重要物質基礎。隨著現代科技的發展，現代工業對藍寶石窗口材料的需求量愈來愈大。一直以來藍寶石單晶窗口材料都是依賴傳統的加工工藝。傳統的加工工藝，是將藍寶石毛坯棒經滾圓、切割、研磨得到的，工序多、時間長、有效利用率低、加工材料浪費嚴重。而導模法具有一次成型、生長速度快、節省原料、減少加工工序的優點成為獲得藍寶石窗口材料一個非常有 優勢的方法。對於導模法生長晶體，模具數量愈多生長的晶片數量就愈多，因此單位時間內生長的晶體質量就越大，而且實現導模法的多模具同時生長還具有節能降耗的優點。
實用新型內容本實用新型目的就是為了彌補已有技術的缺陷，提供一種在單位時間內生長出多數量晶體的多模具晶體生長裝置。本實用新型是通過以下技術方案實現的—種基於導模法的多模具晶體生長裝置，包括有坩堝、若干個模具、保溫罩、籽晶杆和籽晶，所述的若干個模具成星形均勻排列在所述坩堝內，各模具之間的夾角大小為360度/模具數量，模具的中心位置在以坩堝中心為圓心的圓周上，所述的保溫罩罩在坩堝的上方，所述的保溫罩從上到下開有與所述的模具數量和形狀相匹配的貫通孔，在晶體提拉上引時，用於容納晶體，保溫罩外輪廓的中心與星形中心在同一中心線上，所述的籽晶杆上部連接一螺母，下部有數量與模具相同的凸出部分，每個凸出部分均安裝一個籽晶夾頭，每個籽晶夾頭安裝一個籽晶，所述的籽晶為直桶形，每個籽晶通過保溫罩上的貫通孔對準一個模具。所述的坩堝內放2到36個模具；所述的保溫罩還可以是圓柱形的，內部沿圓柱的軸方向開有圓柱形通孔，通孔與保溫罩外輪廓為同心圓柱體。本實用新型的優點是本實用新型使用了多個模具用與晶體的生長，可使在單位時間內生長的晶體數量多，質量大，具有節省原料、加工工序少的優點。
圖I為模具在坩堝內的放置位置示意圖。圖2為星形保溫罩截面圖。圖3為圓柱形保溫罩截面圖。圖4為籽晶杆和籽晶夾頭正視圖。[0014]圖5為籽晶杆和籽晶夾頭的俯視圖。
具體實施方式
一種基於導模法的多模具晶體生長裝置，包括有坩堝I、若干個模具2、保溫罩4、籽晶杆9和籽晶，所述的若干個模具2成星形均勻排列在所述坩堝I內，各模具2之間的夾角大小為360度/模具數量，模具2的中心位置在以坩堝I中心為圓心的圓周3上，所述的保溫罩4罩在坩堝I的上方，所述的保溫罩4從上到下開有與所述的模具2數量和形狀相匹配的貫通孔5，在晶體提拉上引時，用於容納晶體，保溫罩4外輪廓的中心與星形中心在同一中心線上，所述的籽晶杆9上部連接一螺母8，下部有數量與模具2相同的凸出部分，每個凸出部分均安裝一個籽晶夾頭10，每個籽晶夾頭10安裝一個籽晶，所述的籽晶為直桶形，每個籽晶通過保溫罩4上的貫通孔5對準一個模具2。所述的坩堝I內放2到36個模具2 ;所述的保溫罩4還可以是圓柱形保溫罩6，內部沿圓柱的軸方向開有圓柱形通孔7，通孔7與保溫罩6外輪廓為同心圓柱體。
權利要求1.一種基於導模法的多模具晶體生長裝置，其特徵在於包括有坩堝、若干個模具、保溫罩、籽晶杆和籽晶，所述的若干個模具成星形均勻排列在所述坩堝內，模具的中心位置在以坩堝中心為圓心的圓周上，所述的保溫罩罩在坩堝的上方，所述的保溫罩從上到下開有與所述的模具數量和形狀相匹配的貫通孔 ，保溫罩外輪廓的中心與星形中心在同一中心線上，所述的籽晶杆上部連接一螺母，下部有數量與模具相同的凸出部分，每個凸出部分均安裝一個籽晶夾頭，每個籽晶夾頭安裝一個籽晶，所述的籽晶為直桶形，每個籽晶通過保溫罩上的貫通孔對準一個模具。
2.根據權利要求I所述的基於導模法的多模具晶體生長裝置，其特徵在於所述的坩堝內放2到36個模具。
3.根據權利要求I所述的基於導模法的多模具晶體生長裝置，其特徵在於所述的保溫罩是圓柱形的，內部沿圓柱的軸方向開有圓柱形通孔，通孔與保溫罩外輪廓為同心圓柱體。
專利摘要本實用新型公開了一種基於導模法的多模具晶體生長裝置，包括有坩堝、若干個模具、保溫罩、籽晶杆和籽晶，所述的若干個模具成星形均勻排列在所述坩堝內，模具的中心位置在以坩堝中心為圓心的圓周上，所述的保溫罩罩在坩堝的上方，所述的保溫罩從上到下開有與所述的模具數量和形狀相匹配的貫通孔，所述的籽晶杆上部連接一螺母，下部有數量與模具相同的凸出部分，每個凸出部分均安裝一個籽晶夾頭，每個籽晶夾頭安裝一個籽晶，所述的籽晶為直桶形，每個籽晶對準一個模具。本實用新型使用了多個模具用與晶體的生長，可使在單位時間內生長的晶體數量多，質量大，具有節省原料、加工工序少的優點。
文檔編號C30B29/20GK202786498SQ20122022720
公開日2013年3月13日 申請日期2012年5月19日 優先權日2012年5月19日
發明者王楠, 趙青, 賈建國 申請人:鴻福晶體科技(安徽)有限公司