一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統的製作方法
2023-07-21 07:56:26
專利名稱：一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及藍寶石晶體生長爐的加工製造，尤其是一種藍寶石晶體生長爐上的隔熱屏系統。
背景技術：
目前的KY工藝藍寶石晶體生長爐隔熱屏系統多數由3部分組成，上隔熱屏，側隔熱屏和底部隔熱屏。而整個隔熱屏系統中，承受溫度最高，最易損壞的就是上隔熱屏，據大量數據統計，隔熱屏在整臺設備的總價中所佔的比例約為20%至30%，上隔熱屏的更換使得藍寶石晶體的加工成本急劇增加。同時，由於在晶體生長的過程中，原料的揮發，鎢鑰材料中大量的雜質揮發，使得頂部隔熱屏上有大量的雜質富集，這些雜質如果不及時清理，很容易掉進坩堝中，對晶體生長極為不利，為了避免這些問題的發生，每個生長周期結束時和下個生長周期開始時需要對設備進行維護，此時需要拆掉上爐蓋和上隔熱屏，由於鎢鑰材料的特性，經過1400度以上的高溫後，材料會發生二次結晶，鎢鑰材料的內部材料結構會發生變化，材料變的很脆，此時清理隔熱屏，很容易損壞這些鎢鑰材料，對生產成本的控制非常不利。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是提供一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統，維護簡單方便，耗材成本低。為解決上述技術問題，本發明的技術方案為一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統，包括主隔熱屏和附屬隔熱屏，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏為兩個獨立的部分，可獨立懸掛於上爐蓋上，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏均使用鎢鑰材料通過鑰杆連接成一個整體。上述一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統，其特徵在於，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏由不超過20層鎢鑰板材組成，板厚O. Imm至10mm，各層之間通過波浪板控制間距，最下面的若干層為鎢板，上面的若干層為鑰板。上述一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統，其特徵在於，所述鎢鑰材料純度為 99. 95%。本發明的優點在於主隔熱屏和附屬隔熱屏為兩個獨立的部分，可獨立懸掛於上爐蓋上，在每個周期對生長爐進行維護時，單獨拆除附屬隔熱屏，進行必要的清理即可，維護簡單方便。並且大大降低晶體生長爐的維護周期，減少熱場損耗，降低熱場的耗材成本。
下面結合附圖和具體實施方式
對本發明作進一步詳細的說明。圖I是藍寶石晶體生長爐整體示意圖。圖2是藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統與上爐蓋連接示意圖。
圖3是波浪板示意圖。
具體實施例方式圖I所示，藍寶石晶體生長爐包括上爐蓋1，上隔熱屏2，爐殼3，下爐蓋4，籽晶伺服機構，5，鎢坩堝6，下發熱體7，側發熱體8，側隔熱屏9和下隔熱屏10組成。圖2和圖3所示，上隔熱屏系統包括主隔熱屏11和附屬隔熱屏12，主隔熱屏11和附屬隔熱屏12由15層鎢鑰板材組成，最下面的3層至5層為鎢板14，上面的7層至15層為鑰板13，所有板厚均為O. Imm至10mm。主隔熱屏11和附屬隔熱屏12通過連接鑰杆16組成一個整體，兩部分隔熱屏通過連接鑰杆16和鑰螺母15固定於爐蓋I上，鎢板14、鑰板13、連接鑰杆16和鑰螺母15所用的鎢鑰材料純度均為99. 95%。主隔熱屏11和附屬隔熱屏12的板間距通過波浪板17來進行控制。在進行設備維護和清理時，卸下附屬隔熱屏12上面的鑰螺母15，然後
清理附屬隔熱屏12即可。
權利要求
1.一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統，其特徵在於，包括主隔熱屏和附屬隔熱屏，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏為兩個獨立的部分，可獨立懸掛於上爐蓋上，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏均使用鎢鑰材料通過鑰杆連接成一個整體。
2.根據權利要求I所述的一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統，其特徵在於，所述主隔熱屏和附屬隔熱屏由不超過20層鎢鑰板材組成，板厚O. Imm至10mm，各層之間通過波浪板控制間距，最下面的若干層為鎢板，上面的若干為鑰板。
3.根據權利要求2所述的一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統，其特徵在於，所述鎢鑰材料純度為99. 95%。
全文摘要
本發明公開了一種新型藍寶石晶體生長爐上隔熱屏系統，包括主隔熱屏和附屬隔熱屏，通過複合式結構，可以大大降低晶體生長爐的維護周期，減少熱場損耗，降低熱場的耗材成本。
文檔編號C30B29/20GK102978684SQ20121051648
公開日2013年3月20日 申請日期2012年12月4日 優先權日2012年12月4日
發明者滑喜寶 申請人:蘇州工業園區傑士通真空技術有限公司