一種超淨高純氨水的連續生產裝置的製作方法
2023-12-03 11:29:56 1
專利名稱：一種超淨高純氨水的連續生產裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及超高純試劑提純技術，具體涉及一種超淨高純氨水的連續生產裝置。
技術背景超淨高純試劑是電子領域微細加工製作中不可缺少的關鍵性基礎化工原料之一，主要用於晶片的清洗和蝕刻。超淨高純氨水呈鹼性，主要用於半導體行業紫外負性光刻膠的漂洗工藝，可與負膠顯影液配套使用。隨著電子領域技術的不斷發展，對電子化學品的純度要求也日益提高。目前普遍採用的超淨高純氨水生產裝置多為間歇式，產品質量監控繁瑣，生產效率和設備利用率較低，此外，生產流程中尾氣的吸收通常採用酸中和法，會產生一定的廢水。因此，有必要對現有技術中的氨水生產設備進行改進。
實用新型內容本實用新型的目的在於克服現有技術中存在的缺陷，提供一種工藝流程合理、生產效率和設備利用率高、符合環保要求的超淨高純氨水的連續生產裝置。為實現上述目的，本實用新型的技術方案是一種超淨高純氨水的連續生產裝置，所述連續生產裝置包括與氨氣儲罐相連接的緩衝罐，所述緩衝罐的出料口與洗氣瓶相串聯，所述洗氣瓶的出口與吸收塔的氨氣進料口相連，其特徵在於，所述吸收塔塔底設置的氨水出料口與中間罐相通，所述中間罐的出料口通過管道依次串聯真空泵、微濾器和成品罐，真空泵和微濾器之間的管道上設置有氨水進料支管，所述氨水進料支管與所述吸收塔相通，所述連續生產裝置還包括尾氣吸收罐，所述吸收塔和中間罐的尾氣管與所述尾氣吸收罐相通延至尾氣吸收罐內腔的低端，所述尾氣吸收罐的低端出料口與中間罐相通。為了便於氨水在達到一定濃度後通過真空泵進入微濾器，簡化設備的結構，優選的技術方案，所述氨水進料支管上設置有氨水閥，所述氨水進料支管接口與微濾器之間也設置有氨水閥。，所述尾氣吸收罐與中間罐的頂端分別設置有純水進料口，所述純水進料口分別純水支管相連接。為了簡化生產裝置的結構，優選的技術方案為，所述純水支管與純水管相通，所述純水支管上分別設置有純水閥。為了使尾氣吸收罐和成品罐中少量的尾氣及時排放，避免尾氣吸收罐和成品罐中氣壓過高發生事故，優選的技術方案為，所述尾氣吸收罐和成品罐的頂端分別設置有放空管，所述放空管上分別連接有放空閥。為了增加氨水吸收塔的傳熱面積，及時吸收生成氨水時釋放的熱量，優選的技術方案為，所述吸收塔外周設置有水冷卻系統。為了分別對原料氨氣中的雜質進行清洗，優選的技術方案為，所述洗氣瓶至少為兩個，所述洗氣瓶之間串聯相連通。為了更有效的控制氨氣流量，同時便於在出現緊急情況時停車，優選的技術方案為，所述氨氣儲罐與緩衝瓶之間的管道上連接有氨氣閥。本實用新型的優點和有益效果在於該裝置結構簡單合理，設置中間罐能實現吸收塔和尾氣吸收罐的物料循環，在中間罐中的氨水達到一定濃度使切換管道，及時排除符合生產要求的氨水，實現了超淨高純氨水的連續生產；本裝置的尾氣吸收採用純水，並將尾氣吸收的產物低濃度氨水導入吸收塔中進一
步吸收氨氣，有利於物料的充分利用，生產裝置排放尾氣較少，符合環保要求。
圖I是本實用新型超淨高純氨水的連續生產裝置的結構示意圖。圖中1、氣氣儲iiS ;2、緩衝iip ;3、洗氣瓶；4、吸收塔；5、中間iip ;6、尾氣回收iip ;7、真空泵；8、微濾器；9、成品罐；10、氨水進料支管；11、尾氣管；12、氨水閥；13、純水支管；
14、純水管；15、純水閥；16、放空管；17、放空閥；18、氨氣閥。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步描述。以下實施例僅用於更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護範圍。如圖I所示，本實施例為一種超淨高純氨水的連續生產裝置，連續生產裝置包括與氨氣儲罐I相連接的緩衝罐2，緩衝罐2的出料口與洗氣瓶3相串聯，洗氣瓶3的出口與吸收塔4的氨氣進料口相連，吸收塔4塔底設置的氨水出料口與中間罐5相通，中間罐5的出料口通過管道依次串聯真空泵7、微濾器8和成品罐9，真空泵7和微濾器8之間的管道上設置有氨水進料支管10，氨水進料支管10與吸收塔4相通，連續生產裝置還包括尾氣吸收罐6，吸收塔4和中間罐5的尾氣管11與尾氣吸收罐6相通延至尾氣吸收罐6內腔的低端，尾氣吸收罐6的低端出料口與中間罐5相通。在本實施例中，氨水進料支管10上設置有氨水閥12，氨水進料支管10接口與微濾器8之間也設置有氨水閥12。 在本實施例中，尾氣吸收罐6與中間罐5的頂端分別設置有純水進料口，純水進料口分別純水支管13相連接。在本實施例中，純水支管13與純水管14相通，純水支管13上分別設置有純水閥15。在本實施例中，尾氣吸收罐6和成品罐9的頂端分別設置有放空管16，放空管16上分別連接有放空閥17。在本實施例中，吸收塔4外周設置有水冷卻系統。在本實施例中，洗氣瓶3為兩個，兩個洗氣瓶3串聯相連通。在本實施例中，氨氣儲罐I與緩衝瓶2之間的管道上連接有氨氣閥18。本裝置工作流程為[0028]第一步開啟尾氣回收罐上的放空管；第二步開啟純水閥向中間罐和尾氣回收罐中加一定量的純水，然後關閉兩個純水閥；[0030]第三步打開水冷卻系統，打開氨水進料支管上的氨水閥，關閉進料通往微濾器的管道上的氨水閥，然後開啟真空泵；第四步打開氨氣閥，氨氣經過緩衝罐和洗氣瓶的純化，進入吸收塔，吸收塔中生成的氨水經管道流入中間罐中，中間罐中的氨水經由真空泵被再一次送入吸收塔中吸收氨氣，氨水濃度增大，吸收塔多餘的氨氣經吸收塔頂端的尾氣管排入尾氣回收罐，被尾氣回收罐中的純水吸收,生成的氨水經尾氣回收罐的低端出料口流入中間罐中，中間罐的尾氣經頂端的尾氣管導入尾氣回收罐循環利用；第五步及時監測中間罐中氨水的濃度，當中間罐中的氨水達到預定濃度時，關閉氨水進料支管上的氨水閥，打開進料通往微濾器的管道上的氨水閥，氨水經微濾器導入成品iip中O以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護範圍。
權利要求1.一種超淨高純氨水的連續生產裝置，所述連續生產裝置包括與氨氣儲罐相連接的緩衝罐，所述緩衝罐的出料口與洗氣瓶相串聯，所述洗氣瓶的出口與吸收塔的氨氣進料口相連，其特徵在於，所述吸收塔塔底設置的氨水出料口與中間罐相通，所述中間罐的出料口通過管道依次串聯真空泵、微濾器和成品罐，真空泵和微濾器之間的管道上設置有氨水進料支管，所述氨水進料支管與所述吸收塔相通，所述連續生產裝置還包括尾氣吸收罐，所述吸收塔和中間罐的尾氣管與所述尾氣吸收罐相通延至尾氣吸收罐內腔的低端，所述尾氣吸收te的低端出料口與中間te相通。
2.根據權利要求I所述的超淨高純氨水的連續生產裝置，其特徵在於，所述氨水進料支管上設置有氨水閥，所述氨水進料支管接口與微濾器之間也設置有氨水閥。
3.根據權利要求2所述的超淨高純氨水的連續生產裝置，其特徵在於，所述尾氣吸收罐與中間罐的頂端分別設置有純水進料口，所述純水進料口分別純水支管相連接。
4.根據權利要求3所述的超淨高純氨水的連續生產裝置，其特徵在於，所述純水支管與純水管相通，所述純水支管上分別設置純水閥。
5.根據權利要求I所述的超淨高純氨水的連續生產裝置，其特徵在於，所述尾氣吸收罐和成品罐的頂端分別設置有放空管，所述放空管上分別連接有放空閥。
6.根據權利要求I所述的超淨高純氨水的連續生產裝置，其特徵在於，所述吸收塔外周設置有水冷卻系統。
7.根據權利要求I所述的超淨高純氨水的連續生產裝置，其特徵在於，所述洗氣瓶至少為兩個，所述洗氣瓶之間串聯相連通。
8.根據權利要求I所述的超淨高純氨水的連續生產裝置，其特徵在於，所述氨氣儲罐與緩衝瓶之間的管道上連接有氨氣閥。
專利摘要本實用新型公開了一種超淨高純氨水的連續生產裝置，連續生產裝置包括與氨氣儲罐相連接的緩衝罐，緩衝罐的出料口與洗氣瓶相串聯，洗氣瓶的出口與吸收塔的氨氣進料口相連，吸收塔塔底設置的氨水出料口與中間罐相通，中間罐的出料口通過管道依次串聯真空泵、微濾器和成品罐，真空泵和微濾器之間的管道上設置有氨水進料支管，氨水進料支管與吸收塔相通，連續生產裝置還包括尾氣吸收罐，吸收塔和中間罐的尾氣管與尾氣吸收罐相通延至尾氣吸收罐內腔的低端，尾氣吸收罐的低端出料口與中間罐相通。該裝置工藝流程合理、生產效率和設備利用率高、符合環保要求。
文檔編號C01C1/02GK202785681SQ20122028080
公開日2013年3月13日 申請日期2012年6月14日 優先權日2012年6月14日
發明者不公告發明人 申請人:江陰蘇龍微電子材料有限公司